一种运载料装置以及密闭设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种运载料装置及密闭设备，运载料装置包括载台、吸附装置及顶推装置；其中，载台上具有复数个数量相同且间隔设置的第一工位及第二工位，第一工位用于承载载料盘，第二工位用于承载收纳单元；吸附装置设置于载台的上方，用于吸附载料盘并将载料盘放置于收纳单元中；顶推装置设置于载台的侧方，用于顶推盒盖使盒盖闭合；镀膜完成后，吸附装置将载料盘吸起并移入收纳单元中，由于吸附装置吸附的是载料盘，不与料片接触，避免了吸附装置对镀膜的破坏，最后通过顶推装置使收纳单元闭合，将收纳单元取出放入下一制程即可，在此过程中，收纳单元保护料片免于氧化及杂质污染，在不影响制程的同时，提高镀膜的品质及性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及制程设备
，特别涉及一种运载料装置以及密闭设备。
技术介绍
在镀膜过程中，为了避免蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中与空气分子的碰撞，减少气体中的活性分子和蒸发原材料间的化学反应(如氧化等)，以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量，提高膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力，一般需要在密闭设备中进行。现有技术中，密闭设备一般具有密闭腔室，并在密闭腔室中设置一可旋转载台以承载待加工的料片，当待加工的料片加工处理完成后，作业员会直接打开密闭腔室，取出料片并送入下一道制程。但由于镀膜材料的特性不同，有些材料在开腔取片的时候，就会受到空气中氧气的影响，而发生化学特性的转变，影响产品性能。因此，如何提供一种保护装置，使其在保证制程效果的同时，能够保护料片在送入下一道制程过程中不被氧化，进而保证产品性能，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种运载料装置以及密闭设备，以达到使其在保证制程效果的同时，能够保护料片在送入下一道制程过程中不被氧化，进而保证产品性能的目的。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案：一种运载料装置，包括：载台，所述载台上具有复数个数量相同且相互间隔设置的第一工位以及第二工位，其中，所述第一工位用于承载载料盘，所述第二工位用于承载收纳单元，且所述收纳单元包括铰接的盒盖以及盒体；吸附装置，设置于所述载台的上方，所述吸附装置用于从所述第一工位吸附所述载料盘并将所述载料盘放置于所述第二工位上的所述收纳单元；顶推装置，设置于所述载台的侧方，所述顶推装置用于顶推所述盒盖以使所述盒盖闭合。优选的，还包括第一驱动组件，所述载台在所述第一驱动组件的驱动下转动，所述第一驱动组件包括第一驱动器、转动件以及传动件，所述转动件与所述载台同轴设置，所述转动件的第一端与所述载台连接，第二端通过所述传动件与所述第一驱动器的输出端连接，其中，所述第一驱动器通过所述传动件以驱动所述转动件进行转动。优选的，所述传动件为同步带，所述转动件的第二端与所述第一驱动器的输出端均设置有与所述同步带配合的同步轮。优选的，还包括第二驱动组件，所述吸附装置在所述第二驱动组件的驱动下相对于所述载台升降，所述第二驱动组件包括：第二驱动器；丝杆，相对于所述载台竖直设置并在所述第二驱动器驱动下旋转；滑杆，与所述丝杆平行设置，所述滑杆的第一端与所述丝杆连接，所述滑杆的第二端连接有所述吸附装置；其中，所述第二驱动器通过驱动所述丝杆正转或者反转以使所述滑杆上升或者下降。优选的，所述吸附装置采用真空吸附或者电磁吸附。优选的，所述顶推装置包括活塞缸以及设置于所述活塞缸的活塞杆端部的顶推头。优选的，所述盒盖远离所述盒体一侧的表面上设置有坡度槽，所述坡度槽的底面与所述盒盖靠近所述盒体一侧表面之间的距离沿所述 载台旋转方向逐渐缩小。优选的，所述盒盖远离所述合体一侧的表面上设置有气阀。优选的，所述盒体侧壁顶端设置有密封槽，所述密封槽内设置有密封条。一种密闭设备，包括密闭腔室以及如上任一项所述的运载料装置，所述载台以及所述吸附装置设置于所述密闭腔室中，所述顶推装置设置于所述密闭腔室的侧壁上。从上述技术方案可以看出，本技术提供的运载料装置，包括载台、吸附装置以及顶推装置；其中，载台上具有复数个数量相同且相互间隔设置的第一工位以及第二工位，所述第一工位用于承载载料盘，所述第二工位用于承载收纳单元，且收纳单元包括铰接的盒盖以及盒体；吸附装置设置于载台的上方，用于从第一工位吸附载料盘并将载料盘放置于第二工位上的收纳单元；顶推装置设置于载台的侧方，用于顶推盒盖以使盒盖闭合；使用时，料片在载台的第一工位完成镀膜后，吸附装置将承载有上述料片的载料盘吸起，并将载料盘移入载台第二工位的收纳单元中，如此反复，直至所有载料盘均一一对应的放置于收纳单元中，在上述过程中，吸附装置吸附的是载有料片的载料盘，而不是料片，因此，吸附装置不与镀膜后的料片直接接触，避免了吸附装置对镀膜的破坏，最后通过顶推装置将收纳单元闭合，打开密闭设备，直接将收纳单元取出放入下一制程即可，在此过程中，收纳单元形成一个密闭空间将料片保护起来不与空气直接接触，在不影响制程的同时，免于氧化及杂质污染，提高了镀膜的品质及性能。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以 根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的运载料装置的立体结构示意图；图2为本技术实施例提供的运载料装置的主视图；图3为本技术实施例提供的运载料装置的俯视图。具体实施方式本技术提供了一种运载料装置以及密闭设备，以达到使其在保证制程效果的同时，能够保护料片在送入下一道制程过程中不被氧化，进而保证产品性能的目的。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-图3，图1为本技术实施例提供的运载料装置的立体结构示意图；图2为本技术实施例提供的运载料装置的主视图；图3为本技术实施例提供的运载料装置的俯视图。本技术实施例提供的一种运载料装置，包括载台1、吸附装置6、收纳单元12以及顶推装置5。其中，载台1上具有复数个数量相同且相互间隔设置的第一工位以及第二工位，第一工位用于承载载料盘11，第二工位用于承载收纳单元12，收纳单元12用于收纳镀膜后的料片，包括铰接的盒盖以及盒体；吸附装置6设置于载台1的上方，用于吸附载料盘11并将载料盘11放置于第二工位上的收纳单元12；顶推装置5设置于载台1的侧方，顶推装置5用于顶推盒盖以使盒盖闭合。与现有技术相比，本技术实施例提供的运载料装置，使用时，料片在载台1的第一工位完成镀膜后，吸附装置6将承载有上述料片的载料盘11吸起，并将载料盘11移入载台第二工位的收纳单元12中，如此反复，直至所有料片均一一对应的放置于收纳单元12中，在 上述过程中，吸附装置6吸附的是载有料片的载料盘11，而不是料片，因此，吸附装置6不与镀膜后的料片直接接触，避免了吸附装置6对镀膜的破坏，最后通过顶推装置5将收纳单元12闭合，打开密闭设备后，直接将收纳单元12取出放入下一制程即可，在此过程中，收纳单元12形成一个密闭空间将料片保护起来不与空气直接接触，在不影响制程的同时，免于氧化及杂质污染，提高了镀膜的品质及性能。使载料盘11被吸附装置6吸起后自载台1第一工位移动至第二工位的方式有很多种，比如，载台1固定，吸附装置6设置有一个并且能够相对于载台1升降的同时围绕载台1的轴线旋转，在使用过程中，吸附装置6通过围绕载台1的旋转实现在第一工位与第二工位之间的移动，通过升降实现对于载料盘11的取放，或者，吸附装置6对应第一工位或者第二工位设置有多个，每次只需转动一定角度即可完成载料盘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种运载料装置，其特征在于，包括：载台(1)，所述载台(1)上具有复数个数量相同且相互间隔设置的第一工位以及第二工位，其中，所述第一工位用于承载载料盘(11)，所述第二工位用于承载收纳单元(12)，且所述收纳单元(12)包括铰接的盒盖以及盒体；吸附装置(6)，设置于所述载台(1)的上方，所述吸附装置(6)用于从所述第一工位吸附所述载料盘(11)并将所述载料盘(11)放置于所述第二工位上的所述收纳单元(12)；以及顶推装置(5)，设置于所述载台(1)的侧方，所述顶推装置(5)用于顶推所述盒盖以使所述盒盖闭合。

【技术特征摘要】
1.一种运载料装置，其特征在于，包括：载台(1)，所述载台(1)上具有复数个数量相同且相互间隔设置的第一工位以及第二工位，其中，所述第一工位用于承载载料盘(11)，所述第二工位用于承载收纳单元(12)，且所述收纳单元(12)包括铰接的盒盖以及盒体；吸附装置(6)，设置于所述载台(1)的上方，所述吸附装置(6)用于从所述第一工位吸附所述载料盘(11)并将所述载料盘(11)放置于所述第二工位上的所述收纳单元(12)；以及顶推装置(5)，设置于所述载台(1)的侧方，所述顶推装置(5)用于顶推所述盒盖以使所述盒盖闭合。2.根据权利要求1所述的运载料装置，其特征在于，还包括第一驱动组件(2)，所述载台(1)在所述第一驱动组件(2)的驱动下转动，所述第一驱动组件(2)包括第一驱动器(21)、转动件(24)以及传动件(22)，所述转动件(24)与所述载台(1)同轴设置，所述转动件(24)的第一端与所述载台(1)连接，第二端通过所述传动件(22)与所述第一驱动器(21)的输出端连接，其中，所述第一驱动器(21)通过所述传动件(22)以驱动所述转动件(24)进行转动。3.根据权利要求2所述的运载料装置，其特征在于，所述传动件(22)为同步带，所述转动件(24)的第二端与所述第一驱动器(21)的输出端均设置有与所述同步带配合的同步轮(23)。4.根据权利要求1所述的运载料装置，其特征在于，还包括第二驱动组件(3)，所述吸附装置(6)在所述第二驱动组件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李守军，崔国东，其他发明人请求不公开姓名，
申请(专利权)人：张家港康得新光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32