【技术实现步骤摘要】
蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆
本专利技术涉及蓝宝石单晶生产领域，特别是一种适用于蓝宝石单晶炉的蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆。
技术介绍
EFG工艺法蓝宝石单晶炉中，行程有两部分组成，晶体生长行程和晶体出炉行程，两者相加，行程需要很长，所以籽晶杆一般都很长，所以EFG工艺法蓝宝石单晶炉都相应的很高。分析发现实际上晶体生长的行程段，精度是要求比较高，而晶体出炉行程精度要求一般，目前都是按精度高的晶体生长行程来设计，这样需要很大尺寸的直线运动单元来保证精度，EFG工艺法蓝宝石单晶炉也很高，高度上需要更大厂房空间。
技术实现思路
本专利技术提供了一种降低生产成本、方便操作的蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆。 为解决上述技术问题，本专利技术蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆，包括:籽晶杆套，所述籽晶杆套为中空设计；导向销，所述导向销设置在所述籽晶杆套内；籽晶杆，所述籽晶杆设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从下部与所述导向销连接；拉绳，所述拉绳设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从上部与所述导向销连接。 在所述籽晶杆套内设有导向槽，所述导向槽沿着所述籽晶杆套的轴向设置。 所述拉绳为鹤绳。 本专利技术蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆将晶体生长行程和晶体出炉行程分开，为此设计的籽晶杆套，可使籽晶杆可以在中间上下运动，部分运动精度不是很高，这种籽晶杆上下运动用在晶体出炉时；籽晶杆相对籽晶杆套停在一个适当的位置时，相对静止成为一体，籽晶杆和籽晶杆套一起做精度更高的上下运动，这段更高精度的运动可以应用于晶体生长阶段。 【附图说明】 图1为本专利技术蓝宝石单晶炉伸缩...
【技术保护点】
蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆，其特征在于，包括：籽晶杆套，所述籽晶杆套为中空设计；导向销，所述导向销设置在所述籽晶杆套内；籽晶杆，所述籽晶杆设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从下部与所述导向销连接；拉绳，所述拉绳设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从上部与所述导向销连接。
【技术特征摘要】
1.蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆，其特征在于，包括: 籽晶杆套，所述籽晶杆套为中空设计； 导向销，所述导向销设置在所述籽晶杆套内； 籽晶杆，所述籽晶杆设置在所述籽晶杆套的内腔；所述籽晶杆的一端从下部与所述导向销连接； 拉绳，所述拉绳设置在所述籽晶杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈有生，
申请(专利权)人：上海朗兆机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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