The utility model relates to the plasma technology field, in particular to a plasma discharge electrode. A plasma discharge electrode of the utility model consists of a power supply fixed frame, an aluminum base, an insulating layer, a adjusting screw, a compression spring, a fixed layer, an alumina layer, a fixed bolt, a radio frequency power supply and a adjusting nut, and the distance between the fixed layer and the alumina layer can be adjusted by rotating the adjusting screw. In addition, the self bias of the insulating layer is adjusted to make the ion energy characteristics and distribution of the surface of the insulating layer meet the process requirements, thus reducing the time of replacing the electrode and improving the operating efficiency of the plasma equipment.
【技术实现步骤摘要】
一种等离子体放电电极
本技术涉及等离子体
,尤其涉及一种等离子体放电电极。
技术介绍
随着等离子体技术的进步,等离子体技术从传统的半导体和微机械领域已扩展到太阳能领域,并且逐渐向其它领域发展,这使得等离子体设备开发企业之间的竞争日趋激烈,从而促使设备开发企业不断地创新,对等离子体设备进行改造或改进。现有的等离子体放电电极安装在等离子体设备后,等离子体放电电极绝缘层对其表面的自偏压影响已经确定,若工艺发生改变,只能更换新的等离子体放电电极以适应新工艺的要求,操作不便。因此,有必要提供一种等离子体放电电极,以解决上述问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种等离子体放电电极,以解决现有的等离子体放电电极绝缘层对其表面的自偏压影响已经确定,无法适应不同工艺的问题。为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:一种等离子体放电电极,包括:电源固定架、铝基座、绝缘层、调节螺杆、压缩弹簧、固定层、氧化铝层、固定螺栓、射频电源以及调节螺母;所述电源固定架的一侧设置有槽体,所述铝基座设置在所述槽体的一侧,所述射频电源固定于所述电源固定架上与所述槽体相反的一侧;所述绝缘层设置于所述铝基座上远离所述电源固定架的一侧;所述绝缘层端面设置有凹槽,所述绝缘层的顶部和底部分别设置有与所述凹槽连通的调节通道;所述固定层和所述氧化铝层均竖直设置于所述有凹槽内;所述固定层与所述氧化铝层相互平行,所述固定层位于所述凹槽的外侧,所述氧化铝层位于所述凹槽的内侧;所述铝基座的顶部和底部设置有贯穿所述铝基座两端面的通孔;所述调节螺杆呈L形,所述调节螺杆设置于所述通孔内;所述调节螺杆伸出所述通 ...
【技术保护点】
1.一种等离子体放电电极,其特征在于,包括:电源固定架(1)、铝基座(2)、绝缘层(3)、调节螺杆(4)、压缩弹簧(5)、固定层(6)、氧化铝层(7)、固定螺栓(9)、射频电源(11)以及调节螺母(12);所述电源固定架(1)的一侧设置有槽体(14),所述铝基座(2)设置在所述槽体(14)的一侧,所述射频电源(11)固定于所述电源固定架(1)上与所述槽体(14)相反的一侧;所述绝缘层(3)设置于所述铝基座(2)上远离所述电源固定架(1)的一侧;所述绝缘层(3)端面设置有凹槽(15),所述绝缘层(3)的顶部和底部分别设置有与所述凹槽(15)连通的调节通道(8);所述固定层(6)和所述氧化铝层(7)均竖直设置于所述有凹槽(15)内;所述固定层(6)与所述氧化铝层(7)相互平行,所述固定层(6)位于所述凹槽(15)的外侧,所述氧化铝层(7)位于所述凹槽(15)的内侧;所述铝基座(2)的顶部和底部设置有贯穿所述铝基座(2)两端面的通孔(13);所述调节螺杆(4)呈L形,所述调节螺杆(4)设置于所述通孔(13)内;所述调节螺杆(4)伸出所述通孔(13)的一端与所述氧化铝层(7)的端部连接;所述铝 ...
【技术特征摘要】
1.一种等离子体放电电极,其特征在于,包括:电源固定架(1)、铝基座(2)、绝缘层(3)、调节螺杆(4)、压缩弹簧(5)、固定层(6)、氧化铝层(7)、固定螺栓(9)、射频电源(11)以及调节螺母(12);所述电源固定架(1)的一侧设置有槽体(14),所述铝基座(2)设置在所述槽体(14)的一侧,所述射频电源(11)固定于所述电源固定架(1)上与所述槽体(14)相反的一侧;所述绝缘层(3)设置于所述铝基座(2)上远离所述电源固定架(1)的一侧;所述绝缘层(3)端面设置有凹槽(15),所述绝缘层(3)的顶部和底部分别设置有与所述凹槽(15)连通的调节通道(8);所述固定层(6)和所述氧化铝层(7)均竖直设置于所述有凹槽(15)内;所述固定层(6)与所述氧化铝层(7)相互平行,所述固定层(6)位于所述凹槽(15)的外侧,所述氧化铝层(7)位于所述凹槽(15)的内侧;所述铝基座(2)的顶部和底部设置有贯穿所述铝基座(2)两端面的通孔(13)...
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