本发明专利技术提供一种高效地制造流体控制设备(10)的方法、方法中所用的接头用保护件(20、30)及流体控制设备(10)。接头用保护件(20、30)以可拆卸的方式被安装于在接头套管(13)插通在螺母的贯通孔中的状态下被焊接于主干部(12)的接头套管(13)。接头用保护件(20、30)的主体部(22)具有直径比接头套管(13)的外直径大的内周面(21)，以使内周面(21)与接头套管(13)的围绕轴的外周面(13B)之间具有间隙，主体部(22)具备用于相对于接头套管(13)进行装卸的缝隙(24)。通过将接头用保护件(20)安装于接头套管(13)，来抑制螺母沿着轴向的移动，使得接头套管13的密封部不从螺母突出，从而保护密封部。能够保持将接头用保护件(20、30)安装于主干部(12)的状态不变地进行清洗。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制设备的制造方法、流体控制设备及接头用保护件
本专利技术涉及一种流体控制设备的制造方法、流体控制设备及其使用的接头用保护件。
技术介绍
在制造半导体膜、绝缘膜、导电性膜等薄膜的系统中，向处理室供给气体。气体供给系统是通过配管将开关阀等各种流体控制设备连接而构成的。流体控制设备彼此之间的连接或流体控制设备与配管的连接使用接头。图10是表示以往的流体控制设备的一部分的图。流体控制设备1构成为在接头套管3插通在螺母4的贯通孔4A中的状态下接头套管3的基端部与搭载驱动部(未图示)的主干部2的两个侧面焊接。在接头套管3顶端的密封部3A的背面与螺母4之间设置有轴承5，使螺母4变得易于旋转。在流体控制设备1出厂时，为了限制螺母4的移动，特别是为了防止螺母4向主干部2侧移动使密封部3A突出，在树脂制的圆筒部件6A设置切槽6B作为限位器6，将限位器6安装于接头套管3。这样，进行保护以使移动过程中密封部3A不会意外地突出而发生损伤。然而，在推动式分配器(pushtypedispenser)中，作为限制与喷嘴头连动的上下移动的活塞的移动或者调整移动范围的手段，例如考虑将限位器以弹性的方式安装(专利文献1至3)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-273277号公报专利文献2：日本特开2004-203456号公报专利文献3：日本特开2012-153409号公报
技术实现思路
在上述的流体控制设备中，用于限制螺母移动的限位器是在树脂制的圆筒部件设置切槽而制成的，所以要通过圆筒部件的复原力来保持其圆筒形状。因此，由于限位器以弹性的方式被密接安装于接头套管且圆筒部件是薄壁而难以握持，所以在拆卸限位器时比较麻烦。此外，在洁净度(cleandegree)较高的洁净室(cleanroom)内组装流体控制设备时，作业者戴着手套进行作业，因此对作业者而言这样的限位器的装卸较难进行。特别是，通过切开圆筒部件，圆筒端部的切断部分容易变得锐利，限位器装卸的难度增加。因此，本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种流体控制设备的制造方法，其在制造流体控制设备时能够减少从接头用套管装卸限位器这样的部件的次数。其目的还在于提供一种在该制造方法中使用的接头用保护件，并提供一种安装有该接头用保护件的流体控制设备。此外，其目的还在于提供一种相对于接头套管的装卸比较容易的接头用保护件。为了实现上述目的及其他关联目的，本专利技术由下述流体控制设备的制造方法实现：将接头套管插通在螺母的贯通孔中并将上述接头套管焊接于流体控制设备主体用的主干部，由此形成下述状态：通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向远离上述主干部的方向移动，上述螺母收容上述接头套管的密封部，并且通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向靠近上述主干部的方向移动，上述密封部从上述螺母突出，通过将接头用保护件安装于上述接头套管，来抑制上述螺母的移动，使得上述密封部不从上述螺母突出而保护上述密封部，在这样的状态下对焊接有上述接头套管的主干部进行清洗，其中，上述接头用保护件具备具有直径比上述接头套管的外直径大的内周面的主体部，以使得上述内周面与上述接头套管的围绕轴的外周面之间具有间隙，而且上述主体部具备用于向上述接头套管进行安装的缝隙。本专利技术提供一种接头用保护件，能够相对于接头套管装卸，该接头套管在插通于螺母的贯通孔中的状态下被焊接于主干部，该接头套管呈下述状态：通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向远离上述主干部的方向移动，上述螺母收容上述接头套管的密封部，并且通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向靠近上述主干部的方向移动，上述密封部从上述螺母突出。上述接头用保护件具备具有直径比上述接头套管的外直径大的内周面的主体部，以使得上述内周面与上述接头套管的围绕轴的外周面之间具有间隙，上述主体部具备用于相对于上述接头套管进行装卸的缝隙。通过上述接头用保护件被安装于上述接头套管，来抑制上述螺母的移动，使得上述接头套管的密封部不从上述螺母突出而保护上述密封部。在夹着上述主体部的中心而与上述缝隙相反的一侧具备把手部。优选上述把手部突出地设置，其突出的长度被设定为在将上述接头用保护件安装于上述接头套管时不从上述主干部突出的长度。优选主体部的内周面的直径为接头套管的外直径的1.1至1.3倍。优选上述主体部包括具有上述内周面的筒状部，在上述筒状部中的形成上述缝隙的端部设置有用于向上述接头套管进行安装的一对导向部。上述导向部被设定为比上述筒状部的壁厚更厚。上述导向部具有与上述缝隙相向的面，在一对上述导向部中上述平面彼此之间以70度至100度的角度扩开。上述缝隙的宽度被设定为上述接头套管的外直径的0.5至0.6倍。在上述接头用保护件中，优选上述主体部在上述螺母的移动方向的中间部从上述缝隙侧被切开，在上述螺母的移动方向的两侧以分离的方式具有上述缝隙。也可以在上述螺母的移动方向上被分开的多个构件的相向的侧面设置有连接用的卡合部，使上述卡合部卡合而将上述多个构件连结而构成。此外，本专利技术提供一种流体控制设备，其具备：流体控制设备主体，其是将接头套管插通在螺母的贯通孔中并将上述接头套管与主干部连接，将驱动部搭载于上述主干部而构成的，通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向远离上述主干部的方向移动，上述螺母收容上述接头套管的密封部，通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向靠近上述主干部的方向移动，上述密封部突出；以及由上述任一项构成的接头用保护件，其被安装于上述接头套管。专利技术效果根据本专利技术，由于接头用保护件围绕接头套管的轴隔开间隙地被安装，所以能够保持将接头用保护件安装于接头套管的状态不变地进行清洗，变得容易去除接头套管的外周面与主体部的内周面之间的污垢。此外，通过将接头用保护件安装于接头套管，来抑制螺母的移动，使得接头套管的密封部不从螺母突出，从而保护接头套管的密封部。特别是，在接头用保护件的主体部的内周面与接头套管的围绕轴的外周面之间具有间隙、并且在主体部的外周面具备把手部的情况下，利用把手部容易进行相对于接头套管的装卸。因此，能够容易进行相对于接头套管的装卸，并且保护接头套管的密封部。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式涉及的流体控制设备的立体图。图2是表示本专利技术的第一实施方式涉及的接头用保护件的立体图。图3是图2所示的接头用保护件的截面图。图4是表示本专利技术的第二实施方式涉及的接头用保护件的立体图。图5是图4所示的接头用保护件的侧视图。图6表示本专利技术的第三实施方式涉及的接头用保护件，(a)和(b)是表示构成接头用保护件的各构件的立体图，(c)是接头用保护件的立体图。图7是图6所示的接头用保护件的侧视图。图8是关于本专利技术的实施方式涉及的制造流体控制设备的方法的流程图。图9是表示本专利技术的实施方式涉及的接头用保护件被安装于接头套管的状态的图。图10是表示以往的流体控制设备的一部分的图。附图标记说明10：流体控制设备11：流体控制设备主体12：主干部13：接头套管13A：密封部13B：外周面14：螺母14A：贯通孔14B：背面15：轴承16：流体操作用致动器20、30：接头用保护件21：内周面22：主体部22A：环形部23：把手部24：缝隙25：筒状部25A：筒状部的端部25B：导向部26：槽27A、27B：构件28：相向面本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种流体控制设备的制造方法，其特征在于：将接头套管插通在螺母的贯通孔中并将所述接头套管焊接于流体控制设备主体用的主干部，由此形成下述状态：通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向远离所述主干部的方向移动，所述螺母收容所述接头套管的密封部，并且通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向靠近所述主干部的方向移动，所述密封部从所述螺母突出，通过将接头用保护件安装于所述接头套管，来抑制所述螺母的移动，使得所述密封部不从所述螺母突出而保护所述密封部，在这样的状态下对焊接有所述接头套管的主干部进行清洗，其中，所述接头用保护件具备具有直径比所述接头套管的外直径大的内周面的主体部，以使得所述内周面与所述接头套管的围绕轴的外周面之间具有间隙，而且所述主体部具备用于向所述接头套管进行安装的缝隙。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.29 JP 2015-1109501.一种流体控制设备的制造方法，其特征在于：将接头套管插通在螺母的贯通孔中并将所述接头套管焊接于流体控制设备主体用的主干部，由此形成下述状态：通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向远离所述主干部的方向移动，所述螺母收容所述接头套管的密封部，并且通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向靠近所述主干部的方向移动，所述密封部从所述螺母突出，通过将接头用保护件安装于所述接头套管，来抑制所述螺母的移动，使得所述密封部不从所述螺母突出而保护所述密封部，在这样的状态下对焊接有所述接头套管的主干部进行清洗，其中，所述接头用保护件具备具有直径比所述接头套管的外直径大的内周面的主体部，以使得所述内周面与所述接头套管的围绕轴的外周面之间具有间隙，而且所述主体部具备用于向所述接头套管进行安装的缝隙。2.一种接头用保护件，其特征在于：其能够相对于接头套管装卸，该接头套管在插通于螺母的贯通孔中的状态下被焊接于主干部，该接头套管呈下述状态：通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向远离所述主干部的方向移动，所述螺母收容所述接头套管的密封部，并且通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向靠近所述主干部的方向移动，所述密封部从所述螺母突出，所述接头用保护件具备具有直径比所述接头套管的外直径大的内周面的主体部，以使得所述内周面与所述接头套管的围绕轴的外周面之间具有间隙，所述主体部具备用于相对于所述接头套管进行装卸的缝隙，通过所述接头用保护件被安装于所述接头套管，来抑制所述螺母的移动，使得所述接头套管的密封部不从所述螺母突出而保护所述密封部。3.根据权利要求2所述的接头用保护件，其特征在于：在夹着所述主体部的中心而与所述缝隙相反的一侧具备把手部。4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：渡边一诚，青木寿男，筱原努，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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