一种晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置，包括炉罩、炉体和炉座，所述的炉体下端设置于炉体座上，所述的炉罩设置在炉座上，所述的炉体之炉口塞端与炉口塞热封式配合，所述的炉体座为可调式结构，炉体座与炉座之间可调式支撑配合。本实用新型专利技术通过数个炉体调节装置之间三点对称式布置配合调节炉体座，在不停炉的情况下，即可实现实时调整，进而使得设置在炉体座上的炉体的炉芯始终保持平衡，保证处于炉芯内的长晶杆周围的温场均匀，使晶体生长不受影响，提高了长晶质量，延长了晶体生长炉的使用寿命。

Vertical height efficient adjusting device for furnace body of crystal growth furnace

The utility model discloses a crystal growth furnace, furnace body verticality adjusting device, which comprises a furnace cover, a furnace body and a furnace seat, the lower end of the furnace body is arranged in the furnace seat, a furnace cover is arranged in the furnace seat, the furnace body and the furnace mouth plug end plug sealing type the seat of the furnace body with the adjustable structure, the furnace seat and the furnace seat with adjustable support. The utility model through a plurality of furnace body adjusting device between three symmetrical layout with adjustable seat in the furnace body, without stopping the furnace condition, can achieve real-time adjustment, which makes the furnace core furnace body is arranged in the furnace body seat always balanced, ensure a long crystal furnace core around the rod a uniform temperature field, the crystal growth is not affected, improves the crystal quality, prolong the life of the crystal growth furnace.

【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置
技术属于晶体加工设备
，具体涉及一种晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置。
技术介绍
晶体生长炉在进行晶体生长时，长晶杆与晶体生长炉的炉芯是必须保持同轴关系，以到达长晶杆周围的温场均匀目的，但是炉芯内部温度在长晶时需要保持高温状态，而晶体生长时通常速度范围为0.01mm/hour-1mm/hour，晶体生长生长移动速度极慢，由于传统的晶体生长炉是直接以炉芯的底端为炉口塞，因此与炉芯底端接触的炉座在长时间的高温烘烤下会出现变形，造成晶体生长炉的炉芯出现歪斜偏移，歪斜偏移直接导致炉芯的轴心线与长晶杆的轴心线之间出现了偏移，也就意味着处于炉芯内的长晶杆周围的温场不均匀，晶体生长环境受影响最终造成长晶质量低下，重者直接使长晶失败，不仅难以长出高质量晶体，还造成大量原料浪费，还由于炉座的损坏间接使晶体生长炉的使用寿命降低。传统晶体生长炉一旦在使用过程出现上述问题，其解决方法是停炉更换整块炉座，不仅费时费力，也易使得长晶工作半途而废。因此，研制一种能调节炉芯垂直度、保证长晶质量的晶体生长装置是解决上述问题的关键。
技术实现思路
本技术旨在提供一种晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置，达到保证长晶质量目的。本技术的目的是这样实现的：包括炉罩、炉体和炉座，所述的炉体下端设置于炉体座上，所述的炉罩设置在炉座上，所述的炉体之炉口塞端与炉口塞热封式配合，所述的炉体座为可调式结构，炉体座与炉座之间可调式支撑配合。有益效果：本技术在炉芯底部重新设计炉口塞，使炉芯与炉体座出现偏移时也始终保持密封状态，不会造成炉芯内部的泄露；通过数个炉体调节装置之间三点对称式布置配合调节炉体座，使炉体座始终保持平衡，不停炉即可实现实时调整，从而使设置在炉体座上的炉体的炉芯的轴心线与长晶杆的轴心线始终保持重合，二者不会因炉体偏移而产生偏移，保证处于炉芯内的长晶杆周围的温场均匀，使晶体生长质量不受影响，避免造成大量原料浪费，降低生产成本，提高了晶体生长炉的使用寿命。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中炉体调节装置6的结构示意图；图3为本技术中炉体调节装置6的另一种实施方式结构示意图；图中标号：1~炉罩，2~炉体，3~炉座，4~螺口通道，5~炉体座，6~炉体调节装置，7~调节栓，8~支座，9~固定杆，10~凹槽，11~炉口塞。具体实施方式根据附图1~2所示的晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置，包括炉罩1、炉体2和炉座3，所述的炉体1下端设置于炉体座5上，所述的炉罩1设置在炉座3上，所述的炉体2之炉口塞端与炉口塞11热封式配合，所述的炉体座5为可调式结构，炉体座5与炉座3之间可调式支撑配合。所述的炉体座5为水平板式结构，其外圆周上均布设置与炉座3调节配合的炉体调节装置6。所述的炉体调节装置6呈三角形分布，所述的炉体调节装置6包括调节栓7、支座8和固定杆9，所述的支座8通过固定杆9设置于炉体座5上，支座8下端与炉座3上的调节栓7支撑配合。所述的支座8呈凹球形和对应其设置且呈凸球形的调节栓7滑动支撑配合。所述的炉座3上的螺口通道4与炉口塞11间隙配合，有至少0.6cm的间距。所述的炉口塞11与炉体座5之炉口塞通道密封配合。所述的炉体座5上设有与炉体2匹配的固定槽，炉体2设置在固定槽内。所述的炉体座5的材料为耐高温材料。根据附图3所示，作为本技术的另一种实施方式：所述的炉体调节装置6包括调节栓7、支座8和固定杆9，所述的调节栓7设置于炉体座5上，所述支座8通过固定杆9炉座3上，支座8下端与炉座3上的调节栓7支撑配合。所述的支座8上设置半球形的凹槽10，所述的调节栓7的自由端设计成与凹槽10配合的半球形凸缘，支座之凹槽与调节栓自由端之凸缘滑动配合，并在重力作用下自动适应性配合，使调节栓7轴心线自然与支座8的轴心线重合，消除炉体座5晃动而引发的炉体2晃动，保持炉体2平衡。本技术的工作方式：当炉体座5受高温烘烤下出现变形，造成设置在炉体座5的炉芯与长晶杆之间出现歪斜偏移时，工作人员通过根据偏移方向，向上或向下旋转该方向的炉体调节装置6的调节栓7，通过调节栓7的顶升或下降使出现偏移一侧的炉体座5继续与其他方向的炉体座5保持水平一致，避免炉体2随炉体座5偏移导致炉芯失去平衡，使炉芯的轴心线始终与长晶杆的轴心线重合；在旋转调节栓7的过程中，由于调节栓7的自由端设计成与凹槽10配合的半球形，故调节栓7的自由端自动与凹槽10的底心找正连线，使调节栓7轴心线的自然与支座8的轴心线重合，消除炉体座5晃动而引发的炉体2晃动，保持炉芯垂直于水平面。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置，包括炉罩（1）、炉体（2）和炉座（3），所述的炉体（1）下端设置于炉体座（5）上，所述的炉罩（1）设置在炉座（3）上，所述的炉体（2）之炉口塞端与炉口塞（11）热封式配合，其特征在于：所述的炉体座（5）为可调式结构，炉体座（5）与炉座（3）之间可调式支撑配合。

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置，包括炉罩（1）、炉体（2）和炉座（3），所述的炉体（1）下端设置于炉体座（5）上，所述的炉罩（1）设置在炉座（3）上，所述的炉体（2）之炉口塞端与炉口塞（11）热封式配合，其特征在于：所述的炉体座（5）为可调式结构，炉体座（5）与炉座（3）之间可调式支撑配合。2.根据权利要求1所述的晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置，其特征在于：所述的炉体座（5）为水平板式结构，其外圆周上均布设置与炉座（3）调节配合的炉体调节装置（6）。3.根据权利要求1所述的晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置，其特征在于：所述的炉体调节装置（6）呈三角形分布，所述的炉体调节装置（6）包括调节栓（7）、支座（8）和固定杆（9），所述的支座（8）通过固定杆（9）设置于炉体座（5）上，支座（8）下端与炉座（3）上的调节栓（7）支撑配合。4.根据权利要求3所述的晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置，其特征在于：所述的支座（8）呈凹球形和对应其设...

【专利技术属性】
技术研发人员：李照存，
申请(专利权)人：昆明沃特尔机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：云南,53