The invention provides a liquid metal capacitive acceleration sensor, comprising a fixed plate, liquid metal plate, a dielectric layer, a first electrode and a second electrode, wherein the fixed plate and the liquid metal plate placed relatively and are arranged in the middle of the dielectric layer; the first electrode is positioned on the fixed plate away from the side the liquid metal plate, one side of the second electrode is positioned on the liquid metal plate away from the fixed plate, and the first electrode and the second electrode are relatively arranged; the liquid metal plate comprises a plate body cavity and in liquid metal plate inside the cavity; one end of the second electrode extends from the liquid metal plate, the other end to the plate cavity protruding from the first preset length, and the liquid metal contact plate cavity. The capacitive liquid metal acceleration sensor provided by the invention can withstand large impact and high overload, and the reaction is sensitive.
【技术实现步骤摘要】
电容式液态金属加速度传感器
本专利技术涉及加速度传感器
,具体涉及一种电容式液态金属加速度传感器。
技术介绍
加速度传感器是一种用来测量物体加速度的器件,广泛应用于汽车工业、航空业、物体振动分析等。一般加速度传感器分为压阻式、压电式、电容式等,在结构上大都是由弹性敏感元件、检测电路、壳体及辅助结构4部分组成,采用固体极板作为敏感元件,在固体极板与壳体固定时需要弹性介质,而在出现大冲击或高过载的恶劣环境下,固定极板的弹性介质容易损坏,致使加速度传感器失去作用。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷,本专利技术提供一种电容式液态金属加速度传感器,本专利技术提供的电容式液态金属加速度传感器可承受大冲击和高过载,且反应灵敏。为解决上述问题,本专利技术提供了以下技术方案:一种电容式液态金属加速度传感器,包括:固定极板、液态金属极板、电介质层、第一电极和第二电极,所述固定极板和所述液态金属极板相对放置且中间设置有电介质层;所述第一电极位于所述固定极板远离所述液态金属极板的一侧,所述第二电极位于所述液态金属极板远离所述固定极板的一侧,且所述第一电极与所述第二电极相对设置;所述液态金属极板包括平板腔体和位于平板腔体内的液态金属;所述第二电极一端伸出所述液态金属极板外,另一端向所述平板腔体内伸出第一预设长度,与平板腔体内的液态金属接触。进一步地,所述第二电极与液态金属接触的一端的材料为金、银、钛、镍或石墨。进一步地,所述第一预设长度为所述液态金属极板厚度的1/5~1/10。进一步地,所述平板腔体为真空腔体。进一步地,所述液态金属为导电率满足预设条件且熔点低于预设熔点的金属或 ...
【技术保护点】
一种电容式液态金属加速度传感器,其特征在于,包括:固定极板、液态金属极板、电介质层、第一电极和第二电极,所述固定极板和所述液态金属极板相对放置且中间设置有电介质层;所述第一电极位于所述固定极板远离所述液态金属极板的一侧,所述第二电极位于所述液态金属极板远离所述固定极板的一侧,且所述第一电极与所述第二电极相对设置;所述液态金属极板包括平板腔体和位于平板腔体内的液态金属;所述第二电极一端伸出所述液态金属极板外,另一端向所述平板腔体内伸出第一预设长度,与平板腔体内的液态金属接触。
【技术特征摘要】
1.一种电容式液态金属加速度传感器,其特征在于,包括:固定极板、液态金属极板、电介质层、第一电极和第二电极,所述固定极板和所述液态金属极板相对放置且中间设置有电介质层;所述第一电极位于所述固定极板远离所述液态金属极板的一侧,所述第二电极位于所述液态金属极板远离所述固定极板的一侧,且所述第一电极与所述第二电极相对设置;所述液态金属极板包括平板腔体和位于平板腔体内的液态金属;所述第二电极一端伸出所述液态金属极板外,另一端向所述平板腔体内伸出第一预设长度,与平板腔体内的液态金属接触。2.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,所述第二电极与液态金属接触的一端的材料为金、银、钛、镍或石墨。3.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,所述第一预设长度为所述液态金属极板厚度的1/5~1/1...
【专利技术属性】
技术研发人员:张旭东,邓中山,刘静,
申请(专利权)人:云南科威液态金属谷研发有限公司,
类型:发明
国别省市:云南,53
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