Each pixel area (PX) with a photoelectric conversion region (S1), the resistive gate electrode (R), the first transfer electrode (T1), second (T2), transmission electrode is on the semiconductor substrate (10) in the first transfer electrode (T1) barrier region just below (B), and is located in the semiconductor substrate (10 second) transfer electrodes (T2) charge is below the storage area (S2). The impurity concentration of the barrier region (B) is lower than that of the charge storage region (S2), and the first transfer electrode (T1) is electrically connected to the second transfer electrode (T2).
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种将所入射的能量线(光/X射线)转换为电荷(电子),使半导体内部的电位发生变化,由此传送所转换的电荷的电荷耦合元件(CCD)及其制造方法、以及具备该电荷耦合元件的固体摄像装置。
技术介绍
现有技术中,已知有多种将所入射的能量线转换为电荷的固体摄像元件(参照专利文献1~3)。尤其是,在医疗领域等中的电荷耦合元件中,要求像素尺寸较大者。这是因为,若使用较大尺寸的像素,则能够减少电荷的传送次数。[
技术介绍
文献][专利文献]专利文献1:日本专利文献特开2004-303982号公报专利文献2:日本专利文献特开2012-151364号公报专利文献3:日本专利文献特开平6-283704号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]然而,在电荷耦合元件中,利用称为边缘电场(fringingelectricfield)的电位倾斜,传送已产生的电荷,但存在如下倾向:若像素尺寸变大,则在像素的中央部中,电位相对于位置变得平坦,难以传送电荷。本专利技术是鉴于这些问题而开发的,其目的在于提供一种将所入射的能量线转换为电荷之后,能够充分传送该电荷的电荷耦合元件及其制造方法、以及具备该电荷耦合元件的固体摄像装置。[解决问题的技术手段]为了解决上述问题,本专利技术的电荷耦合元件具备:半导体基板,其具有排列于一个方向的多个像素区域;以及绝缘膜,其设置于上述半导体基板上; ...
【技术保护点】
一种电荷耦合元件,其具备:半导体基板,其具有排列于一个方向上的多个像素区域;以及绝缘膜,其设置于所述半导体基板上;该电荷耦合元件的特征在于:各个像素区域具备:光电转换区域,其对所入射的能量线进行光电转换;倾斜电位形成构件,其在所述光电转换区域内形成促进沿着所述一个方向的电荷的传送的电位倾斜;第一传送电极,其设置于所述绝缘膜上;第二传送电极,其设置于所述绝缘膜上,且配置于所述第一传送电极与邻接于该像素区域的像素区域之间;屏障区域,其位于所述半导体基板中的所述第一传送电极的正下方;以及电荷储存区域,其位于所述半导体基板中的所述第二传送电极的正下方;并且,所述屏障区域的杂质浓度低于所述电荷储存区域的杂质浓度;所述第一传送电极与所述第二传送电极电连接。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.05 JP 2013-2297431.一种电荷耦合元件,其具备:
半导体基板,其具有排列于一个方向上的多个像素区域;以及
绝缘膜,其设置于所述半导体基板上;
该电荷耦合元件的特征在于:
各个像素区域具备:
光电转换区域,其对所入射的能量线进行光电转换;
倾斜电位形成构件,其在所述光电转换区域内形成促进沿着所述
一个方向的电荷的传送的电位倾斜;
第一传送电极,其设置于所述绝缘膜上;
第二传送电极,其设置于所述绝缘膜上,且配置于所述第一传送
电极与邻接于该像素区域的像素区域之间;
屏障区域,其位于所述半导体基板中的所述第一传送电极的正下
方;以及
电荷储存区域,其位于所述半导体基板中的所述第二传送电极的
正下方;并且,
所述屏障区域的杂质浓度低于所述电荷储存区域的杂质浓度;
所述第一传送电极与所述第二传送电极电连接。
2.如权利要求1所述的电荷耦合元件,其中,
所述第一传送电极及所述第二传送电极由1个共用电极构成。
3.如权利要求1或2所述的电荷耦合...
【专利技术属性】
技术研发人员:高木慎一郎,米田康人,铃木久则,村松雅治,
申请(专利权)人:浜松光子学株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。