一种单晶硅生长炉籽晶头微调装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种单晶硅生长炉籽晶头微调装置，包括测力器模块底座，所述测力器模块底座上安装有直线滑轨，所述直线滑轨上的滑块能够左右移动；所述滑块上安装有测力器调整座，所述测力器调整座一侧开孔螺纹连接止动螺钉，与止动螺钉相对的测力器调整座另一侧开孔螺纹连接止动销，所述止动销与测力器调整座之间能够插放金属垫片，所述止动销背对测力器调整座一侧与测力器接触，所述测力器固定于测力器模块底座上；所述测力器调整座中心开孔螺纹连接水平调整轴一端，所述水平调整轴另一端套设导正轮机构，本装置增加导正轮中心的微调结构，使导正轮更准确的调节到要求的中心位置。

A single crystal silicon growth furnace seed fine-tuning device

The utility model provides a silicon single crystal growth furnace seed head adjustment device, including dynamometer base module, the dynamometer modules are installed on the base of linear slide rail, the sliding block can move around on the linear slide; the slide block is installed on the dynamometer adjustment, the adjustment of force measuring device a side hole screw thread connection, and the stopping force relative to the seat is adjusted with screw thread connection hole on the other side of the stop pin, the locking pin and the dynamometer can adjust seat inserted metal gasket, the stop pin on the back side and adjust the seat dynamometer test the contact force, the force measuring device fixed on the dynamometer module on the base; the dynamometer adjust a center hole thread level adjustment shaft, the horizontal adjusting shaft is arranged at the other end of the guide wheel mechanism, the device increases the guide wheel center node fine-tuning Structure, so that the guide wheel is more accurately adjusted to the required center position.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生长炉籽晶头微调装置
本技术设计一种单晶硅生长炉籽晶头调整装置，具体涉及一种单晶硅生长炉籽晶头微调装置。
技术介绍
单晶炉的籽晶头是该设备的核心组成部分,其精度直接决定了设备的硅棒成品率,决定了设备的生产效率。籽晶头结构的难点在于其结构复杂，提拉轴籽晶绳是软轴(通过卷绕籽晶绳实现提拉轴的升降动作，拉制硅棒)，其籽晶绳卷线轮中心、导正轮中心、籽晶绳定位中心与坩埚中心很难做到统一，很难调整，当转速高于20rpm，籽晶头结构离心力较大，摆动较大，拉制的硅棒出现废品。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供一种单晶硅生长炉籽晶头微调装置，增加导正轮中心的微调结构，使导正轮更准确的调节到要求的中心位置，通过旋进旋出水平调整轴相对测力器调整座之间的位置以调节导正轮机构的前后位置，通过配磨金属垫圈的厚度能够调节导正轮机构的左右位置，以调整导正轮的中心位置，本技术的技术方案是：一种单晶硅生长炉籽晶头微调装置，包括测力器模块底座，所述测力器模块底座上安装有直线滑轨，所述直线滑轨上的滑块能够左右移动；所述滑块上安装有测力器调整座，所述测力器调整座一侧开孔螺纹连接止动螺钉，与止动螺钉相对的测力器调整座另一侧开孔螺纹连接止动销，所述止动销与测力器调整座之间能够插放金属垫片，所述止动销背对测力器调整座一侧与测力器接触，所述测力器固定于测力器模块底座上；所述测力器调整座中心开孔螺纹连接水平调整轴一端，所述水平调整轴另一端套设导正轮机构。进一步的，所述金属垫片为U型微型垫片。能够方便插放金属垫片于止动销与测力器调整座之间，调整导正轮左右方向的位置，且能够根据导正轮的中心位置来配磨金属垫圈的厚度，以保证导正轮中心位置与其他中心位置在公差范围内。进一步的，所述导正轮机构包括导正轮，绝缘套，导正轮固定座和轴承，所述导正轮和绝缘套由螺钉依次固定连接在导正轮固定座上，所述轴承位于导正轮固定座和水平调整轴之间，且轴承压于导正轮固定座上。固定连接可靠，保证装置的可靠性，延长装置的实用寿命。进一步的，所述轴承有2个，分别压于导正轮固定座上，中间放置轴承隔圈。保证两轴承间能够独立工作又不会互相影响，工作安全可靠。进一步的，所述导正轮机构通过轴承锁紧螺帽固定导正轮机构于水平调整轴上。通过轴承锁紧螺帽螺纹并紧轴承，防止导正轮机构轴向移动。本技术的有益效果是：1、本装置通过旋进旋出水平调整轴相对测力器调整座之间的位置以调节导正轮机构的前后位置，通过配磨金属垫圈的厚度能够调节导正轮机构的左右位置，以调整导正轮的中心位置。本装置增加导正轮中心的微调结构，使导正轮更准确的调节到要求的中心位置。2、将测力器固定在测力器模块底座上，并与止动销接触，导正轮机构中心调整到中心位置后，用止动螺钉锁紧，止动销压紧测力器，测力器测量止动销的压力，通过测力器上的受力确定止动螺钉锁紧，保证装置固定的可靠性。即本装置导正轮机构调整中心后，可直接锁定零部件位置，防止中心再偏移。3、本装置导正轮机构调整中心时，可直接调节，无需拆卸任何零部件。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中：1为测力器模块底座，2为测力器，3为止动销，4为止动螺钉，5为金属垫圈，6为直线滑轨，7为测力器调整座，8为水平调整轴，9为导正轮，10为绝缘套，11为导正轮固定座，12为轴承，13为轴承锁紧螺帽。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的说明。如图1所示，一种单晶硅生长炉籽晶头微调装置，包括测力器模块底座1，所述测力器模块底座1上安装有直线滑轨6，所述直线滑轨6上的滑块能够左右移动。所述滑块上安装有测力器调整座7，所述测力器调整座7一侧开孔螺纹连接止动螺钉4，与止动螺钉4相对的测力器调整座7另一侧开孔螺纹连接止动销3，所述止动销3与测力器调整座7之间能够插放金属垫片5，所述止动销3背对测力器调整座7一侧与测力器2接触，所述测力器2固定于测力器模块底座1上。所述测力器调整座7中心开孔螺纹连接水平调整轴8一端，所述水平调整轴8另一端套设导正轮机构。所述导正轮机构包括导正轮9，绝缘套10，导正轮固定座11和轴承12，所述导正轮9和绝缘套10由螺钉依次固定连接在导正轮固定座11上，所述轴承12位于导正轮固定座11和水平调整轴8之间，且轴承12压于导正轮固定座11上。固定连接可靠，保证装置的可靠性，延长装置的实用寿命。所述轴承12有2个，分别压于导正轮固定座11上，中间放置轴承隔圈。保证两轴承间能够独立工作又不会互相影响，工作安全可靠。所述导正轮机构通过轴承锁紧螺帽13固定导正轮机构于水平调整轴8上。通过轴承锁紧螺帽螺纹并紧轴承，防止导正轮机构轴向移动。作为优选的实施方式，所述金属垫片5为U型微型垫片。能够方便插放金属垫片于止动销与测力器调整座之间，调整导正轮左右方向的位置，且能够根据导正轮的中心位置来配磨金属垫圈的厚度，以保证导正轮中心位置与其他中心位置在公差范围内。本装置通过旋进旋出水平调整轴相对测力器调整座之间的位置以调节导正轮机构的前后位置，通过配磨金属垫圈的厚度能够调节导正轮机构的左右位置，以调整导正轮的中心位置。本装置增加导正轮中心的微调结构，使导正轮更准确的调节到要求的中心位置。本装置将测力器固定在测力器模块底座上，并与止动销接触，导正轮机构中心调整到中心位置后，用止动螺钉锁紧，止动销压紧测力器，测力器测量止动销的压力，通过测力器上的受力确定止动螺钉锁紧，保证装置固定的可靠性。即本装置导正轮机构调整中心后，可直接锁定零部件位置，防止中心再偏移。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶硅生长炉籽晶头微调装置，其特征在于：包括测力器模块底座(1)，所述测力器模块底座(1)上安装有直线滑轨(6)，所述直线滑轨(6)上的滑块能够左右移动；所述滑块上安装有测力器调整座(7)，所述测力器调整座(7)一侧开孔螺纹连接止动螺钉(4)，与止动螺钉(4)相对的测力器调整座(7)另一侧开孔螺纹连接止动销(3)，所述止动销(3)与测力器调整座(7)之间能够插放金属垫片(5)，所述止动销(3)背对测力器调整座(7)一侧与测力器(2)接触，所述测力器(2)固定于测力器模块底座(1)上；所述测力器调整座(7)中心开孔螺纹连接水平调整轴(8)一端，所述水平调整轴(8)另一端套设导正轮机构。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生长炉籽晶头微调装置，其特征在于：包括测力器模块底座(1)，所述测力器模块底座(1)上安装有直线滑轨(6)，所述直线滑轨(6)上的滑块能够左右移动；所述滑块上安装有测力器调整座(7)，所述测力器调整座(7)一侧开孔螺纹连接止动螺钉(4)，与止动螺钉(4)相对的测力器调整座(7)另一侧开孔螺纹连接止动销(3)，所述止动销(3)与测力器调整座(7)之间能够插放金属垫片(5)，所述止动销(3)背对测力器调整座(7)一侧与测力器(2)接触，所述测力器(2)固定于测力器模块底座(1)上；所述测力器调整座(7)中心开孔螺纹连接水平调整轴(8)一端，所述水平调整轴(8)另一端套设导正轮机构。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长炉籽晶头微调装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄保强，贺贤汉，郡司拓，刘海，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31