吸嘴装置制造方法及图纸

技术编号:15568971 阅读:175 留言:0更新日期:2017-06-10 02:49
本实用新型专利技术是一种吸嘴装置,其包含一中空的夹座及一软质弹性材质的吸嘴,夹座顶端形成一贯通的通气孔,夹座内顶面形成一气流道,气流道连通通气孔,夹座内侧面环绕形成定位凹槽,吸嘴为紧配合地设于夹座,吸嘴外侧面形成对应定位凹槽的定位凸部,所述定位凸部伸入夹座的定位凹槽,且吸嘴底部凸伸出夹座,吸嘴形成多个纵向且间隔排列的通孔,通孔连通气流道,吸嘴装置的夹座与吸嘴之间呈气密结合,再通过所述定位凸部及所述定位凹槽提供定位效果,可有效增加吸嘴与夹座的结合强度,使吸嘴不易松动或掉落,且当环境温度变化时,吸嘴仍可与夹座紧密结合。

【技术实现步骤摘要】
吸嘴装置
本技术涉及一种吸嘴装置,特别涉及一种用以提供晶粒吸取及放置的吸嘴装置。
技术介绍
随着科技进步,现今的半导体产业的产品也随着科技的进步而日渐精密,更逐渐缩小了产品的体积,因此在进行半导体组件的制程时,会通过一真空吸附式晶粒吸放装置提供晶粒的吸取及放置功能,使晶粒吸放装置在机械手臂的带动下,并搭配真空抽气装置,用以将所述晶粒自预备区移动至预定的加工区域。而现今有二种晶粒吸放装置,请参阅图5,其中一种晶粒吸放装置包含一中空的夹座90及一软质弹性材质的吸嘴80,该夹座90的顶端形成一贯通的通气孔91,该吸嘴80为紧配合地卡设于该夹座90内,该吸嘴80的顶面形成多个间隔排列的通孔81,该些通孔81皆连通该通气孔91。请参阅图6,另一种晶粒吸放装置如中国台湾技术专利第M435042号所揭露的晶粒吸放装置,其包含一基座70及一软质弹性材质的吸嘴60,该基座70的顶端形成一贯通的通气孔71,该基座70底面凸伸形成多个固定杆72,所述固定杆72的末端形成凸部73,该吸嘴60形成多个纵向的固定孔61以及多个纵向且贯通的通孔62,所述固定孔61系分别对应所述固定杆72,该吸嘴60设置于该基座70的底部,且该吸嘴60紧密地贴抵该基座70的顶面,所述固定杆72分别伸入所述固定孔61中,并通过该些固定杆72的凸部73提供限位,该些通孔62皆连通该通气孔71。如图5、图6所示,上述两种晶粒吸放装置皆能够装设于一机械手臂上,且所述通气孔71、91能够连通一真空抽气装置的抽气口,当在进行晶粒的吸取作业时,该晶粒吸放装置可通过该真空抽气装置抽气,使该些通孔62、81处产生真空吸力,所述晶粒会因为真空吸力而吸附于吸嘴60、80的通孔62、81处,并贴抵吸嘴60、80,接着所述晶粒吸放装置在机械手臂的带动下移动至预定的工作区域后,在停止该真空抽气装置运作,使该些通孔62、81处的真空吸力消失,即可达到放置晶粒的效果。其中,上述的第一种晶粒吸放装置的吸嘴80仅以紧配合的方式卡设于该夹座90上,而没有设置任何提供吸嘴80定位的结构,故在长时间的作业下,导致所述吸嘴80容易自所述夹座90上脱落;而另一种晶粒吸放装置是通过基座70底端凸伸出的固定杆72,并通过该些固定杆72伸入该吸嘴60的固定孔61中,以达到固定的效果,然而所述晶粒吸放装置在环境温度变化等因素下,容易因为该晶粒吸放装置的基座上的固定杆72与该吸嘴60的膨胀系数不同,而使该吸嘴60有松动甚至脱落的情形,且由于该基座70并未包覆该吸嘴60,故当该吸嘴60有松动的情形时,会有产生漏气的情形,导致有吸取晶粒的吸力不足的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一吸嘴装置,希藉此改善现今的晶粒吸放装置中吸嘴容易因为环境温度变化等因素而有松动或脱落的情形。为达成前述目的,本技术所提出的吸嘴装置包含:一中空的夹座,其顶端形成一贯通的通气孔,该夹座的内顶面形成一气流道,该气流道连通该通气孔,该夹座内侧面环绕形成一定位凹槽;以及一软质弹性材质的吸嘴,其为紧配合地设置于该夹座,该吸嘴的外侧面环绕形成一环形的定位凸部,所述定位凸部对应并伸入该夹座的定位凹槽,该吸嘴形成多个纵向且间隔排列的通孔,所述通孔连通该气流道。本技术另外提出的吸嘴装置,其包含:一中空的夹座,其顶端形成一贯通的通气孔,该夹座的内顶面形成一气流道,该气流道连通该通气孔,该夹座内侧面环绕形成多个间隔排列的定位凹槽;以及一软质弹性材质的吸嘴,其为紧配合地设置于该夹座,该吸嘴的外侧面环绕形成多个间隔排列的定位凸部,所述定位凸部对应并伸入该夹座的定位凹槽,该吸嘴形成多个纵向且间隔排列的通孔,该些通孔连通该气流道。本技术吸嘴装置能够设置在一机械手臂上,且该吸嘴装置的通气孔连通一真空抽气装置的抽气口,当在吸取或放置晶粒时,可通过启动或停止所述真空抽气装置,以达到吸附晶粒及放置晶粒的效果,其中,该夹座与吸嘴之间呈气密结合,并本技术吸嘴装置的吸嘴能够通过将所述定位凸部伸入夹座的定位凹槽中,使所述吸嘴与该夹座相互凹凸配合,以达到定位效果,并可增加该吸嘴与该夹座的结合强度,且当有环境温度变化时,由于所述吸嘴的膨胀系数较该夹座大,使得所述吸嘴会与该夹座之间更加紧密,故仍不易脱落。附图说明图1:为本技术吸嘴装置的第一种优选实施例的侧视剖面示意图。图2:为本技术吸嘴装置的第一种优选实施例的分解示意图。图3:为本技术吸嘴装置的第二种优选实施例的分解示意图。图4:为本技术吸嘴装置的第一种优选实施例的使用状态示意图。图5:为一习用的晶粒吸放装置的侧视剖面示意图。图6:为另一习用的晶粒吸放装置的侧视剖面示意图。具体实施方式以下配合图式及本技术的优选实施例,进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段。请参阅图1、图2,为本技术吸嘴装置的第一种优选实施例,其包含一中空的夹座10及一软质弹性材质的吸嘴20。该夹座10的顶端形成一贯通的通气孔11,该夹座10的内顶面形成一气流道12,该气流道12连通该通气孔11,该夹座10内侧面环绕形成一定位凹槽13,其中该夹座10包含一基板14、一组接部15及一侧壁16,该组接部15形成于该基板14的顶面,该侧壁16环设于该基板14的外围,并凸伸出该基板14的底面,所述通气孔11形成于该组接部15的顶端,并贯通该基板14,所述气流道12形成于该基板14的底面,所述定位凹槽13形成于该侧壁16的内侧面。该吸嘴20为紧配合地设置于该夹座10,该吸嘴20的外侧面环绕形成一环形的定位凸部21,所述定位凸部21对应并伸入该夹座10的定位凹槽13,且该吸嘴20的底部凸伸出该夹座10,该吸嘴20形成多个纵向且间隔排列的通孔22,所述通孔22连通该气流道12。请参阅图3,为本技术吸嘴装置的第二种优选实施例,其包含一中空的夹座10及一软质弹性材质的吸嘴20。如图3所示,该夹座10顶端形成一贯通的通气孔11,该夹座10的内顶面形成一气流道12,该气流道12连通该通气孔11,该夹座10内侧面环绕形成多个间隔排列的定位凹槽13a,其中该夹座10包含一基板14、一组接部15及一侧壁16,该组接部15形成于该基板14的顶面,该侧壁16环设于该基板14的外围,并凸伸出该基板14的底面,所述通气孔11形成于该组接部15的顶端,并贯通该基板14,所述气流道12形成于该基板14的底面,所述定位凹槽13a形成于该侧壁16的内侧面。如图3所示,该吸嘴20为紧配合地设置于该夹座10,该吸嘴20的外侧面环绕形成多个间隔排列的定位凸部21a,所述定位凸部21a对应并伸入该夹座10的定位凹槽13a,且该吸嘴20的底部凸伸出该夹座10,该吸嘴20形成多个纵向且间隔排列的通孔22,所述通孔22连通该气流道12。如图1所示,本技术吸嘴装置能够设置在一机械手臂(图未示)上,且该夹座10的组接部15能够连接一真空抽气装置(图未示),且所述通气孔11连通该真空抽气装置的抽气口,在吸取晶粒时,所述真空抽气装置会启动并进行抽气,使气体自所述通孔22流经该气流道12,并自该通气孔11流入该抽气孔中,进而使所述通孔22处产生真空吸力,使晶粒被吸取且贴附于该吸嘴20的底面,接着所述吸嘴装置会在该机械手臂的带本文档来自技高网
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吸嘴装置

【技术保护点】
一种吸嘴装置,其特征在于,包含:一中空的夹座,其顶端形成一贯通的通气孔,该夹座的内顶面形成一气流道,该气流道连通该通气孔,该夹座内侧面环绕形成一定位凹槽;以及一软质弹性材质的吸嘴,其为紧配合地设置于该夹座,该吸嘴的外侧面环绕形成一环形的定位凸部,所述定位凸部对应并伸入该夹座的定位凹槽,且该吸嘴的底部凸伸出该夹座,该吸嘴形成多个纵向且间隔排列的通孔,所述通孔连通该气流道。

【技术特征摘要】
1.一种吸嘴装置,其特征在于,包含:一中空的夹座,其顶端形成一贯通的通气孔,该夹座的内顶面形成一气流道,该气流道连通该通气孔,该夹座内侧面环绕形成一定位凹槽;以及一软质弹性材质的吸嘴,其为紧配合地设置于该夹座,该吸嘴的外侧面环绕形成一环形的定位凸部,所述定位凸部对应并伸入该夹座的定位凹槽,且该吸嘴的底部凸伸出该夹座,该吸嘴形成多个纵向且间隔排列的通孔,所述通孔连通该气流道。2.根据权利要求1所述的吸嘴装置,其特征在于,该夹座包含一基板、一组接部及一侧壁,该组接部形成于该基板的顶面,该侧壁环设于该基板的外围,并凸伸出该基板的底面,所述通气孔形成于该组接部的顶端,并贯通该基板,所述气流道形成于该基板的底面,所述定位凹槽形成于该侧壁的内侧面。3....

【专利技术属性】
技术研发人员:钱国镇
申请(专利权)人:勤辉科技股份有限公司钜颖企业有限公司
类型:新型
国别省市:中国台湾,71

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