一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，包括以下质量百分比的组分：35%-45%的脂松香、25%-35%的松香脂、20%-30%的川蜡和4%-6%的黄蜂蜡；采用本发明专利技术所提供的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，降低了生产成本，可以在不同环境温度下使用，可以在加压抛光情况下硅片不跑片，同时除蜡方便并容易清洗。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，其特征在于，包括以下质量百分比的组分：35%‑45%的脂松香、25%‑35%的松香脂、20%‑30%的川蜡和4%‑6%的黄蜂蜡。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：尹明，汪力，
申请(专利权)人：昆山科尼电子器材有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32