一种基板预对准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基板预对准装置，包括用于承载玻璃基板的上底板面，所述上底板面的上表面固定有至少四组定位气缸和至少两组夹紧气缸，所述至少四组定位气缸呈L型均匀分布于所述上底板面的周边，所述至少两组夹紧气缸分别与所述至少四组定位气缸相对设置。本实用新型专利技术利用至少四组定位气缸定位玻璃基板的两条临边，再利用至少两组夹紧气缸对玻璃基板进行夹紧，实现了玻璃基板的预对准；本实用新型专利技术结构简单、轻便，大大降低了控制系统的难度。

Substrate pre alignment device

The utility model discloses a device for carrying a substrate pre alignment, including glass substrate on the bottom surface, the bottom surface of the upper surface of the fixed position of the cylinder and at least four sets of at least two groups of clamping cylinder, wherein at least four sets of positioning cylinder is L uniformly distributed on the periphery to the bottom plate and the at least two groups of clamping cylinder are respectively connected with the relative position of the cylinder set at least four groups. The two edges of the utility model using at least four sets of positioning cylinder positioning of the glass substrate, using at least two groups of clamping cylinder to clamp the glass substrate, the glass substrate pre alignment; the utility model has the advantages of simple structure, portability, greatly reduces the difficulty of the control system.

【技术实现步骤摘要】
一种基板预对准装置
本技术涉及基板传输
，特别涉及一种基板预对准装置。
技术介绍
在当今信息化社会，显示器在人们的生活中正扮演着越来越重要的角色。在当今的显示器领域，已有100年历史的CRT(阴极射线管)正逐渐被LCD(液晶显示器)为代表的平板显示器(FPD)所替代，而新近出现的OLED(有机发光显示器)为代表的新型平板显示器将为人们提供更加理想的显示画面，并对现有的显示产业格局产生巨大的影响。OLED因其具有超薄、主动发光、高亮度、高对比度、宽视角、宽工作温度范围、低功耗、低成本、全固态等优点，被认为是LCD最强有力的竞争者，而OLED的制作依赖于光刻工艺。在光刻工艺的前道阶段，光刻设备对玻璃基板的重复上板精度有较高要求，因此玻璃基板的预对准具有很重要的作用。玻璃基板在交接到片盒内的位置偏差，以及机械手的搬运动作重复性误差，都会导致玻璃基板初次上片时存在误差。如果上片精度不满足光刻机的要求，则无法进行下一步的工艺实现。
技术实现思路
本技术提供一种基板预对准装置，以解决现有的玻璃基板交接过程存在误差的问题。为解决上述技术问题，本技术提供一种基板预对准装置，包括用于承载玻璃基板的上底板面，所述上底板面的上表面固定有至少四组定位气缸和至少两组夹紧气缸，所述至少四组定位气缸呈L型均匀分布于所述上底板面的周边，所述至少两组夹紧气缸分别与所述至少四组定位气缸相对设置。较佳地，其中至少两组定位气缸定位所述玻璃基板的第一边，另外至少两组定位气缸定位于与所述第一边垂直的第二边，其中至少一组夹紧气缸位于与所述第一边平行的第三边，另外至少一组夹紧气缸位于与所述第二边平行的第四边。较佳地，所述夹紧气缸的固定端与活动端通过弹簧连接。较佳地，所述定位气缸和夹紧气缸的固定端均固定于所述上底板面上的安装孔内。较佳地，所述安装孔设置有多组，分别对应不同尺寸的玻璃基板。较佳地，所述定位气缸和夹紧气缸上分别设有用于调节各自在所述上底板面上的位置的千分尺。较佳地，所述上底板面的上表面还固定有多组滚珠，所述多组滚珠的顶点形成一个支撑平面。较佳地，所述基板预对准装置还包括下底板面和升降气缸，所述下底板面设置于所述上底板面的下方，所述升降气缸的固定端固定于所述下底板面，活动端穿过所述上底板面带动所述玻璃基板升降。较佳地，所述升降气缸的活动端的顶部设有若干吸附装置，用以吸附所述玻璃基板。较佳地，所述吸附装置为软吸盘。与现有技术相比，本技术提供的基板预对准装置具有如下优点：1.从结构上采用气动分别控制定位气缸和夹紧气缸的形式，结构上更为简单轻便，降低了控制系统难度；2.玻璃基板利用升降气缸及软吸盘实现交接，提高了交接精度，安全可靠；3.具有多组用于气缸固定的安装孔，实现不同尺寸玻璃基板的切换功能；4.预对准精度调节采用千分尺机构，调节方便，精度高；5.夹紧气缸利用弹簧夹紧，避免硬接触对玻璃基板造成损伤，使预对准过程更加安全可靠。附图说明图1用于说明本技术提供的基板预对准装置的主视图；图2用于说明本技术提供的基板预对准装置的俯视图；图3用于说明本技术提供的基板预对准装置预对准过程的示意图。图中：1-定位气缸、2-夹紧气缸、3-升降气缸、4-滚珠、5-玻璃基板、6-上底板面、7-下底板面、8-弹簧、9-第一安装孔、10-第二安装孔、11-千分尺、12-软吸盘。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本技术附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。本技术提供的基板预对准装置，如图1和图2所示，包括用于承载玻璃基板5的上底板面6，所述上底板面6的上表面固定有至少四组定位气缸1和至少两组夹紧气缸2，本实施例以采用四组定位气缸1和两组夹紧气缸2为例进行说明，所述四组定位气缸1呈L型均匀分布于所述上底板面6的周边，两组夹紧气缸2分别与所述定位气缸1相对设置。本技术利用四组定位气缸1定位玻璃基板5的两条临边，再利用两组夹紧气缸2对玻璃基板5进行夹紧，实现了玻璃基板5的预对准；本技术结构简单、轻便，大大降低了控制系统的难度。较佳地，请重点参考图2，其中两组定位气缸1定位所述玻璃基板5的第一边，另外两组定位气缸1定位于与所述第一边垂直的第二边，其中一组夹紧气缸2位于与所述第一边平行的第三边，另一组夹紧气缸2位于与所述第二边平行的第四边。具体地，第一边和第三边与Y轴平行，第二边与第四边与X轴平行，因此，两组定位气缸1和1组夹紧气缸2对玻璃基板5进行X方向定位夹紧；另外两组定位气缸1和夹紧气缸2对玻璃基板5进行Y方向的定位夹紧，从而实现玻璃基板5在水平面上的预对准。较佳地，请继续参考图1和图2，所述夹紧气缸2的固定端与活动端通过弹簧8连接。在夹紧过程中，弹簧8能够起到缓冲玻璃基板5冲击的作用，避免夹紧气缸2与玻璃基板5之间出现硬接触，从而保护玻璃基板5不受到伤害，使得预对准安全可靠。较佳地，请继续参考图1和图2，所述定位气缸1和夹紧气缸2的固定端均固定于所述上底板面6上的安装孔内，具体地，所述安装孔设置有多组，本实施例中为第一安装孔9和第二安装孔10，分别对应不同尺寸的玻璃基板5，两组安装孔对应的定位气缸1和夹紧气缸2的位置可实现9.7寸和13寸两种玻璃基板5的定位夹紧，具体地，定位气缸1和夹紧气缸2通过螺栓安装于上底板面6的安装孔内，靠外侧的第一安装孔9工位位置适用于13寸基板，靠内侧的第二安装孔10工位位置适用于9.7寸基板。当玻璃基板5尺寸需要改变时，首先将气缸装置拆下，然后将气缸装置安装在适用玻璃基板5的工位安装孔位置即可。较佳地，请重点参考图3，所述定位气缸1和夹紧气缸2上分别设有用于调节各自在所述上底板面6上的位置的千分尺11。具体地，玻璃基板5的预对准定位面位置坐标是通过整机玻璃基板5上板位置坐标来确定的，形成玻璃基板5的预对准定位面位置坐标是通过千分尺11调整定位气缸1、夹紧气缸2的Rz向、X向、Y向的位置来实现的。利用千分尺11调节预对准精度的具体方法如下：首先确定定位气缸1、夹紧气缸2的Rz向、X向、Y向与正确的定位气缸1、夹紧气缸2在Rz向、X向、Y向的偏移量△Rz、△X、△Y；然后，调节千分尺11补充定位气缸1、夹紧气缸2的Rz向的偏移量△Rz；最后，调节千分尺11补充定位气缸1、夹紧气缸2的X向、Y向的偏移量△X、△Y，完成定位气缸1和夹紧气缸2的准确定位。较佳地，请重点参考图1，所述上底板面6的上表面还固定有多组滚珠4，所述多组滚珠4的顶点形成一个支撑平面，该支撑平面用于平稳支撑玻璃基板5，当玻璃基板5在定位气缸1和夹紧气缸2的推动下发生平面位置移动，会与滚珠4产生滚动摩擦，相较于整个底面接触的平面摩擦，利用滚珠4能够大大减少玻璃基板5底面摩擦损坏程度。较佳地，请重点参考图1，所述基板预对准装置还包括下底板面7和升降气缸3，所述下底板面7设置于所述上底板面6的下方，所述升降气缸3的固定端固定于所述下底板面7，活动端穿过所述上底板面6带动所述玻璃基板5升降。本技术利用升降气缸3实现玻璃基板5在机械手与预对准装置之间的交接。较佳地，所述升降气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板预对准装置，其特征在于，包括用于承载玻璃基板的上底板面，所述上底板面的上表面固定有至少四组定位气缸和至少两组夹紧气缸，所述至少四组定位气缸呈L型均匀分布于所述上底板面的周边，所述至少两组夹紧气缸分别与所述至少四组定位气缸相对设置。

【技术特征摘要】
1.一种基板预对准装置，其特征在于，包括用于承载玻璃基板的上底板面，所述上底板面的上表面固定有至少四组定位气缸和至少两组夹紧气缸，所述至少四组定位气缸呈L型均匀分布于所述上底板面的周边，所述至少两组夹紧气缸分别与所述至少四组定位气缸相对设置。2.如权利要求1所述的基板预对准装置，其特征在于，其中至少两组定位气缸定位所述玻璃基板的第一边，另外至少两组定位气缸定位于与所述第一边垂直的第二边，其中至少一组夹紧气缸位于与所述第一边平行的第三边，另外至少一组夹紧气缸位于与所述第二边平行的第四边。3.如权利要求1所述的基板预对准装置，其特征在于，所述夹紧气缸的固定端与活动端通过弹簧连接。4.如权利要求1所述的基板预对准装置，其特征在于，所述定位气缸和夹紧气缸的固定端均固定于所述上底板面上的安装孔内。5.如权利要求4所述的基板预对...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明辉，王刚，宋海军，施益超，杨金国，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31