【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种磁盘用玻璃衬底的制造方法,具有镜面研磨工序,在该镜面研磨工序中,使研磨垫与玻璃衬底的表面接触,对上述玻璃衬底的表面供给含有研磨砂粒的镜面研磨液,其中上述镜面研磨液中含有的研磨砂粒由胶体状二氧化硅粒子制成,并且上述镜面研磨工序包括:调整镜面研磨液中的上述胶体状二氧化硅粒子的ζ电位,以控制上述研磨液的凝集度或分散度;以及通过使用包括被调整到ζ电位的胶体状二氧化硅粒子的镜面研磨液来进行镜面研磨,直到被定义为表示得到的玻璃衬底的边缘形状的Duboff值在±10nm的范围以内,其中上述镜面研磨液呈酸性;其中上述玻璃衬底含有网眼结构的玻璃骨架和修饰该网眼结构的修饰离子;其中胶体状二氧化硅粒子的粒径不大于80nm;并且其中在上述镜面研磨工序中,隔着上述研磨垫地用上台面和下台面夹住上述玻璃衬底,对上述玻璃衬底的表面供给含有研磨砂粒的上述镜面研磨液,通过使上述玻璃衬底与上述上台面和上述下台面相对地移动,对上述玻璃衬底的表面进行镜面研磨;该方法还包括在上述镜面研磨工序之前预先研磨上述玻璃衬底的表面的预备研磨工序,在上述预备研磨工序中,使研磨垫与上述玻璃衬底的表面接触,对上述玻璃衬底的表面供给含有研磨砂 ...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:泷泽利雄,舆水智,丸茂吉典,片桐诚宏,
申请(专利权)人:HOYA株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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