A soaking device comprises a liquid storage barrel and a bearing device, the liquid storage cylinder to form a soaking tank, and an opening is communicated with the soaking tank top, the soaking tank used for a liquid holding device comprises a bearing box, bearing can be soaked in the soaking tank, and one is arranged in the liquid storage barrel and the bearing box between the driving mechanism and the bearing box is formed containing groove multiple intervals, each container for holding a wafer, which is used to drive the bearing box in a position of immersion immersed in the immersion tank driving mechanism through the opening, and a shift from the soaking tank outside the feeding position between the uplift movement, when the bearing box in the feed lifting position, the containing groove arranged along a vertical direction, and the groove is horizontal, thereby, make the structure simple immersion equipment drop Low cost, small volume can reduce the required space, and can greatly shorten the processing process is simple when.
【技术实现步骤摘要】
浸泡设备
本专利技术涉及一种浸泡设备,特别是涉及一种应用在晶圆湿式制程中用以浸泡晶圆的浸泡设备。
技术介绍
半导体晶圆在微影制程后,晶圆正面会形成一薄膜。借由移载机械手臂将晶圆由微影制程的加工处理设备移载至浸泡设备后,浸泡设备会通过一夹持手臂承接并夹持晶圆,随后,通过驱动装置驱动夹持手臂移动及翻转,使得夹持手臂能将晶圆放置于浸泡槽内,以使晶圆浸泡于药液内。待晶圆浸泡在药液一段时间后,驱动装置会驱动夹持手臂将浸泡槽内的晶圆取出并将其移载至移载机械手臂上,使移载机械手臂带动晶元移动至下一个制程的加工处理设备。通过驱动装置驱动夹持手臂移动及翻转,使夹持手臂将晶圆放置于浸泡槽内或是将晶圆由浸泡槽内取出的设计方式,使得现有浸泡设备的结构复杂进而提高了制造的成本,体积庞大易占据空间,且加工步骤流程繁多易耗费工时,再者,晶圆取放过程中浸泡槽的挥发气体也很容易散发至其他作业空间中,影响作业人员身体健康。
技术实现思路
本专利技术的一目的,在于提供一种浸泡设备,其结构简单能降低制造成本、体积小能降低所需占据的空间,以及加工流程简单能大幅缩短工时。本专利技术的另一目的,在于提供一种浸泡设备,能防止承载匣在进出料抬升位置与浸泡位置间旋转的过程中药液喷溅出腔室外,并且能提升晶圆的进料或出料时的方便性,还能降低晶圆在进料或出料的过程中药液所挥发的气体大量地由腔室散发至其他作业空间。本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用于下技术方案来实现的,依据本专利技术提出的浸泡设备包含一储液筒,及一承载装置,该储液筒形成有一浸泡槽,及一连通于该浸泡槽顶端的上开口,该浸泡槽用以供一药液容置,该承载装 ...
【技术保护点】
一种浸泡设备;其特征在于:该浸泡设备包含一储液筒,及一承载装置,该储液筒形成有一浸泡槽,及一连通于该浸泡槽顶端的上开口,该浸泡槽用以供一药液容置,该承载装置包括一可浸泡于该浸泡槽内的承载匣,及一设置于该储液筒与该承载匣间的驱动机构,该承载匣形成有多个相间隔排列的容置槽,各该容置槽用以供一晶圆容置,该驱动机构用以驱动该承载匣在一浸泡于该浸泡槽内的浸泡位置,及一经由该上开口移离出该浸泡槽外的进出料抬升位置间运动,当该承载匣在该进出料抬升位置时,所述容置槽沿一上下方向排列,且各该容置槽呈水平状。
【技术特征摘要】
1.一种浸泡设备;其特征在于:该浸泡设备包含一储液筒,及一承载装置,该储液筒形成有一浸泡槽,及一连通于该浸泡槽顶端的上开口,该浸泡槽用以供一药液容置,该承载装置包括一可浸泡于该浸泡槽内的承载匣,及一设置于该储液筒与该承载匣间的驱动机构,该承载匣形成有多个相间隔排列的容置槽,各该容置槽用以供一晶圆容置,该驱动机构用以驱动该承载匣在一浸泡于该浸泡槽内的浸泡位置,及一经由该上开口移离出该浸泡槽外的进出料抬升位置间运动,当该承载匣在该进出料抬升位置时,所述容置槽沿一上下方向排列,且各该容置槽呈水平状。2.根据权利要求1所述的浸泡设备,其特征在于:该驱动机构用以驱动该承载匣在该浸泡位置与该进出料抬升位置间转动,当该承载匣在该浸泡位置时,所述容置槽沿一垂直于该上下方向的前后方向排列,且各该容置槽呈竖直状。3.根据权利要求2所述的浸泡设备,其特征在于:该驱动机构包含一可转动地枢接于该储液筒的转轴、一固定地连接于该转轴与该承载匣间的连接板,及一用以驱动该转轴旋转的驱动马达。4.根据权利要求3所述的浸泡设备,其特征在于:该储液筒包括两个左右相间隔的侧壁,及一连接于该两侧壁前端的前壁,该转轴枢接于该两侧壁并邻近该前壁及该上开口,该承载匣包含一前板,该连接板固定地连接于该前板。5.根据权利要求1、2、3或4所述的浸泡设备,其特征在于:还包含一机台,及一门装置,该机台形成一用以供该储液筒及该承载装置容置的腔室,该门装置设置于该机台用以封闭该腔室,该门装置包括一移动板,及一门板,该移动板形成有...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓志明,
申请(专利权)人:亿力鑫系统科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾,71
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