【技术实现步骤摘要】
具有可移动屏蔽件的涂布室本申请是申请日为2009年8月13日申请号为第200980133508.6号专利技术名称为“具有可移动屏蔽件的涂布室”的中国专利申请的分案申请。
本专利技术涉及涂布室以及操作涂布室的方法,并且特别地涉及其中可以执行薄膜沉积技术(比如化学气相沉积CVD处理、等离子增强化学气相沉积PECVD处理、物理气相沉积PVD处理或者溅射处理)的真空涂布室。
技术介绍
涂布技术被广泛地用在工业中以制造不同的产品。例如,用于建筑用途或者用于结合显示装置(如薄膜晶体管TFT显示装置、有机发光二极管OLED显示装置等)使用的玻璃衬底需要被涂布有薄膜。对于这些产品,期望实现均匀并一致的涂布。此外,为了保持成本低并获得有竞争力的产品,高效率的涂布处理是必要的。因此,已经在现有技术中提出了各种方法和设备以在合理的价格下获得高质量的涂层。用于实施涂层沉积的各种方法可以被划分为三种不同类型。第一种类型是衬底的静止涂布。根据这种类型,在整个涂布处理过程中,要被涂布的衬底被保持在单个涂布位置。因此,由涂布源限定的涂布区域必须覆盖要被涂布的整个表面。虽然这种方法非常简单并且因此是成本有效的,并且也适合于各种应用,但是这种方法具有以下缺点:因为由于衬底表面的空间条件不同的区域可能被不同地涂布,所以所沉积的涂层可能不能在整个表面上均匀并一致。这些问题特别是在表面的边缘处可能发生。第二种类型的涂布可以被叫做连续涂布,并且特征是这样的:通过可移动衬底托架使得要被涂布的衬底连续地移动通过由涂布源限定的涂布区域。通过这样做,可以均匀地涂布类似建筑玻璃的大面积衬底,因为要被涂布的衬底 ...
【技术保护点】
一种涂布室,包括涂布源,传输装置,其用于将适合于能够承载要被涂布的衬底的衬底支架相对于所述涂布源移动到至少一个涂布位置中,使得所述衬底可被涂布,以及至少一个第一屏蔽件,其设置在所述衬底的涂布位置与所述涂布源之间的区域中,以防止除了要被涂布的所述衬底的表面之外的区域受到涂布,其中,所述第一屏蔽件包括用于在平行于所述衬底的方向上移动所述第一屏蔽件的移动设备和用于将所述第一屏蔽件与所述衬底支架相连接的连接装置,使得所述第一屏蔽件和所述衬底支架可一同移动,其中,所述移动设备设计成使得允许所述第一屏蔽件与所述衬底支架独立地移动。
【技术特征摘要】
2008.08.25 EP 08162906.5;2008.08.25 US 12/197,6051.一种涂布室,包括涂布源,传输装置,其用于将适合于能够承载要被涂布的衬底的衬底支架相对于所述涂布源移动到至少一个涂布位置中,使得所述衬底可被涂布,以及至少一个第一屏蔽件,其设置在所述衬底的涂布位置与所述涂布源之间的区域中,以防止除了要被涂布的所述衬底的表面之外的区域受到涂布,其中所述至少一个第一屏蔽件包含移动设备以及连接装置,所述移动设备具有支撑辊(17)且所述连接装置用于将所述至少一个第一屏蔽件与所述衬底支架相连接,可旋转轴(14),所述可旋转轴(14)的纵轴垂直于所述涂布源的长度方向,其中所述传输装置(5)的下支撑辊(15,16)被设置在所述可旋转轴(14)上且通过所述可旋转轴(14)而旋转,从而在垂直于所述长度方向以及所述纵轴两者的方向上移动所述衬底支架,其中所述支撑辊(17)以防扭转的方式被设置在所述可旋转轴(14)上且可沿着所述纵轴滑动,使得所述可旋转轴(14)可沿着所述纵轴移动其中,当所述至少一个第一屏蔽件和所述衬底支架被连接时,所述至少一个第一屏蔽件和所述衬底支架可一同垂直于所述纵轴而移动且当所述至少一个第一屏蔽件和所述衬底支架未被连接时,所述至少一个第一屏蔽件与所述衬底支架可沿着所述纵轴而彼此独立地移动。2.根据权利要求1所述的涂布室,其中,所述涂布室是真空室。3.根据权利要求1或2所述的涂布室,其中,所述涂布源是从包括CVD源、PECVD源、PVD源、溅射源和气相沉积源的组中选择的。4.根据权利要求1所述的涂布室,其中,所述涂布源限定了沉积速率高于预定值的涂布区域,所述涂布区域至少在一个维度上小于要被涂布的所述衬底表面。5.根据权利要求1所述的涂布室,其中,所述涂布源包括分布在所述涂布源上方的一个或多个处理工具。6.根据权利要求5所述的涂布室,其中,所述处理工具是从包括电极、磁控管电极、喷头电极、可旋转电极、双电极、微波源、加热器、溅射靶、气体入口、蒸发源的组中选择的。7.根据权利要求1所述的涂布室,其中,所述传输装置适合于将所述衬底支架和要被涂布的所述衬底一同相对于所述涂布源设置在数个涂布位置。8.根据权利要求1所述的涂布室,其中,所述传输装置适合于使得所述衬底支架和所述衬底一同相对于所述涂布源摆动。9.根据权利要求1所述的涂布室,其中,所述传输装置的传输方向与所述涂布源的长度方向横交。10.根据权利要求4所述的涂布室,其中,所述传输装置的传输方向与所述涂布区域小于要被涂布的所述衬底表面的方向平行。11.根据权利要求1所述的涂布室,其中,所述传输装置包括驱动器和/或引导装置。12.根据权利要求11所述的涂布室,其中,所述传输装置适合于直立传输板状衬底和/或所述引导装置包括限定了传输路径的支撑件以及相对的引导轨。13.根据权利要求11或12所述的涂布室,其中,所述传输装置包括用于支撑和/或驱动所述衬底支架的辊。14.根据权利要求11或12所述的涂布室,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:汉斯·沃尔夫,拉尔夫·林德伯格,
申请(专利权)人:应用材料公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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