角位移平台装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种角位移平台装置，其包括角位移调节平台，角位移调节平台包括底座、台面、中间传动结构以及驱动结构；角位移调节平台还包括角位移导向结构；中间传动结构包括滚珠丝杠，其包括与驱动结构连接的螺杆和套设在螺杆上的螺母；限位导向结构，限制螺母的转动并对其滑动进行导向；以及中间组件，将螺母和台面铰接连接；角位移导向结构包括第一弧形导向部件以及第二弧形导向部件，二者相配合对平台的角位移进行导向；驱动结构驱动螺杆旋转，螺母在限位导向结构的作用下发生滑动，并通过中间组件带动台面在角位移导向结构的导向下发生角位移，实现对台面的角位移调节，其直接控制驱动结构对台面进行角位移调节，调节效率高、精准度高。

【技术实现步骤摘要】
角位移平台装置
本专利技术属于精密运动领域，具体地说，涉及一种调节效率高且调节精度高的角位移平台装置。
技术介绍
随着光纤通信和光纤传感技术的发展，光电子器件的制备成为了光信息技术进一步发展的关键。光电子集成器件的封装技术影响着光电子器件的可靠性，关键的封装工艺与封装设备可以大幅度的提高生产效率、保证器件的质量;目前光电子封装企业主要依靠手动耦合为主。如中国专利文献CN103559916B公开了一种手动对准的三自由度微动角位台，包括底座、台面、固定台、连接台、分厘卡、角度倾斜板和铰接钢片，所述底座包括Z向底座和XY向底座；所述固定台包括Z向固定台和XY向固定台，所述Z向固定台安装在Z向底座上，所述XY向固定台安装在XY向底座上；所述连接台包括第一连接台与第二连接台；上述专利文献所述的手动对准的三自由度微动角位台利用钢片支撑、分厘卡微调的方式达到平台在X轴、Y轴和Z轴的微动角位移。但是，上述专利文献所述的手动对准的三自由度微动角位台，至少存在以下不足之处：采用手动调节对准，在实际操作过程中，需要作业人员的操作熟练且操作动作幅度小，否则不仅操作效率低，而且其完成质量差、难以达到高精确度要求，更难以满足具有精度要求高的新一代芯片的耦合对准。
技术实现思路
为此，本专利技术所要解决的技术问题在于现有技术中的微动角位台采用手动调节对准，器操作效率低、完成质量差；进而提供一种调节效率高且调节精度高的角位移平台装置。为解决上述技术问题，本专利技术的角位移平台装置，其包括至少一个角位移调节平台，所述角位移调节平台包括底座、台面、中间传动结构以及驱动结构；所述角位移调节平台还包括角位移导向结构，所述中间传动结构在所述驱动结构的驱动下使所述台面在所述角位移导向结构的导向下发生角位移；所述中间传动结构包括滚珠丝杠，其包括与所述驱动结构连接的螺杆和套设在所述螺杆上的螺母；限位导向结构，限制所述螺母的转动并对其滑动进行导向；以及中间组件，将所述螺母和所述台面铰接连接；所述角位移导向结构包括第一弧形导向部件，设于所述底座的上端面/所述台面的下端面上；以及第二弧形导向部件，设于所述台面的下端面/所述底座的上端面上，所述第二弧形导向部件与所述第一导向部件相配合对所述平台的角位移进行导向。所述中间组件包括螺母座，与所述螺母固定连接；至少一个第一连杆，平行于所述螺杆设置，且一端与所述螺母座铰接；以及至少一个第二连杆，垂直于所述台面设置，且一端与所述台面固定连接，另一端与所述第一连杆的另一端铰接；其中，所述底座内成型有容纳腔，所述中间组件在所述滚珠丝杠的作用下在所述容纳腔内运动并带动所述台面发生角位移。所述第一连杆和所述第二连杆之间还设有连接轴；所述第一连杆上成型有第一连接孔，所述连接轴的一端嵌入所述第一连接孔中与所述第一连杆过盈配合；所述第二连杆上成型有第二连接孔，所述第二连接孔内固定设置有滚动轴承，所述连接轴穿过所述第二连接孔与所述滚动轴承过盈配合。所述驱动结构包括驱动电机、驱动轴以及用于安装固定所述驱动电机的支座，所述滚珠丝杠的所述螺杆采用联轴器与所述驱动轴连接。所述限位导向结构包括设于所述底座/所述支座上的导槽，以及安装在所述所述螺母座上的与所述导槽相配合的导向杆；或者，所述限位导向结构包括设于所述螺母座上的导槽，以及安装在所述底座/所述支座上的与所述导槽相配合的导向杆；其中，所述导向杆的长度方向与所述螺母的滑动方向一致。所述角位移导向结构设为至少两对交叉滚子导轨。所述第一弧形导向部件包括两个间隔设置且与所述底座/所述台面固定连接的外侧滚子导轨，所述第二弧形导向部件包括两个间隔设置的与所述台面/所述底座固定连接的内侧滚子导轨；所述外侧滚子导轨与所述内侧滚子导轨一一配合形成两对所述交叉滚子导轨。两对所述交叉滚子导轨对称设于所述安装腔的两侧。所述底座的上端面成型有用于安装所述外侧滚子导轨/所述内侧滚子导轨的上弧形面，所述台面的下端面成型有用于安装所述内侧滚子导轨/所述外侧滚子导轨的下弧形面。所述角位移平台设为两个，两个所述角位移调节平台为相互叠加设置的上角位移调节平台和下角位移调节平台，所述上角位移调节平台的底座与所述下角位移调节平台的台面固定连接；其中，所述上角位移调节平台的所述角位移导向结构的球心与所述所述下角位移调节平台的所述角位移导向结构的球心重合，且两个所述角位移导向结构的旋转轴相交并垂直。本专利技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：在本专利技术中，所述驱动结构驱动所述螺杆旋转，套设在所述螺杆上的所述螺母在所述限位导向结构的作用下发生滑动，并通过所述中间组件带动所述台面在所述角位移导向结构的导向下发生角位移，从而实现对所述台面的角位移调节，其无需手动调节校准，只需直接控制所述驱动结构即可对所述台面进行角位移调节，其调节效率高且调节精准度高。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术所述的角位移调节平台结构示意图；图2是本专利技术所述的角位移调节平台部分结构示意图；图3是本专利技术所述的角位移调节平台截面示意图；图4是本专利技术所述的角位移调节平台部分截面示意图；图5是本专利技术所述的角位移平台装置示意图；图6是本专利技术所述的运动副示意图；图中附图标记表示为：1-上角位移调节平台；2-下角位移调节平台；3-底座；4-台面；5-螺杆；6-螺母；7-螺母座；8-第一连杆；9-第二连杆；10-容纳腔；11-连接轴；12-第一连接孔；13-第二连接孔；14-滚动轴承；15-驱动电机；16-驱动轴；17-支座；18-导向杆；19-线性轴承；20-外侧滚子导轨；21-内侧滚子导轨；22-上弧形面；23-下弧形面；24-联轴器；25-延伸部；26-遮线板。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1、2、3、4和5所示，本实施例的角位移平台装置，其包括至少一个角位移调节平台，所述角位移调节平台包括底座3、台面4、中间传动结构以及驱动结构；所述角位移调节平台还包括角位移导向结构，所述中间传动结构在所述驱动结构的驱动下使所述台面4在所述角位移导向结构的导向下发生角位移；所述中间传动结构包括滚珠丝杠，其包括与所述驱动结构连接的螺杆5和套设在所述螺杆5上的螺母6；限位导向结构，限制所述螺母6的转动并对其滑动进行导向；以及中间组件，将所述螺母6和所述台面4铰接连接；所述角位移导向结构包括第一弧形导向部件，设于所述底座3的上端面/所述台面4的下端面上；以及第二弧形导向部件，设于所述台面4的下端面/所述底座3的上端面上，所述第二弧形导向部件与所述第一导向部件相配合对所述平台的角位移进行导向。具体地，所述驱动结构包括驱动电机15、驱动轴16以及用于安装固定所述驱动电机15的支座17，所述滚珠丝杠的所述螺杆5采用联轴器24与所述驱动轴16连接；作为优选的实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】
角位移平台装置，其包括至少一个角位移调节平台，所述角位移调节平台包括底座（3）、台面（4）、中间传动结构以及驱动结构；其特征在于：所述角位移调节平台还包括角位移导向结构，所述中间传动结构在所述驱动结构的驱动下使所述台面（4）在所述角位移导向结构的导向下发生角位移；所述中间传动结构包括：滚珠丝杠，其包括与所述驱动结构连接的螺杆（5）和套设在所述螺杆（5）上的螺母（6）；限位导向结构，限制所述螺母（6）的转动并对其滑动进行导向；以及中间组件，将所述螺母（6）和所述台面（4）铰接连接；所述角位移导向结构包括：第一弧形导向部件，设于所述底座（3）的上端面/所述台面（4）的下端面上；以及第二弧形导向部件，设于所述台面（4）的下端面/所述底座（3）的上端面上，所述第二弧形导向部件与所述第一导向部件相配合对所述平台的角位移进行导向。

【技术特征摘要】
1.角位移平台装置，其包括至少一个角位移调节平台，所述角位移调节平台包括底座（3）、台面（4）、中间传动结构以及驱动结构；其特征在于：所述角位移调节平台还包括角位移导向结构，所述中间传动结构在所述驱动结构的驱动下使所述台面（4）在所述角位移导向结构的导向下发生角位移；所述中间传动结构包括：滚珠丝杠，其包括与所述驱动结构连接的螺杆（5）和套设在所述螺杆（5）上的螺母（6）；限位导向结构，限制所述螺母（6）的转动并对其滑动进行导向；以及中间组件，将所述螺母（6）和所述台面（4）铰接连接；所述角位移导向结构包括：第一弧形导向部件，设于所述底座（3）的上端面/所述台面（4）的下端面上；以及第二弧形导向部件，设于所述台面（4）的下端面/所述底座（3）的上端面上，所述第二弧形导向部件与所述第一导向部件相配合对所述平台的角位移进行导向。2.根据权利要求1所述的角位移平台装置，其特征在于：所述中间组件包括：螺母座（7），与所述螺母（6）固定连接；至少一个第一连杆（8），平行于所述螺杆（5）设置，且一端与所述螺母座（7）铰接；以及至少一个第二连杆（9），垂直于所述台面（4）设置，且一端与所述台面（4）固定连接，另一端与所述第一连杆（8）的另一端铰接；其中，所述底座（3）内成型有容纳腔（10），所述中间组件在所述滚珠丝杠的作用下在所述容纳腔（10）内运动并带动所述台面（4）发生角位移。3.根据权利要求2所述的角位移平台装置，其特征在于：所述第一连杆（8）和所述第二连杆（9）之间还设有连接轴（11）；所述第一连杆（8）上成型有第一连接孔（12），所述连接轴（11）的一端嵌入所述第一连接孔（12）中与所述第一连杆（8）过盈配合；所述第二连杆（9）上成型有第二连接孔（13），所述第二连接孔（13）内固定设置有滚动轴承（14），所述连接轴（11）穿过所述第二连接孔（13）与所述滚动轴承（14）过盈配合。4.根据权利要求1-3中任一项所述的角位移平台装置，其特征在于：所述驱动结构包括驱动电机（15）、驱动轴（16）以及用于安装固定所述驱动电...

【专利技术属性】
技术研发人员：段吉安，徐聪，
申请(专利权)人：中南大学，
类型：发明
国别省市：湖南,43