一种摩擦惯性式微尺度角位移定位装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种摩擦惯性式微尺度角位移定位装置，最上部是角位移平台，最下部是底座，角位移平台下底面固定连接圆形结构的摩擦凸缘，摩擦凸缘下部是驱动器，销轴垂直间隙穿过角位移平台上中心孔和驱动器上中心孔，角位移平台关于销轴的中心轴对称，驱动器还包括柔性铰链、摩擦凸台和旋转板，旋转板套在销轴上且旋转板关于销轴的中心轴对称，2个柔性铰链连接旋转板和驱动器框架且关于销轴的中心轴对称，在旋转板上固定设有关于销轴的中心轴对称的2个摩擦凸台且2个摩擦凸台的上表面与摩擦凸缘的下表面相接触；控制外作用力随时间变化使角位移平台持续转动定位；本发明专利技术既可长行程角位移步进驱动，也可持续地按一定步距角位移进行角位移定位。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于一种可应用于微观尺度领域的角位移定位装置。
技术介绍
微机电系统(MEMS, MicroElectroMechanical System)包含尺寸从 Ium 到 Imm 之间的器件，如微型机构、微型传感器、微型执行器、微型信号处理和控制电路，以及接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。在微机电技术的研究过程中，微机电系统的加工工艺与装配技术是研究的重点。而微定位是微机电系统加工和装配中一项基本的需求，微定位有直线位移定位和角位移定位两种，微定位可根据加工和装配工艺的要求，确定待装配的微器件在微装配平台位置。目前，关于微装配领域的微定位装置，有德国PI公司设计的直线运动台，利用电 机和精密丝杠机构传动，实现直线定位精度为40纳米。有韩国精密机械研究中心设计的类仿蚯蚓行走装置，利用压电致动器的伸缩性能，在直线导轨面上进行微尺度的直线行走，行走精度达10纳米。而至今未见有关于微尺度角位移定位装置的文献报道。宏观领域的角度定位装置一般采用传统机械传动或伺服电机系统，传统机械传动机构如涡轮蜗杆机构，利用其可完成转台的角位移定位；伺服电机系统如数控转台，通过对伺服电机的角位移闭本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种摩擦惯性式微尺度角位移定位装置，最上部是角位移平台（1），最下部是底座（5），其特征是：角位移平台（1）的下底面上固定连接圆形结构的摩擦凸缘（3），摩擦凸缘（3）的下部是驱动器（6），驱动器（6）下部是底座（5），驱动器（6）的驱动器框架与底座（5）固定联接，销轴（2）的下端固接底座（5）且销轴（2）垂直间隙穿过角位移平台（1）上的中心孔和驱动器（6）上的中心孔，角位移平台（1）关于销轴（2）的中心轴对称，摩擦凸缘（3）的中心轴是销轴（2）的中心轴；驱动器（6）还包括柔性铰链（9）、摩擦凸台（4）和旋转板（10），旋转板（10）套在销轴（2）上且旋转板（10）关于销轴（2）的中心轴对称，2...

【技术特征摘要】
1.一种摩擦惯性式微尺度角位移定位装置，最上部是角位移平台(1)，最下部是底座(5)，其特征是角位移平台(I)的下底面上固定连接圆形结构的摩擦凸缘(3)，摩擦凸缘(3)的下部是驱动器(6)，驱动器(6)下部是底座(5)，驱动器(6)的驱动器框架与底座(5)固定联接，销轴(2)的下端固接底座(5)且销轴(2)垂直间隙穿过角位移平台(I)上的中心孔和驱动器(6)上的中心孔，角位移平台(I)关于销轴(2)的中心轴对称，摩擦凸缘(3)的中心轴是销轴(2)的中心轴；驱动器(6)还包括柔性铰链(9)、摩擦凸台(4)和旋转板(10)，旋转板(10)套在销轴(2)上且旋转板...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩江义，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：