下载一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡及其制备方法的技术资料

文档序号:11356709

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本发明公开了一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡,包括以下质量百分比的组分:35%-45%的脂松香、25%-35%的松香脂、20%-30%的川蜡和4%-6%的黄蜂蜡;采用本发明所提供的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡,降低了生产成本,可以在不同环境...
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