自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉制造技术

一种自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉，包括：炉体，在所述炉体上设有氩气进气口；氩气管路，所述氩气管路的一端与所述氩气进气口连接，所述氩气管路与所述炉体连通；真空管路，所述真空管路连接在所述炉体的底部；真空压力计，所述真空压力计连接在所述炉体的顶部。本实用新型专利技术自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉在炉体上增加氩气进气口、氩气质量流量计、氩气开关阀、氩气管路、真空压力计和在真空管路上增加电动蝶阀，设定氩气的进气量，通过真空压力计监测反馈数据与设定压力的比较来控制真空管路上电动蝶阀开闭角度的大小来实现压力的恒定控制。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及物理领域，尤其涉及半导体材料，特别涉及蓝宝石应用材料的生长，具体的是一种自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉。
技术介绍
目前市场蓝宝石生长炉主要分为:蓝宝石泡生炉、蓝宝石导膜炉、蓝宝石热交换炉、火焰法蓝宝石炉。其中针对现有市场蓝宝石泡生炉和蓝宝石导膜炉各自占有其特定市场的优势。而随着市场对蓝宝石窗口片的需求不断变化，蓝宝石导膜炉生长大尺寸窗口片的优势渐渐被市场所重视，片数从原来的1片、3片、5片到现在的16片、23片、30片，宽度从原来的40毫米发展到现在80毫米甚至于110毫米。目前市场上对蓝宝石窗口片的应用相当广泛，有低端应用也有高端应用，针对高端市场大部分蓝宝石生长企业生长出的蓝宝石毛坯或多或少都存在质量上的缺陷和不足，其中气泡问题是个最主要的问题之一。气泡问题是蓝宝石窗口片的致命缺陷，气泡问题会导致终端产品视窗的光线强弱的差异，它会直接影响终端应用市场产品的质量，所以当前解决气泡问题是最重要的目标之一。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能有效解决气泡问题的自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉。为解决上述技术问题，本技术自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉，包括：炉体，在所述炉体上设有氩气进气口；氩气管路，所述氩气管路的一端与所述氩气进气口连接，所述氩气管路与所述炉体连通；真空管路，所述真空管路连接在所述炉体的底部；真空压力计，所述真空压力计连接在所述炉体的顶部。在所述氩气管路上设有氩气开关阀。在所述氩气管路上设有氩气质量流量计。在所述真空管路上设有电动蝶阀。本技术自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉在炉体上增加氩气进气口、氩气质量流量计、氩气开关阀、氩气管路、真空压力计和在真空管路上增加电动蝶阀，设定氩气的进气量，通过真空压力计监测反馈数据与设定压力的比较来控制真空管路上电动蝶阀开闭角度的大小来实现压力的恒定控制，使蓝宝石生长炉内气氛中的杂质尽可能地被真空系统抽出从而达到晶体内部由于杂质含量低气泡明显减少的结果，同时不会因为由于外部向炉内充气对炉内的压力平衡的破坏对晶体的稳定生长而产生影响，降低产能。附图说明图1为本技术的自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉作进一步详细说明。杂质是蓝宝石窗口片中气泡产生的主要原因之一，恒定的压力是蓝宝石产业化生长的必要条件之一。本技术自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉的目的即改善蓝宝石的生长环境减少了原材料和热场中在高温下挥发出的杂质，同时还要使蓝宝石生长炉内的生长压力恒定。如图1所示，本技术自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉是在炉体3上增加氩气进气口4、所有连接处均有密封环节、氩气质量流量计6、氩气开关阀5、氩气管路7、真空压力计8和在真空管路1上增加电动蝶阀2，通过氩气质量流量计6设定氩气的进气量，通过真空压力计8监测反馈数据与设定压力的比较来控制真空管路1上电动蝶阀2开闭角度的大小来实现压力的恒定控制。以上已对本技术创造的较佳实施例进行了具体说明，但本技术并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本技术创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉，其特征在于，包括：炉体，在所述炉体上设有氩气进气口；氩气管路，所述氩气管路的一端与所述氩气进气口连接，所述氩气管路与所述炉体连通；真空管路，所述真空管路连接在所述炉体的底部；真空压力计，所述真空压力计连接在所述炉体的顶部，在所述氩气管路上设有氩气开关阀，在所述氩气管路上设有氩气质量流量计，在所述真空管路上设有电动蝶阀。

【技术特征摘要】
1.一种自动控制氩气流量的蓝宝石导膜炉，其特征在于，包括：炉体，在所述炉体上设有氩气进气口；氩气管路，所述氩气管路的一端与所述氩气进气口连接，所述氩气管路与所述炉体连通；真空管路，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵岩，张建玉，王庆国，刘建兴，王文，董建树，韩建峰，庄大伟，罗平，徐军，
申请(专利权)人：上海国晶和泰新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31