具有小角度位移及平行移动的工作平台机构制造技术

技术编号:10535354 阅读:173 留言:0更新日期:2014-10-15 13:52
本实用新型专利技术公开一种具有小角度位移及平行移动的工作平台机构,包含一底板、一第一滑台、一第二滑台、一侧向滑台与一工作平台,其中该第一滑台与该第二滑台同向且可滑动的设置于该底板上,该侧向滑台横向且可滑动的设置于该第一滑台上,且该工作平台设置于该第一滑台与该第二滑台之间,并该工作平台的两侧分别与该侧向滑台、该第二滑台枢接;据此通过该第一滑台与该第二滑台的同步位移,即可让该工作平台平行移动,而当该第一滑台与该第二滑台非同步位移时,即可小角度旋转,据此其机构单纯,且可同时提供转动与移动的自由度,因而准确度可提高且耐大冲击及具有大面积的加工优势,而满足使用上的需求。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开一种具有小角度位移及平行移动的工作平台机构,包含一底板、一第一滑台、一第二滑台、一侧向滑台与一工作平台,其中该第一滑台与该第二滑台同向且可滑动的设置于该底板上,该侧向滑台横向且可滑动的设置于该第一滑台上,且该工作平台设置于该第一滑台与该第二滑台之间,并该工作平台的两侧分别与该侧向滑台、该第二滑台枢接;据此通过该第一滑台与该第二滑台的同步位移,即可让该工作平台平行移动,而当该第一滑台与该第二滑台非同步位移时,即可小角度旋转,据此其机构单纯,且可同时提供转动与移动的自由度,因而准确度可提高且耐大冲击及具有大面积的加工优势,而满足使用上的需求。【专利说明】具有小角度位移及平行移动的工作平台机构
本技术涉及一种工作平台,尤其涉及一种工作平台的位移结构。
技术介绍
XXY平台,其具有平面移动与XY平面转动的三个自由度,可用于微调平面位置与 摆放角度,为精密加工与实验室常见的精密器材之一。 请参阅图1所示,为现有工作平台机构结构图,现有XXY平台,为了可以提供三个 方向的自由度,其具有一 XY平面转动机构1、一 X轴移动机构2与一 Y轴移动机构3所叠置 组成的,其中该XY平面转动机构1可以自转而提供转动的自由度,而该X轴移动机构2则 提供X轴方向移动的自由度,至于该Y轴移动机构3则提供Y轴方向移动的自由度,因此在 该XY平面转动机构1、该X轴移动机构2与该Y轴移动机构3叠置之后,即可提供三个方向 的自由度,而满足使用上的需求。 然而,在实际结构上,该XY平面转动机构1、该X轴移动机构2与该Y轴移动机 构3,在叠加后的厚度相当的可观,且为了避免结构干涉,必须设置相当的空隙,因而难以薄 型化且形成笨重并空洞的结构,其在驱动上,精度控制不易且强度不足;换句话说,此现有 XXY平台,不但相当的占用体积,且其结构不耐冲击,又驱动的精度容易产生误差,因而难以 满足使用上的需求。
技术实现思路
爰此,本技术的主要目的在于揭露一种具有小角度位移及平行移动的工作平 台机构,以提供一种机构单纯化、准确度高且可耐大冲击的工作平台机构,来满足使用上的 需求。 为达上述目的,本技术提供一种具有小角度位移及平行移动的工作平台机 构,其包含: -底板; -第一滑台; -第二滑台,该第一滑台与该第二滑台同向且能够滑动的设置于该底板上; 一侧向滑台,该侧向滑台横向且能够滑动的设置于该第一滑台上;以及 一工作平台,该工作平台设置于该第一滑台与该第二滑台之间,且该工作平台的 两侧分别与该侧向滑台、该第二滑台枢接。 上述的具有小角度位移及平行移动的工作平台机构,其中该工作平台的两侧分别 通过一转轴与该侧向滑台、该第二滑台枢接。 上述的具有小角度位移及平行移动的工作平台机构,其中该工作平台的两侧分别 设置一凸板,该二转轴分别对应设置于该二凸板上。 上述的具有小角度位移及平行移动的工作平台机构,其中该第一滑台与该第二滑 台分别于一第一滑轨与一第二滑轨上移动,且该第一滑轨与该第二滑轨分别设有一第一螺 杆与一第二螺杆,该第一螺杆与该第二螺杆分别螺旋穿过该第一滑台与该第二滑台。 上述的具有小角度位移及平行移动的工作平台机构,其中该第一螺杆与该第二螺 杆分别连接一第一伺服马达与一第二伺服马达。 上述的具有小角度位移及平行移动的工作平台机构,其中该底板为设置于一移动 平台上,该移动平台具有一移动方向,且该移动方向与该第一滑台与该第二滑台的移动方 向不同,并该移动平台受一移动伺服马达的驱动而移动。 据此,本技术让该第一滑台与该第二滑台的同步位移时,即可让该工作平台 平行移动,而当让该第一滑台与该第二滑台非同步位移时,该工作平台的两端即会产生位 移差,而呈小角度旋转,且该工作平台旋转后所造成的侧向偏移,则为通过该侧向滑台的滑 动来吸收。其机构单纯,且可同时提供转动与移动的自由度,因而准确度可提高且耐大冲 击,可满足使用上的需求,又本技术具有大面积的加工优势(可加工范围到600*500毫 米(mm)),与小行程的半导体机构有很大区别。 以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述,但不作为对本技术 的限定。 【专利附图】【附图说明】 图1,为现有工作平台机构结构图; 图2,为本技术工作平台机构结构图; 图3,为本技术工作平台机构叠置于移动平台结构图; 图4,为本技术工作平台转动示意图; 图5,为本技术控制流程图。 【具体实施方式】 为对本技术的特征、目的及功效,有着更加深入的了解与认同,兹列举较佳实 施例并配合【专利附图】【附图说明】如后: 请参阅图2所示,本技术为一种具有小角度位移及平行移动的工作平台机 构,其包含一底板10、一第一滑台20、一第二滑台30、一侧向滑台40与一工作平台50,其中 该第一滑台20与该第二滑台30同向且可滑动的设置于该底板10上,该侧向滑台40横向 且可滑动的设置于该第一滑台20上,该工作平台50设置于该第一滑台20与该第二滑台30 之间,且该工作平台50的两侧分别与该侧向滑台40、该第二滑台30枢接。 该工作平台50的两侧可以分别通过一转轴60与该侧向滑台40、该第二滑台30枢 接,并该工作平台50的两侧可以分别设置一凸板51,而该二转轴60分别对应设置于该二凸 板51上,又该工作平台50可以设置一真空吸盘52,该真空吸盘52可以供吸附准备要加工 或是要使用的物件。 此外,该第一滑台20与该第二滑台30的实施方式,较佳者为该第一滑台20与该 第二滑台30可以分别于一第一滑轨21与一第二滑轨31上移动,且该第一滑轨21与该第 二滑轨31分别设有一第一螺杆22与一第二螺杆32,并该第一螺杆22与该第二螺杆32分 别螺旋穿过该第一滑台20与该第二滑台30,又该第一螺杆22与该第二螺杆32分别连结一 第一伺服马达23与一第二伺服马达33,而被该第一伺服马达23与该第二伺服马达33驱动 而转动。 请一并参阅图3与图4所示,其中该底板10为设置于一移动平台70上,该移动平 台70具有一移动方向,且该移动方向与该第一滑台20与该第二滑台30的移动方向不同, 并该移动平台70受一移动伺服马达71的驱动而移动。因此该移动平台70可以提供该工 作平台50-个方向的移动自由度,而该第一滑台20与该第二滑台30同步位移时,可以提 供该工作平台50另一个方向的移动自由度,且当该第一滑台20与该第二滑台30不同步位 移时,该工作平台50即会旋转而提供转动的自由度(如图4所示),且该工作平台50旋转 后所造成的偏移,则通过该侧向滑台40的滑动来吸收。换句话说,如图3所示的机构,其可 以提供两个不同方向的移动自由度与一转动的自由度,而构成XXY平台,以满足使用上的 需求。 又本技术的控制方法为提供一伺服马达控制器80,该移动平台70与该伺服 马达控制器80为设置于一壳体90内,且该伺服马达控制器80连接该移动伺服马达71、该 第一伺服马达23与该第二伺服马达33,并控制该移动伺服马达71、该第一伺服马达23与 该第二伺服马达33的转动。本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种具有小角度位移及平行移动的工作平台机构,其特征在于,包含:一底板;一第一滑台;一第二滑台,该第一滑台与该第二滑台同向且能够滑动的设置于该底板上;一侧向滑台,该侧向滑台横向且能够滑动的设置于该第一滑台上;以及一工作平台,该工作平台设置于该第一滑台与该第二滑台之间,且该工作平台的两侧分别与该侧向滑台、该第二滑台枢接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:尤志煌陈广泽吴茂荣
申请(专利权)人:光纤电脑科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:中国台湾;71

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