基板处理设备制造技术

一种用于在搬运室内运输基板的搬运设备，所述搬运室具有第一端和第二端以及在这些端部之间延伸的两侧。所述搬运设备包括：驱动部段；以及至少一个基部臂，所述基部臂在一端处相对于所述搬运室被固定并且包括可旋转地联接到驱动部段的至少一个臂连杆以及可旋转地联接到基部臂的公共端上的至少一个搬运臂，所述至少一个搬运臂具有两个末端执行器。所述驱动部段具有马达，所述马达具有限定三个自由度的三个独立旋转轴线。一个自由度使得所述至少一个基部臂水平地移动以用于运输所述至少一个搬运臂。两个自由度驱动所述至少一个搬运臂，以使得所述至少一个搬运臂延伸、所述至少一个搬运臂缩回以及交换所述两个末端执行器。

Substrate treatment equipment

A transport device for transporting a substrate in an indoor transport is provided with a first end and a second end and two sides extending between the ends. The handling equipment includes a drive section; and at least one base arm, the base arm of the carrying chamber is fixed and at least one end of the public transport arms includes at least one arm connecting rod rotatably coupled to the drive section and is rotatably coupled to the base on the arm compared with in the end, the at least one handling arm has two end effector. The driving section has a motor, the motor has three independent rotating axes to limit three degrees of freedom. A degree of freedom moves the at least one base arm horizontally to transport at least one of the carrying arms. The two degrees of freedom drive at least one carrying arm, so that at least one carrying arm extends, at least one carrying arm is retracted, and the two end actuators are exchanged.

【技术实现步骤摘要】
基板处理设备相关申请的交叉引用本申请要求于20102年2月10日提交的美国临时专利申请序列号61/597,507、于2012年6月18日提交的61/660,900以及于2012年6月21日提交的61/662,690的权益，这些文献的公开内容以引用的方式全部并入到本文。
示例性实施例总体上涉及机器人运输设备，且更具体地涉及用于将基板运输至多个基板保持位置的机器人运输设备。
技术介绍
通常来说，在将基板运输至并排布置的多个基板保持位置（例如，在线性细长搬运室中）的机器人运输系统中，使用超过一个搬运机器人，使得所述基板沿线性细长搬运室的长度从一个机器人被移交至另一机器人。在另一方面，被安装到线性滑动器上的单个机器人运输装置被用于将基板运输通过线性细长搬运室。会有利的是，能够在多个线性布置和/或并排的基板保持位置之间运输基板，而不在搬运机器人之间移交基板并且不使用线性滑动器，这会减少至搬运室内的密封环境的接口。此外，总体上对于集群式工具装置来说，基板保持位置被连通地联接到公共主搬运室。还将有利的是能够将集群工具的搬运室的部分相对于该搬运室的其他部分进行密封。从处理450mm的半导体晶片的工具架构以及贯穿工具构造与其相关的尺寸增加的角度看，其优势是尤其明显的。此外，总体上，原始设备制造商/处理供应商将真空集群工具与大气设备前端模块（EFEM）加载器相联结，以提供保持用于将晶片从移动存储载具运输至处理模块的清洁环境的方式。在进入到处理室中的每个晶片的循环期间，所述晶片从大气搬运至真空并且然后返回至大气。在一些情况下，在被处理的晶片暴露于大气之后，这些晶片与潮湿空气反应并且可变酸并且促进对晶片和处理设备的损坏。因此会有利的是将现有处理模块和/或集群工具连接，以在相邻工具之间的基板运输期间保持受控的环境。还会有利的是，相对于处理室/集群工具遥远地定位EFEM。附图说明在下述描述中结合附图来阐述所公开实施例的前述方面和其他特征，在附图中：图1是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图2A是根据所公开实施例的方面的运输设备的示意图；图2B-2D是根据所公开实施例的方面的图2A的运输设备的部分的示意图；图2E和2F是根据所公开实施例的方面的运输设备的示意图；图2G是根据所公开实施例的方面的处理设备的一部分的示意图；图2H-2J是根据所公开实施例的方面的运输设备的一部分的示意图；图3A和3B是根据所公开实施例的方面的处理设备的一部分的示意图；图4A和4B是根据所公开实施例的方面的处理设备的一部分的示意图；图5A、5B、5C和5D是根据所公开实施例的方面的不同处理设备构造的示意图；图6是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图6A是根据所公开实施例的方面的运输设备的一部分的示意图；图7A是根据所公开实施例的方面的运输设备的示意图；图7B是根据所公开实施例的方面的图7A的运输设备的一部分的示意图；图7C-7E是根据所公开实施例的方面的运输设备的一部分的示意图；图8A、8B和8C是根据所公开实施例的方面的处理设备的一部分的示意图；图9A、9B和9C是根据所公开实施例的方面的处理设备的一部分的示意图；图10A、10B、10C和10D是根据所公开实施例的方面的不同处理设备构造的示意图；图11是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图11A-11C是根据所公开实施例的方面的处理设备的一部分的示意图；图12是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图13是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图13A是根据所公开实施例的方面的处理设备的一部分的示意图；图14是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图14A是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图15是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图16是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图17是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图18是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图19是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图19A是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图20A、20B、20C、20D和20E是根据所公开实施例的方面的处理设备的部分的示意图；图21A、21B和21C是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图22A、22B和22C是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图23A和23B是根据所公开实施例的方面的处理设备的示意图；图24A、24B、24C和24D根据所公开实施例的方面的处理工具的一部分的示意图；图25A和25B是根据所公开实施例的方面的运输通道的示意图；图26A、26B和26C是根据所公开实施例的方面的运输通道的部分的示意图；图27A和27B是根据所公开实施例的方面的运输通道的示意图；图28A、28B和28C是根据所公开实施例的方面的运输通道的部分的示意图；图29是根据所公开实施例的方面的基板运输车的示意图；图30A和30B是根据所公开实施例的方面的基板运输车的示意图；图31A、31B和31C是根据所公开实施例的方面的处理设备的部分的示意图；图32是根据所公开实施例的方面的处理设备的部分的示意图；图33是根据所公开实施例的方面的处理设备的部分的示意图；图34A和34B是根据所公开实施例的方面的处理设备的部分的示意图；图35A、35B和35C是根据所公开实施例的方面的处理设备的部分的示意图；图36A、36B、36C和36D是根据所公开实施例的方面的处理设备的部分的示意图；以及图37是根据所公开实施例的方面的运输设备的示意图。具体实施方式根据所公开实施例的方面的本文所述的处理设备包括一个或多个搬运机器人，所述搬运机器人允许利用静止驱动部段将基板运输到处于连续线性布置的至少两个处理站。所公开实施例的方面在允许使用全都保持在搬运机器人的公共基部或驱动部段中的旋转轴线的静态真空密封（当机器人用于真空环境时）的同时允许线性机器人架构而不使用线性轴承或线性马达。所公开实施例的方面还允许利用具有静止基部的一个或多个搬运机器人在直线布置或聚集的处理站和负载锁定站（在本文总体上称为基板保持站）之间搬运基板。虽然所公开实施例的方面将参考附图被描述，但是应当理解的是，所公开实施例的方面可以许多替代形式被实施。此外，可使用任何合适尺寸、形状或类型的元件或材料。参考图1，示出了根据所公开实施例的方面的处理设备，例如半导体工具站100。虽然在附图中示出了半导体工具，但是本文所述的所公开实施例的方面可以应用到采用机器人操纵者的任何工具站或应用。在这方面，工具100被示出，其为了描述目的可被称为集群式工具，所述集群式工具具有线性细长搬运室（被描述为细长的双集群搬运室），但是所公开实施例的方面可应用于任何合适工具站，例如诸如在于2006年5月26日提交的名为"LinearlyDistributedSemiconductorWorkpieceProcessingTool"的美国专利申请No.11/442,511中描述的线性工具站，该文献的公开内容以引用的方式全文结合到本文。工具站100总体上包括大气前端101、一个或多个真空负载锁定站102以及真空后端103。在其他方面，工具站100可具有任何合适构造。前端101、负载锁定站1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理设备，所述基板处理设备包括：具有至少一个横向侧的搬运室，所述至少一个横向侧具有并排布置的至少两个基板搬运端口；连接到所述搬运室的驱动部段，所述驱动部段具有马达，所述马达具有三个独立旋转轴线；以及安装在所述搬运室内部的基板运输设备，所述基板运输设备包括：基部臂连杆，所述基部臂连杆被可操作地联接到所述驱动部段并且具有设置在所述基部臂连杆的一端处的旋转轴线，所述基部臂连杆在旋转轴线处可枢转地安装在所述搬运室内部并且被设置在所述搬运室内的固定位置处，所述旋转轴线形成所述基部臂连杆的旋转轴线；以及两个搬运臂，每个搬运臂分别具有从相应搬运臂独立地悬出的相应基板保持件，并且每个搬运臂在另一旋转轴线处被可枢转地安装到所述基部臂连杆的另一端，所述另一旋转轴线是相对于所述基部臂连杆的对于所述两个搬运臂来说共用的公共旋转轴线；其中，每个搬运臂被联接到所述驱动部段，使得每个搬运臂被独立地联接到所述驱动部段的三个独立驱动轴线中不同的独立驱动轴线并且由所述独立驱动轴线独立地旋转，以用于每个搬运臂相对于所述两个搬运臂中的另一个绕所述公共旋转轴线的独立旋转，并且使得每个相应搬运臂将相应基板保持件上的基板独立地运输通过并排布置的所述至少两个基板搬运端口中的每个。...

【技术特征摘要】
2012.02.10 US 61/597507;2012.06.18 US 61/660900;201.一种基板处理设备，所述基板处理设备包括：具有至少一个横向侧的搬运室，所述至少一个横向侧具有并排布置的至少两个基板搬运端口；连接到所述搬运室的驱动部段，所述驱动部段具有马达，所述马达具有三个独立旋转轴线；以及安装在所述搬运室内部的基板运输设备，所述基板运输设备包括：基部臂连杆，所述基部臂连杆被可操作地联接到所述驱动部段并且具有设置在所述基部臂连杆的一端处的旋转轴线，所述基部臂连杆在旋转轴线处可枢转地安装在所述搬运室内部并且被设置在所述搬运室内的固定位置处，所述旋转轴线形成所述基部臂连杆的旋转轴线；以及两个搬运臂，每个搬运臂分别具有从相应搬运臂独立地悬出的相应基板保持件，并且每个搬运臂在另一旋转轴线处被可枢转地安装到所述基部臂连杆的另一端，所述另一旋转轴线是相对于所述基部臂连杆的对于所述两个搬运臂来说共用的公共旋转轴线；其中，每个搬运臂被联接到所述驱动部段，使得每个搬运臂被独立地联接到所述驱动部段的三个独立驱动轴线中不同的独立驱动轴线并且由所述独立驱动轴线独立地旋转，以用于每个搬运臂相对于所述两个搬运臂中的另一个绕所述公共旋转轴线的独立旋转，并且使得每个相应搬运臂将相应基板保持件上的基板独立地运输通过并排布置的所述至少两个基板搬运端口中的每个。2.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中：所述搬运室包括第一端和第二端，其中所述至少一个横向侧在所述第一端和所述第二端之间延伸，所述第一端和所述第二端中的至少一者包括并排布置的至少两个其他基板搬运端口；以及所述基板运输设备被构造成在所述至少一个横向侧上的所述至少两个基板搬运端口与所述第一端和所述第二端中的至少一者上的所述至少两个其他基板搬运端口之间搬运基板。3.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述驱动部段包括同轴驱动轴装置。4.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述驱动部段包括Z轴驱动器，所述Z轴驱动器被构造成沿大致垂直于所述两个搬运臂的伸缩轴线的方向线性地移动所述基板运输设备。5.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述基板运输设备被构造成处理450mm直径的晶片。6.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述基板运输设备被构造成处理200mm直径的晶片、300mm直径的晶片、用于平板显示器的平板、发光二极管、有机发光二极管或太阳能阵列。7.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述基部臂连杆是从所述旋转轴线到所述公共旋转轴线的大致刚性的未铰接的连杆。8.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述两个搬运臂中的每个以及从其悬出的相应基板保持件能够作为一个单元绕所述公共轴线独立地旋转。9.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，所述至少两个基板搬运端口中的至少一个相对于所述旋转轴线径向偏移。10.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中，并排布置的所述至少两个基板搬运端口包括具有相关的第一基板搬运路径的第一基板搬运端口以及具有相关的第二基板搬运路径的第二基板搬运端口，且其中，所述基部臂连杆的旋转轴线大致定位在所述第一基板搬运路径...

【专利技术属性】
技术研发人员：A克鲁皮舍夫，U吉尔克里斯特，RT卡夫尼，D巴布斯，
申请(专利权)人：布鲁克斯自动化公司，
类型：发明
国别省市：美国,US