一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法制造方法及图纸

本申请提出了一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法，本发明专利技术在现有的探针式膜厚测量机上增加了刮膜刀片、刮膜碎屑处理机构和视野CCD，刮膜刀片、刮膜碎屑处理机构和视野CCD均设置在量测盘上；通过搜索CCD确定量测物的测量点位；量测针头移动到测量点位处，绘制出测量区域高度变化曲线，判断量测物是否需要进行刮膜处理，通过刮膜刀片与量测针头的相对距离确定出刮膜坐标，选定点位、刮膜方向以及刮膜长度，下降刮膜刀片，进行刮膜通过自动刮膜的方式替代手动刮膜，大大的减少了量测时间，并对刮膜量测的精度和操作性有很大的提升，避免了刮膜刀片损坏量测物的危险。适用于对色彩基板的各道制程。

Automatic film scraping measuring device of probe type film thickness measuring machine and using method thereof

The application provides a measuring device and use method of automatic film scraping a probe type film thickness measuring machine, the invention of the probe membrane current thickness measuring machine increases the scraping blade, scraping membrane membrane debris processing mechanism and vision CCD, wiper blade, scraping membrane debris processing mechanism and vision are set in CCD measuring disk; search through CCD to determine the point of measurement; measuring the needle moves to the measurement point, draw the curve of measuring regional height changes, determine the measurement whether need scraping membrane treatment, membrane by scraping blade and the relative distance measuring needle determines the scraped film coordinates. The selected point, direction and length of film scraping scraping film, falling wiped film blade, blows the membrane through the automatic scraping film instead of manual scraping film, greatly reducing the measurement time and measurement accuracy of film blowing and operation has a great. The utility model avoids the danger that the scraping blade is damaged. Suitable for each process of color substrate.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种探针式膜厚测量机，特别涉及一种用于色彩基板制程流程的探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置。
技术介绍
当前的液晶面板行业迎来了前所未有的全面发展上升阶段，市场需求朝向多样化方向发展，这就要求在晶面板行业生产中有所提高，现有的液晶面板行业色彩基板主要的制程流程为涂布→曝光→显影，探针式膜厚测量机用于量测各道制程后的膜厚以及平坦度，因此，对于减少色彩基板的膜厚以及提高色彩基板的平坦度来说，改进探针式膜厚测量机尤为重要；探针式膜厚测量机的量测原理为：探针5与待测物体接触，将探针5垂直位置变化量化，绘制出测量区域高度变化曲线，经由软件分析处理得出膜厚；在新产品导入或新制程导入时，需要对制程条件进行测试，调整不同的机台设定，此时会涉及到刮膜量测膜厚，手动刮膜需要停机，有人员进入机台对制程玻璃进行刮膜，现有的探针式膜厚测量机均包括CCD英文全称为：Charge Coupled Device是一种电荷耦合器件图像传感器。现有的探针式膜厚测量机包括测机箱6、量测头机轴2、量测盘1、搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5；量测头机轴2的一端设置在测机箱6底部，量测头机轴2的另一端固定在量测盘1的上表面；搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5均设置在量测盘1的下表面；因此，在使用现有的探针式膜厚测量机时，需要手动刮膜，手动刮膜会增加机台量程的时间，手动刮膜的精度也无法保证，还有破片风险。
技术实现思路
针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法。本专利技术所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，包括量测机箱、量测头机轴、量测盘、搜索CCD、量测CCD和量测针头；还包括刮膜刀片和视野CCD；量测头机轴的一端设置在测机箱底部，量测头机轴的另一端固定在量测盘的上表面；搜索CCD、量测CCD和量测针头均设置在量测盘的下表面；刮膜刀片和视野CCD均设置在量测盘上。根据本专利技术的一个实施例，一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置还包括刮膜碎屑处理机构；刮膜碎屑处理机构设置在量测盘上。根据本专利技术的一个实施例，一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，刮膜碎屑处理机构包括连接杆和刮膜碎屑承载盘；连接杆的一端设置在量测盘的下表面，连接杆的另一端固定在刮膜碎屑承载盘上。根据本专利技术的一个实施例，一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置还包括应力感应传感器，应力感应传感器设置在刮膜刀片上。根据本专利技术的一个实施例，量测头机轴在水平方向的旋转角度范围为：0°～180°。根据本专利技术的一个实施例，量测盘为长方形。根据本专利技术的一个实施例，量测盘上设置有伸缩件，刮膜刀片和视野CCD均设置在伸缩件的下表面，当伸缩件处于压缩状态时，刮膜刀片和视野CCD9位于量测盘内部，当伸缩件处于正常或伸长状态时，刮膜刀片和视野CCD9位于量测盘下表面。本专利技术所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置的使用方法，其特征在于，包括以下具体步骤：步骤一、通过搜索CCD确定量测物的测量点位，执行步骤二；步骤二、确定测量点位后，将量测针头移动到测量点位处，通过量测针头上方的压力传感器经由软体处理绘制出测量区域高度变化曲线，量测CCD用于实时监测针头量测过程以及量测位置精度，执行步骤三；步骤三、通过测量区域高度变化曲线判断量测物是否需要进行刮膜处理，如果，不需要刮膜处理，结束；如果需要刮膜处理，执行步骤四；步骤四、通过刮膜刀片与量测针头的相对距离确定出刮膜坐标，执行步骤五；步骤五、通过刮膜坐标选定点位、刮膜方向以及刮膜长度，执行步骤六；步骤六、根据步骤五中选定好的点位、刮膜方向以及刮膜长度，下降刮膜刀片，进行刮膜以及碎屑处理收集动作，刮膜完成后返回执行步骤一。本专利技术的有益效果不需要手动刮膜，大大的减少了量测时间，并对刮膜量测的精度和操作性有很大的提升，避免了刮膜刀片损坏量测物的危险。上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本专利技术的目的附图说明在下文中将基于实施例并参考附图来对本专利技术进行更详细的描述。其中：图1显示了
技术介绍
中现有的探针式膜厚测量机的结构示意图；图2显示了具体实施方式一所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置的结构示意图；图3显示了具体实施方式一中刮膜碎屑处理机构的结构示意图；图4显示了具体实施方式三所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置的使用方法流程图；图5显示了具体实施方式四所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置的使用方法流程图。在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。具体实施方式具体实施方式一：结合图2和图3说明本实施方式，本实施方式所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，包括量测机箱6、量测头机轴2、量测盘1、搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5；量测头机轴2的一端设置在测机箱6底部，量测头机轴2的另一端固定在量测盘1的上表面；量测头机轴2用于带动量测盘1进行旋转；搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5均设置在量测盘1的下表面；搜索CCD3用于确定量测物的测量点位；量测CCD4用于在量测时，提供视野观察，以便绘制出测量区域高度变化曲线；还包括刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9；视野CCD9用于观察在刮膜过程中刮膜刀片7的运行轨迹；刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9均设置在量测盘1上；刮膜刀片7用于刮膜，并且，刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9分别设置在近刮膜刀片7处的两侧。在本实施方式中，刮膜碎屑处理机构8包括连接杆8-1和刮膜碎屑承载盘8-2；连接杆8-1的一端设置在量测盘1的下表面，连接杆8-1的另一端固定在刮膜碎屑承载盘8-2上，刮膜碎屑处理机构8用于对刮膜后产生的光阻碎屑进行收集和清洁，以免量测时污染针头。在本实施方式中，还包括应力感应传感器，应力感应传感器设置在刮膜刀片7上；应力感应传感器用于防止刮膜刀片7破坏量测物的玻璃面。在本实施方式中，量测头机轴2在水平方向的旋转角度范围为：0°～180°。在本实施方式中，量测盘1为长方形。具体实施方式二：本实施方式所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，包括量测机箱6、量测头机轴2、量测盘1、搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5；量测头机轴2的一端设置在测机箱6底部，量测头机轴2的另一端固定在量测盘1的上表面；量测头机轴2用于带动量测盘1进行旋转；搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5均设置在量测盘1的下表面；搜索CCD3用于确定量测物的测量点位；量测CCD4用于在量测时，提供视野观察，以便绘制出测量区域高度变化曲线；还包括刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9；视野CCD9用于观察在刮膜过程中刮膜刀片7的运行轨迹；所述量测盘1上设置有伸缩件；刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9均设置在伸缩件的下表面，当伸缩件处于压缩状态时，刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9位于量测盘1内部，当伸缩件处于正常或伸长状态时，刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9位于量测盘1下表面；刮膜刀片7用于刮膜；刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9设置在量测盘的伸缩件下表面，在量测膜厚时，伸缩件处于压缩状态，不影响正常量测膜厚，在自动刮膜时，伸缩件处于正常或本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，包括量测机箱(6)、量测头机轴(2)、量测盘(1)、搜索CCD(3)、量测CCD(4)和量测针头(5)；其特征在于，还包括刮膜刀片(7)和视野CCD(9)；量测头机轴(2)的一端设置在测机箱(6)底部，量测头机轴(2)的另一端固定在量测盘(1)的上表面；搜索CCD(3)、量测CCD(4)和量测针头(5)均设置在量测盘(1)的下表面；刮膜刀片(7)和视野CCD(9)均设置在量测盘(1)上。

【技术特征摘要】
1.一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，包括量测机箱(6)、量测头机轴(2)、量测盘(1)、搜索CCD(3)、量测CCD(4)和量测针头(5)；其特征在于，还包括刮膜刀片(7)和视野CCD(9)；量测头机轴(2)的一端设置在测机箱(6)底部，量测头机轴(2)的另一端固定在量测盘(1)的上表面；搜索CCD(3)、量测CCD(4)和量测针头(5)均设置在量测盘(1)的下表面；刮膜刀片(7)和视野CCD(9)均设置在量测盘(1)上。2.根据权利要求1所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，其特征在于，还包括刮膜碎屑处理机构(8)；刮膜碎屑处理机构(8)设置在量测盘(1)上。3.根据权利要求2所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，其特征在于，刮膜碎屑处理机构(8)包括连接杆(8-1)和刮膜碎屑承载盘(8-2)；连接杆(8-1)的一端设置在量测盘(1)的下表面，连接杆(8-1)的另一端固定在刮膜碎屑承载盘(8-2)上。4.根据权利要求1所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，其特征在于，还包括应力感应传感器，应力感应传感器设置在刮膜刀片(7)上。5.根据权利要求1所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，其特征在于，量测头机轴(2)在水平方向的旋转角度范围为：0°～180°。6.根据权利要求1所述的一种探针式...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒲建宇，李启明，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42