一种二极管管芯总成酸洗工艺制造技术

本发明专利技术属于半导体二极管生产技术领域，具体是一种二极管管芯总成酸洗工艺。本发明专利技术的二极管管芯总成酸洗工艺，通过提高腐蚀液喷洒时间，使二极管管芯总成腐蚀更彻底。通过提高钝化液的钝化温度，提高了钝化效果，提高了二极管成品参数一致性。在腐蚀、钝化和清洗过程中，采用喷洒方式施加药剂，整体上提高了加工效果。在清洗后再加入漂洗过程，去除了二极管管芯总成表面残留的药剂，防止在后续工艺中对二极管成品质量造成影响。通过超声波清洗，可以去除表面粘接的杂质，进一步提高二极管管芯总成的清洁度。去水后再酒精清洗，一方面酒精与水可以去除二极管管芯表面的水，通过风干的方式，酒精快速挥发，使二极管管芯可以快速干燥。

Acid washing process of diode core assembly

The invention belongs to the technical field of semiconductor diode production, in particular to a process for the pickling of a diode core assembly. The invention relates to a process for the pickling of a diode core assembly, which improves the corrosion of the diode core assembly by improving the spraying time of the corrosion liquid. The passivation effect is improved by increasing the passivation temperature of the passivation solution, and the consistency of the finished product parameters is improved. In the process of corrosion, passivation and cleaning, spraying method is adopted to improve the processing efficiency. After cleaning, the cleaning process is added to remove the residual agent on the surface of the diode core assembly, so as to avoid the influence on the quality of the finished product in the subsequent process. The impurity can be removed by ultrasonic cleaning, and the cleanliness of the diode core assembly can be further improved. After the water to alcohol cleaning, on the one hand, alcohol and water can be removed from the surface of the diode core water, through the air drying method, rapid evaporation of alcohol, so that the core of the diode can be quickly dry.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体二极管生产
，具体是一种二极管管芯总成酸洗工艺。
技术介绍
半导体二极管，是电子线路中常用的电子零件，可应用于整流，检波，限幅等电路中。半导体二极管生产过程中，半导体二极管的管芯是由晶圆制成，通常一片晶圆上会有很多二极管单元。通过对晶圆进行切割，可以得到二极管管芯，再把二极管的管芯按一定形式封装即可以得到电子线路中所使用的二极管。在进行封装时，需要把引脚通过锡焊的形式，焊接到管芯的两出线端。将管芯与引脚焊接好以后，得到半导体二极管管芯总成。在半导体二极管管芯焊接引脚的时候，需要使用到助焊剂，导致所焊接出来的半导体二极管管芯总成含有一定的污染杂质。如果不进行清洗就进入塑料封装环节，管芯总成上的污染杂质会影响到半导体二极管P-N结的电性能。目前在工业生产上，常用的酸洗方法，常常因清洗不彻底，从而导致所生产出的半导体二极管质量不稳定。
技术实现思路
本专利技术针对上述不足，提供了一种二极管管芯总成酸洗工艺。一种二极管管芯总成酸洗工艺，包括以下步骤：S1，将二极管管芯总成进行腐蚀，所采用腐蚀液为硝酸、氢氟酸、乙酸、硫酸按体积比9∶9∶14∶4混合而成，其中所使用的硝酸浓度为69％，所使用的氢氟酸浓度为40％，所使用的乙酸浓度为98％，所使用的硫酸浓度为98.3％，腐蚀液采用喷洒方式施加，腐蚀液温度为10-20度，腐蚀液喷洒时间100-150秒；S2，将腐蚀后的二极管管芯总成进行钝化，所采用钝化液为磷酸、双氧水、去离子水按体积比1∶1∶4.5混合而成，所使用磷酸浓度为75-85％，所使用双氧水浓度为25-35％，钝化液采用喷洒方式施加，所使用钝化液温度为60-70度，钝化液喷洒时间为50-75秒；S3，将钝化后的二极管管芯总成进行清洗，所采用清洗液为氨水、双氧水、去离子水按体积比1∶1∶18混合而成，所使用的氨水浓度为15％，所使用双氧水浓度为30％，清洗液采用喷洒方式施加，所使用清洗液温度为15-20度，清洗液喷洒时间为100-150秒；S4，将清洗后的二极管管芯总成进行漂洗，所采用的漂洗液为去离子水，漂洗采用浸泡方式进行，所使用漂洗液采用循环更新方式；S5，将漂洗后的二极管管芯总成进行超声波清洗，超声波清洗采用的清洗剂为去离子不；S6，将超声波清洗后的二极管管芯总成去除水分；S7，将去水后的二极管管芯采用酒精清洗，酒精清洗所使用的酒精纯度大于97％；S8，将酒精清洗后的二极管管芯总成在无尘室内风干去除酒精。进一步地，S1步中，腐蚀液温度为15度，腐蚀液喷洒时间130秒。进一步地，S6步中去除水分采用离心式除水机。进一步地，S2步中，所使用磷酸浓度为80％，所使用双氧水浓度为30％，所使用钝化液温度为65度，钝化液喷洒时间为65秒。进一步地，S3步中，所使用清洗液温度为18度，清洗液喷洒时间为130秒。本专利技术的二极管管芯总成酸洗工艺，通过提高腐蚀液喷洒时间，使二极管管芯总成腐蚀更彻底，更有效地去除二极管管芯总成表面的杂质。通过提高钝化液的钝化温度，提高了钝化效果，提高了二极管成品参数一致性。在腐蚀、钝化和清洗过程中，采用喷洒方式施加药剂，由于二极管管芯总成所接触的都是新鲜药剂，整体上提高了加工效果。在清洗后再加入漂洗过程，去除了二极管管芯总成表面残留的药剂，防止在后续工艺中对二极管成品质量造成影响。通过超声波清洗，可以去除表面粘接的杂质，也及一些死角里用水无法冲洗掉的杂质，进一步提高二极管管芯总成的清洁度。去水后再酒精清洗，一方面酒精与水可以去除二极管管芯表面的水，另一方面，酒精也可以容易一些杂质，进一步提高清洗效果。酒精清洗结束后，通过风干的方式，酒精快速挥发，使二极管管芯可以快速干燥。本专利技术的二极管管芯总成酸洗工艺，所得到的二极管成品参数一致性高。具体实施方式一种二极管管芯总成酸洗工艺，包括以下步骤：S1，将二极管管芯总成进行腐蚀，所采用腐蚀液为硝酸、氢氟酸、乙酸、硫酸按体积比9∶9∶14∶4混合而成，其中所使用的硝酸浓度为69％，所使用的氢氟酸浓度为40％，所使用的乙酸浓度为98％，所使用的硫酸浓度为98.3％，腐蚀液采用喷洒方式施加，腐蚀液温度为10-20度，腐蚀液喷洒时间100-150秒；S2，将腐蚀后的二极管管芯总成进行钝化，所采用钝化液为磷酸、双氧水、去离子水按体积比1∶1∶4.5混合而成，所使用磷酸浓度为75-85％，所使用双氧水浓度为25-35％，钝化液采用喷洒方式施加，所使用钝化液温度为60-70度，钝化液喷洒时间为50-75秒；S3，将钝化后的二极管管芯总成进行清洗，所采用清洗液为氨水、双氧水、去离子水按体积比1∶1∶18混合而成，所使用的氨水浓度为15％，所使用双氧水浓度为30％，清洗液采用喷洒方式施加，所使用清洗液温度为15-20度，清洗液喷洒时间为100-150秒；S4，将清洗后的二极管管芯总成进行漂洗，所采用的漂洗液为去离子水，漂洗采用浸泡方式进行，所使用漂洗液采用循环更新方式；本专利技术所采用的循环更新方式，是在清洗过程中，为断地补充去离子水，在容器内部，相对于注水口的远端，设置出水口，注水量与出水量相同，容器内的去离子水总量不变。出水口设置于在容器内部，相对于注水口的远端，可以使水得到循环，不至于刚注入的水马上被出水口排走。S5，将漂洗后的二极管管芯总成进行超声波清洗，超声波清洗采用的清洗剂为去离子不；S6，将超声波清洗后的二极管管芯总成去除水分；S7，将去水后的二极管管芯采用酒精清洗，酒精清洗所使用的酒精纯度大于97％；S8，将酒精清洗后的二极管管芯总成在无尘室内风干去除酒精。进一步地，S1步中，腐蚀液温度为15度，腐蚀液喷洒时间130秒。进一步地，S6步中去除水分采用离心式除水机。进一步地，S2步中，所使用磷酸浓度为80％，所使用双氧水浓度为30％，所使用钝化液温度为65度，钝化液喷洒时间为65秒。进一步地，S3步中，所使用清洗液温度为18度，清洗液喷洒时间为130秒。本专利技术的二极管管芯总成酸洗工艺，通过提高腐蚀液喷洒时间，使二极管管芯总成腐蚀更彻底，更有效地去除二极管管芯总成表面的杂质。通过提高钝化液的钝化温度，提高了钝化效果，提高了二极管成品参数一致性。在腐蚀、钝化和清洗过程中，采用喷洒方式施加药剂，由于二极管管芯总成所接触的都是新鲜药剂，整体上提高了加工效果。在清洗后再加入漂洗过程，去除了二极管管芯总成表面残留的药剂，防止在后续工艺中对二极管成品质量造成影响。通过超声波清洗，可以去除表面粘接的杂质，也及一些死角里用水无法冲洗掉的杂质，进一步提高二极管管芯总成的清洁度。去水后再酒精清洗，一方面酒精与水可以去除二极管管芯表面的水，另一方面，酒精也可以容易一些杂质，进一步提高清洗效果。酒精清洗结束后，通过风干的方式，酒精快速挥发，使二极管管芯可以快速干燥。本专利技术的二极管管芯总成酸洗工艺，所得到的二极管成品参数一致性高。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二极管管芯总成酸洗工艺，包括以下步骤：S1，将二极管管芯总成进行腐蚀，所采用腐蚀液为硝酸、氢氟酸、乙酸、硫酸按体积比9∶9∶14∶4混合而成，其中所使用的硝酸浓度为69％，所使用的氢氟酸浓度为40％，所使用的乙酸浓度为98％，所使用的硫酸浓度为98.3％，腐蚀液采用喷洒方式施加，腐蚀液温度为10‑20度，腐蚀液喷洒时间100‑150秒；S2，将腐蚀后的二极管管芯总成进行钝化，所采用钝化液为磷酸、双氧水、去离子水按体积比1∶1∶4.5混合而成，所使用磷酸浓度为75‑85％，所使用双氧水浓度为25‑35％，钝化液采用喷洒方式施加，所使用钝化液温度为60‑70度，钝化液喷洒时间为50‑75秒；S3，将钝化后的二极管管芯总成进行清洗，所采用清洗液为氨水、双氧水、去离子水按体积比1∶1∶18混合而成，所使用的氨水浓度为15％，所使用双氧水浓度为30％，清洗液采用喷洒方式施加，所使用清洗液温度为15‑20度，清洗液喷洒时间为100‑150秒；S4，将清洗后的二极管管芯总成进行漂洗，所采用的漂洗液为去离子水，漂洗采用浸泡方式进行，所使用漂洗液采用循环更新方式；S5，将漂洗后的二极管管芯总成进行超声波清洗，超声波清洗采用的清洗剂为去离子不；S6，将超声波清洗后的二极管管芯总成去除水分；S7，将去水后的二极管管芯采用酒精清洗，酒精清洗所使用的酒精纯度大于97％；S8，将酒精清洗后的二极管管芯总成在无尘室内风干去除酒精。...

【技术特征摘要】
1.一种二极管管芯总成酸洗工艺，包括以下步骤：S1，将二极管管芯总成进行腐蚀，所采用腐蚀液为硝酸、氢氟酸、乙酸、硫酸按体积比9∶9∶14∶4混合而成，其中所使用的硝酸浓度为69％，所使用的氢氟酸浓度为40％，所使用的乙酸浓度为98％，所使用的硫酸浓度为98.3％，腐蚀液采用喷洒方式施加，腐蚀液温度为10-20度，腐蚀液喷洒时间100-150秒；S2，将腐蚀后的二极管管芯总成进行钝化，所采用钝化液为磷酸、双氧水、去离子水按体积比1∶1∶4.5混合而成，所使用磷酸浓度为75-85％，所使用双氧水浓度为25-35％，钝化液采用喷洒方式施加，所使用钝化液温度为60-70度，钝化液喷洒时间为50-75秒；S3，将钝化后的二极管管芯总成进行清洗，所采用清洗液为氨水、双氧水、去离子水按体积比1∶1∶18混合而成，所使用的氨水浓度为15％，所使用双氧水浓度为30％，清洗液采用喷洒方式施加，所使用清洗液温度为15-20度，清洗液喷洒时间为100-150秒；S4，将清...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧金荣，李平生，
申请(专利权)人：广安市嘉乐电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51