一种干刻设备的喷洒结构及其喷嘴连接块制造技术

本实用新型专利技术提供一种干刻设备的喷洒结构及其喷嘴连接块。所述干刻设备的喷洒结构包括喷嘴连接块、固定螺栓及喷嘴，所述喷嘴连接块设有喷嘴连接孔及位于喷嘴连接孔两侧的两个螺栓固定孔，所述固定螺栓拧入所述螺栓固定孔内，将所述喷嘴连接块固定于干刻设备的腔室内部，所述喷嘴插设于所述喷嘴连接孔内。本实用新型专利技术通过改变喷嘴连接块的设计，将喷嘴连接块由原来的单边固定方式改为双边固定方式，可以有效避免由于保养时安装不当，造成喷嘴连接块单边翘起，引起特气外泄而导致的工艺不良问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及显示面板的加工设备领域，尤其涉及一种干刻设备的喷洒结构及其喷嘴连接块。
技术介绍
在干刻(干法蚀刻)设备的腔室内部，特气喷嘴(Gas Nozzle)通常通过一喷嘴连接块(Gas Nozzle Block)安装于腔室内壁，该喷嘴连接块的两端分别设有一喷嘴连接孔和螺栓固定孔，通过拧入螺栓固定孔内的固定螺栓将喷嘴连接块固定至腔室内壁，然后将喷嘴插入喷嘴连接孔内即可连通腔室内部与供气通道，向腔室内部供气。在安装上述喷嘴连接块时，因为是通过单边固定的方式来固定喷嘴连接块，因此，在安装时容易造成因喷嘴连接块的喷嘴端翘起而引起的特气外泄，给工艺造成严重影响。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种可避免安装时喷嘴连接块单边翘起的干刻设备的喷洒结构及其喷嘴连接块。本技术提供的喷嘴连接块包括设于其上的喷嘴连接孔以及位于喷嘴连接孔两侧的两个螺栓固定孔。根据本技术的一个实施例，所述喷嘴连接孔位于所述喷嘴连接块的中部，所述两个螺栓固定孔分别位于所述喷嘴连接块的两端。根据本技术的一个实施例，所述螺栓固定孔为一台阶孔，其小孔径部分用于连接固定螺栓的杆部，其大孔径部分用于收容固定螺栓的头部。根据本技术的一个实施例，所述喷嘴连接孔为一台阶孔，其小孔径部分用于插设喷嘴的连接管，其大孔径部分用于收容喷嘴的头部顶端。根据本技术的一个实施例，所述喷嘴连接块为腰形陶瓷块。本技术提供的干刻设备的喷洒结构，包括喷嘴连接块、固定螺栓及喷嘴，所述喷嘴连接块设于干刻设备的腔室内部，所述喷嘴连接块上设有喷嘴连接孔以及位于喷嘴连接孔两侧的两个螺栓固定孔，所述固定螺栓拧入所述螺栓固定孔内，所述喷嘴插设于所述喷嘴连接孔内。根据本技术的一个实施例，所述干刻设备的腔室内壁设有凹槽，所述喷嘴连接块通过所述固定螺栓固定至所述凹槽内，且其表面与干刻设备的腔室内表面平齐。根据本技术的一个实施例，所述螺栓固定孔为一台阶孔，其小孔径部分用于连接固定螺栓的杆部，其大孔径部分用于收容固定螺栓的头部。根据本技术的一个实施例，所述固定螺栓为内六角螺栓，其顶面与喷嘴连接块的对应表面平齐。根据本技术的一个实施例，所述喷嘴连接孔与所述喷嘴紧配合，所述喷嘴连接孔为一台阶孔，其小孔径部分用于插设喷嘴的连接管，其大孔径部分用于收容喷嘴的头部顶端。本技术通过改变喷嘴连接块的设计，将喷嘴连接块由原来的单边固定方式改为双边固定方式，可以有效避免由于保养时安装不当，造成喷嘴连接块单边翘起，引起特气外泄而导致的工艺不良问题。上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1所示为本技术干刻设备的喷洒结构的立体分解示意图。图2所示为本技术干刻设备的喷洒结构的立体组装示意图。图3所示为本技术喷嘴连接块的正面立体示意图。图4所示为本技术喷嘴连接块的背面立体示意图。其中，10-喷嘴连接块，11-喷嘴连接孔，12-螺栓固定孔，20-固定螺栓，30-凹槽。具体实施方式为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本技术详细说明如下。图1及图2所示为本技术干刻设备的喷洒结构的立体示意图。如图1及图2所示，本技术干刻设备的喷洒结构包括喷嘴连接块10、固定螺栓20及喷嘴(图未示)。其中，喷嘴连接块10设于干刻设备的腔室内部，具体地，干刻设备的腔室内壁设有凹槽30，喷嘴连接块10通过固定螺栓20固定至凹槽30内。如图3及图4所示，在本实施例中，喷嘴连接块10为腰形陶瓷块。喷嘴连接块10上设有位于其中部的喷嘴连接孔11以及位于喷嘴连接孔11两侧的两个螺栓固定孔12，在本实施例中，螺栓固定孔12位于喷嘴连接块10的两端。在本实施例中，螺栓固定孔12为一横截面为圆形的台阶孔，其小孔径部分靠近喷嘴连接块10的背面，用于连接固定螺栓20的杆部，其大孔径部分靠近喷嘴连接块10的正面，用于收容固定螺栓20的头部。喷嘴连接孔11也为横截面为圆形的台阶孔，其小孔径部分靠近喷嘴连接块10的背面，用于插设喷嘴的连接管，其大孔径部分靠近喷嘴连接块10的正面，用于收容喷嘴的头部顶端。固定螺栓20拧入螺栓固定孔12内，将喷嘴连接块10固定至干刻设备腔室内壁的凹槽30内，当喷嘴连接块10固定好之后，其表面与干刻设备的腔室内表面平齐。在本实施例中，固定螺栓20为内六角螺栓，当其拧入螺栓固定孔12内之后，其顶面与喷嘴连接块10的对应表面平齐。喷嘴插设于喷嘴连接孔11内，与喷嘴连接孔11紧配合。在本实施例中，喷嘴为蘑菇状喷嘴，当喷嘴插入喷嘴连接孔11后，喷嘴的连接管插于喷嘴连接孔11的小孔径部分，喷嘴的头部顶端插于喷嘴连接孔11的大孔径部分。综上，本技术通过改变喷嘴连接块的设计，将喷嘴连接块由原来的单边固定方式改为双边固定方式，可以有效避免由于保养时安装不当，造成喷嘴连接块单边翘起，引起特气外泄而导致的工艺不良问题。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本技术，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，当可利用上述揭示的
技术实现思路
作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本技术技术方案内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷嘴连接块，其特征在于，所述喷嘴连接块包括设于其上的喷嘴连接孔以及位于喷嘴连接孔两侧的两个螺栓固定孔。

【技术特征摘要】
1.一种喷嘴连接块，其特征在于，所述喷嘴连接块包括设于其上的喷嘴连接孔以及位于喷嘴连接孔两侧的两个螺栓固定孔。2.根据权利要求1所述的喷嘴连接块，其特征在于：所述喷嘴连接孔位于所述喷嘴连接块的中部，所述两个螺栓固定孔分别位于所述喷嘴连接块的两端。3.根据权利要求1所述的喷嘴连接块，其特征在于：所述螺栓固定孔为一台阶孔，其小孔径部分用于连接固定螺栓的杆部，其大孔径部分用于收容固定螺栓的头部。4.根据权利要求1所述的喷嘴连接块，其特征在于：所述喷嘴连接孔为一台阶孔，其小孔径部分用于插设喷嘴的连接管，其大孔径部分用于收容喷嘴的头部顶端。5.根据权利要求1所述的喷嘴连接块，其特征在于：所述喷嘴连接块为腰形陶瓷块。6.一种干刻设备的喷洒结构，包括喷嘴连接块、固定螺栓及喷嘴，所述喷嘴连接块设于干刻设备的腔室内部，其特征在于：所述喷嘴连接块上设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋德伟，蒋文超，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32