下载电容式液态金属加速度传感器的技术资料

文档序号:15543503

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本发明提供了一种电容式液态金属加速度传感器,包括:固定极板、液态金属极板、电介质层、第一电极和第二电极,所述固定极板和所述液态金属极板相对放置且中间设置有电介质层;所述第一电极位于所述固定极板远离所述液态金属极板的一侧,所述第二电极位于所述...
该专利属于云南科威液态金属谷研发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云南科威液态金属谷研发有限公司授权不得商用。

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