The invention discloses a multi-channel beam selection and acquisition system, which comprises a broad band ion beam current (1), a multi-channel selection board (), a I/V conversion board (3), a A/D conversion board (a) and a host computer (5). The system board through multiple channels (2) control of broadband beam gating and off beam collected by I/V conversion board (3) is converted into a voltage signal, A/D conversion board (4) the voltage signal is converted to a digital signal recognition and PC are transmitted to the host computer (5) multi beam, gating and acquisition. The paper gives a detailed description of a multi-channel beam selection and acquisition system, and gives the specific implementation plan. The invention relates to an ion implantation device, belonging to the field of semiconductor manufacturing.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种多路束流的采集与检测控制系统,涉及离子注入机,属于半导体装备制造领域。
技术介绍
随着集成电路的迅猛发展,半导体装备制造的发展趋势日益明显。一般集成电路芯片的制造过程需要数十种工艺设备的数百道工序。工艺线主要有曝光、刻蚀、离子注入、氧化、镀膜等工艺,这些工艺多次循环往复进行。离子注入机广泛用于半导体材料的掺杂工艺,与常规热掺杂工艺相比离子注入机具有高精度的剂量均匀性与重复性,横向扩散小等优点。因此,控制注入过程中束流的大小及均匀性成为衡量离子注入机的一个重要指标。到靶束流的大小取决于离子注入机的传输效率,注入均匀性决定了产品的质量,一般注入机为宽带束流,为了分析宽带离子束的束剖面及水平方向束流密度,我们设计了一种多通道束流选择与采集系统,原理为将宽带离子束水平方向等效为多路小束流,利用法拉第杯实现对每一路小束流的采集,从而实现束流剖面及束流大小的分析。其中,本系统可以完成对每一路小束流的独立控制,对于分析宽带束某一特定位置束流提供了方便。本控制系统结构简单,测量与控制精确、可靠。
技术实现思路
本专利技术公开了一种多通道束流选择与采集系统,该专利技术应用于离子注入机,该系统用于分析宽带离子束束剖面形状及束流强度。本专利技术专利通过以下技术方案来实现:一种多通道束流选择与采集系统,它主要包括三个功能单元:多通道选择、束流采集、数据处理。各功能单元的实现电路及作用如下:多通道选择单元主要实现对多路束流的选通,原理为通过硬件电路搭建多路独立通道控制每一路小束流的选通。该单元原理图如图2所示。由光耦及双路继电器组成多路平行通道,通过 ...
【技术保护点】
一种多通道束流选择与采集系统,其特征在于:宽带离子束束流(1)、多通道选择板(2)、I/V转换板(3)、A/D转换板(4)、以及上位机(5)。
【技术特征摘要】
1.一种多通道束流选择与采集系统,其特征在于:宽带离子束束流(1)、多通道选择板(2)、I/V转换板(3)、A/D转换板(4)、以及上位机(5)。2.如权利要求1所述的一种多通道束流选择与采集系统,其特征在于:宽带离子束等效为多路小束流,通过对多路小束流的采集分析宽带离子束的束剖面及束流密度。3.如权利要求1所述的一种多通道束流选择与采集系统,其特征在于:通道...
【专利技术属性】
技术研发人员:高婷婷,
申请(专利权)人:北京中科信电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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