电子装置、物理量传感器、压力传感器以及高度计制造方法及图纸

本发明专利技术提供电子装置、物理量传感器、压力传感器以及高度计。电子装置及物理量传感器具有优异的可靠性，此外，压力传感器、高度计、电子设备及移动体具备该电子装置。本发明专利技术的物理量传感器(1)具有：基板；压敏电阻元件(5)，其被配置在基板的一面侧；壁部，其以在俯视观察基板时包围压敏电阻元件(5)的方式而被配置在基板的一面侧；顶部，其相对于壁部而被配置在与基板相反的一侧，并同壁部一起构成空洞部(S)，壁部的与基板相反的一侧的端部的内周缘(643)在俯视观察时具有弯曲的曲部(6431)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子装置、物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备以及移动体。
技术介绍
已知一种电子装置，其具有使用半导体制造工艺而形成的空洞部(例如，参照专利文献1)。作为这种电子装置的一个示例，例如可列举出专利文献1所涉及的MEMS(MicroElectroMechanicalSystem：微机电系统)元件，该MEMS元件具有基板、被形成在基板的主面上的谐振子、被形成在基板的主面上并形成对谐振子进行收纳的空间的空间壁部。此外，专利文献1所涉及的MEMS元件的基板的一部分被形成为薄壁而作为隔膜发挥功能。而且，根据伴随着由受压引起的隔膜的挠曲而产生的谐振子的频率特性的变化，来对压力进行检测。但是，在专利文献1所涉及的MEMS元件中，由于空间壁部(侧壁)的内周在俯视观察时对应于隔膜的俯视形状而呈矩形形状，因此在空间壁部的顶部产生了热收缩等时应力会集中在顶部的与侧壁的角部对应的部分处，其结果为，存在会在顶部中产生裂纹等损伤的问题。专利文献1：日本特开2014－115208号公报。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具有优异的可靠性的电子装置以及物理量传感器，另外提供具备所涉及的电子装置的压力传感器、高度计、电子设备以及移动体。这样的目的通过下述的本专利技术来实现。应用例1本专利技术的电子装置的特征在于，具备：基板；功能元件，其被配置在所述基板上；壁部，其以在俯视观察所述基板时包围所述功能元件的方式而被配置在所述基板的一面侧；顶部，其相对于所述壁部而被配置在与所述基板相反的一侧，并同所述基板及所述壁部一起构成内部空间，所述壁部的所述顶部侧的端部的内周缘具有在俯视观察时屈曲或弯曲成钝角的曲部。根据这种电子装置，通过实质上消除壁部的与基板相反的一侧的端部的内周缘的在俯视观察时屈曲成直角或锐角的部分(容易使顶部产生应力集中的部分)消除，从而能够在产生了顶部的热收缩等时减少顶部的应力集中。因此，能够减少因顶部的热收缩等而导致的损伤。由此，能够提供一种具有优异的可靠性的电子装置。应用例2在本专利技术的电子装置中，优选为，所述曲部的数量在五个以上。由此，即使壁部的与基板相反一侧的端部的内周缘具有在俯视观察时屈曲的部分，也能够将该部分的角度全部设为钝角。即，能够将壁部的与基板相反的一侧的端部的内周缘的在俯视观察时屈曲成直角或锐角的部分在整周上全部消除。应用例3在本专利技术的电子装置中，优选为，所述曲部的形状在所述俯视观察时沿着圆弧。由此，能够在产生了顶部的热收缩等时有效地减少顶部的应力集中。应用例4在本专利技术的电子装置中，优选为，所述内周缘的形状在所述俯视观察时为圆形或椭圆形。由此，能够在产生了顶部的热收缩等时有效地减少顶部的应力集中。应用例5在本专利技术的电子装置中，优选为，所述基板具有隔膜部，所述隔膜部被设置于在俯视观察时至少一部分与所述顶部重叠的位置处，并通过受压而发生挠曲变形。由此，能够实现可对压力进行检测的电子装置(物理量传感器)。应用例6在本专利技术的电子装置中，优选为，所述功能元件为通过变形而输出电信号的传感器元件。由此，能够使压力的检测灵敏度提高。应用例7在本专利技术的电子装置中，优选为，在俯视观察时，所述隔膜部的轮廓为矩形。由此，能够使压力的检测灵敏度提高。应用例8在本专利技术的电子装置中，优选为，所述内周缘在所述俯视观察时为矩形。由此，能够减少壁部无意间阻碍在俯视观察时呈矩形的隔膜部的因受压而产生的挠曲变形的情况，并且高效地对壁部进行配置。应用例9本专利技术的物理量传感器的特征在于，具备本专利技术的电子装置，所述功能元件为传感器元件。根据这种物理量传感器，通过实质上消除壁部的与基板相反的一侧的端部的内周缘的在俯视观察时屈曲成直角或锐角的部分(容易使顶部产生应力集中的部分)，从而能够在产生了顶部的热收缩等时减少顶部的应力集中。因此，能够减少因顶部的热收缩等而导致的损伤。由此，能够提供具有优异的可靠性的物理量传感器。应用例10本专利技术的压力传感器的特征在于，具备本专利技术的电子装置。由此，能够提供具有优异的可靠性的压力传感器。应用例11本专利技术的高度计的特征在于，具备本专利技术的电子装置。由此，能够提供具有优异的可靠性的高度计。应用例12本专利技术的电子设备的特征在于，具备本专利技术的电子装置。由此，能够提供具有优异的可靠性的电子设备。应用例13本专利技术的移动体的特征在于，具备本专利技术的电子装置。由此，能够提供具有优异的可靠性的移动体。附图说明图1为表示本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的剖视图。图2为表示图1所示的物理量传感器的压敏电阻元件(传感器元件)以及壁部的配置的俯视图。图3为用于对图1所示的物理量传感器的作用进行说明的图，(a)为表示加压状态的剖视图，(b)为表示加压状态的俯视图。图4为表示图1所示的物理量传感器的制造工序的图。图5为表示图1所示的物理量传感器的制造工序的图。图6为表示本专利技术的第二实施方式所涉及的物理量传感器的压敏电阻元件(传感器元件)及壁部的配置的俯视图。图7为表示本专利技术的第三实施方式所涉及的物理量传感器的压敏电阻元件(传感器元件)及壁部的配置的俯视图。图8为表示本专利技术的第四实施方式所涉及的物理量传感器的压敏电阻元件(传感器元件)及壁部的配置的俯视图。图9为表示本专利技术的压力传感器的一个示例的剖视图。图10为表示本专利技术的高度计的一个示例的立体图。图11为表示本专利技术的电子设备的一个示例的主视图。图12为表示本专利技术的移动体的一个示例的立体图。具体实施方式以下，基于附图所示的各实施方式，对本专利技术的电子装置、物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备以及移动体进行详细说明。1.物理量传感器第一实施方式图1为表示本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的剖视图，图2为表示图1所示的物理量传感器的压敏电阻元件(传感器元件)以及壁部的配置的俯视图。图3为用于对图1所示的物理量传感器的作用进行说明的图，图3(a)为表示加压状态的剖视图，图3(b)为表示加压状态的俯视图。此外，在下文中，为了便于说明，将图1中的上侧称为“上”，下侧称为“下”。图1所示的物理量传感器1具备：具有隔膜部20的基板2；配置于隔膜部20上的作为功能元件的多个压敏电阻元件5(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子装置，其特征在于，具备：基板；功能元件，其被配置在所述基板上；壁部，其以在俯视观察所述基板时包围所述功能元件的方式而被配置在所述基板的一面侧；顶部，其相对于所述壁部而被配置在与所述基板相反的一侧，并同所述基板及所述壁部一起构成内部空间，所述壁部的所述顶部侧的端部的内周缘具有在俯视观察时屈曲或弯曲成钝角的曲部。

【技术特征摘要】
2014.11.17 JP 2014-2331061.一种电子装置，其特征在于，具备：
基板；
功能元件，其被配置在所述基板上；
壁部，其以在俯视观察所述基板时包围所述功能元件的方式而被配置在
所述基板的一面侧；
顶部，其相对于所述壁部而被配置在与所述基板相反的一侧，并同所述
基板及所述壁部一起构成内部空间，
所述壁部的所述顶部侧的端部的内周缘具有在俯视观察时屈曲或弯曲成
钝角的曲部。
2.如权利要求1所述的电子装置，其中，
所述曲部的数量在五个以上。
3.如权利要求1或2所述的电子装置，其中，
所述曲部的形状在所述俯视观察时沿着圆弧。
4.如权利要求1至3中任一项所述的电子装置，其中，
所述内周缘的形状在所述俯视观察时为圆形或椭圆形。
5.如权利要求1至4中任一项所述的电子装置，其中，
所述基板具有隔膜部，所述隔膜部被...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中信幸，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP