The invention discloses a material vacuum production system mainly comprises a furnace body, a sintering chamber in the furnace body, which is characterized in that the sintering chamber can be removed from the sintering furnace, sintering chamber shell interface and sintering furnace control system. The sintering chamber is internally provided with a heating resistor and a thermocouple, and an observation window is arranged on the outer shell, and a universal wheel with a braking device is arranged under the four corners. By separating the sintering chamber and the furnace body, when the product is fired, you can put the sintering room removed, quickly changed in a sintering chamber, continue production without cooling to burn a good product, it is effective to ensure continuous production of products, greatly improving the production capacity of enterprises. The product is not cooled by the cooling device, so as to prevent the product from cracking due to quenching, and thus to ensure the quality of the product by natural cooling.
【技术实现步骤摘要】
一种物料真空生产系统
本专利技术涉及一种真空热压烧结炉,特别是一种物料真空生产系统。
技术介绍
随着微电子技术的进步,微加工工艺的特征线宽已达亚微米级,一块陶瓷基片上可以集成106~109个以上元件,电路工作的速度越来越快、频率越来越高,这对陶瓷基片材料的性能提出了更高的要求。作为混合集成电路(HIC)和多芯片组件(MCM)的关键材料之一,陶瓷基片占其总成本的60%左右。陶瓷基片发展的总方向是低介电常数、高热导率和低成本化。目前我国生产陶瓷基片一般工艺流程依次为:球磨、真空除泡、流延成型、排胶、烧结。作为生产陶瓷基片的关键设备,真空热压烧结机是必不可少的。我国的真空热压烧结炉的结构均单室结构,因此不能实现连续烧结。在每次烧结完毕后就必须充气来实现加热室的快速降温,这样方可取出工件,这样冷却时需消耗大量氮气,所以这样做一方面是浪费氮气,另一方面是冷却时间的延长,不利于大批量生产。再有就是每台真空热压烧结机上都必须装有冷却系统,这种结构不仅比较复杂,操作起来不方便,还增加了设备的制造成本,使得设备自身价格昂贵,降低了设备自身的市场竞争力。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种结构简单、操作方便的物料真空生产系统。为解决上述技术问题,本专利技术采用的技术方案为:一种物料真空生产系统,主要包括炉体,炉体内有烧结室,其创新点在于:所述烧结室可移出烧结炉炉体,烧结室外壳上有接口于炉体控制系统连接。在此基础上:所述烧结室内装有加热系统。在此基础上:所述加热系统采用电阻式加热方式。在此基础上:所述烧结室外壳上有观察窗。在此基础上:所述烧结室内有温控装置。在此基础 ...
【技术保护点】
一种物料真空生产系统,主要包括炉体,炉体内有烧结室,其特征在于:所述烧结室可移出烧结炉炉体,烧结室外壳上有接口与烧结炉控制系统连接。
【技术特征摘要】
1.一种物料真空生产系统,主要包括炉体,炉体内有烧结室,其特征在于:所述烧结室可移出烧结炉炉体,烧结室外壳上有接口与烧结炉控制系统连接。2.根据权利要求1所述的物料真空生产系统,其特征在于:所述烧结室内装有加热系统。3.根据权利要求2所述的物料真空生产系统,其特征在于:所述加热系统...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈新富,
申请(专利权)人:如皋市富钢机械配件有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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