直线电机单元制造技术

本发明专利技术能实现兼顾低成本及高性能，并具有优异的散热性的轴旋转式直线电机单元。直线电机单元具有：第一直线电机，其与设置在框架的前端部的轴导向件支承部隔开间隔配置电枢，并且在轴导向件支承部的基端侧配置轴导向件；第二直线电机，其与设置在框架的前端部的轴导向件支承部的基端侧抵接配置电枢，并且在轴导向件支承部的前端侧配置轴导向件，为使各直线电机的轴导向件在框架的宽度方向上整齐排列而交替地配置第一直线电机与第二直线电机，轴导向件支承部对轴导向件以自由旋转的方式进行支承，轴被能进退移动的轴导向件支承，通过旋转电机来旋转驱动轴导向件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及能使驱动对象物进行旋转动作及直线动作的轴旋转式直线电机单元。
技术介绍
由于直线电机通过电磁感应进行动作，因此相比滚珠丝杠机构这样的机械动作，能够以小型结构进行高速动作。例如，能在半导体制造装置的芯片插装机(电子部件实装装置)中使用杆式直线电机。杆式直线电机包括具有永磁铁的杆与包围该杆的线圈，通过永磁铁的磁场与线圈中流动的电流的电磁感应，对杆施加轴向的推力而使其进行直线运动。近年，为了实现旋转动作及直线动作，提出许多如下技术：通过对滚珠花键与轴承的连结机构的研究来实现旋转电机的转矩生成部与直线电机的推力生成部。作为与能进行旋转动作及直线动作的直线电机相关联的技术，已公开了一种两自由度的致动器，其具有：在外周的一部分上具有直线轴部与花键槽的旋转移动轴；与旋转移动轴的花键槽卡合的花键导向轴承(例如，参照专利文献1)。另外，还公开了一种直线致动器，其配置有平行于直线电机的杆的第二轴部件(例如，参照专利文献2)。根据专利文献2，通过第一连结部件将杆的前端部与第二轴部件的前端部进行连结，以使第二轴部件随杆的直线运动进行直线运动。第二连结部件将第二轴部件与壳体进行连结，以使第二轴部件能进行直线运动，并防止第二轴部件绕杆的轴线回转。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许3300465号公报专利文献2：日本特开2010-57357号公报
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题然而，根据专利文献1及2的技术，连结机构均较复杂，无法使直线电机小型、节省空间及轻量化。近年，开发出一种小型直线电机，其采用用于进行直线动作的中心轴不能回转的结构，并设有与该中心轴平行的另外的旋转轴，旋转轴能与中心轴联动而进行旋转动作。但是，由于具有该中心轴及旋转轴的小型直线电机还是需要中心轴与旋转轴的连结部，因此不利于使直线电机小型、节省空间及轻量化。本专利技术是鉴于上述情形而做出的，其目的是提供一种能以简单的结构使可动部件进行直线及旋转动作，并能实现小型、节省空间及轻量化的轴旋转式直线电机单元。另外，本专利技术的另一个目的是提供一种能兼顾低成本及高性能，并具有优异的散热性的轴旋转式直线电机单元。为解决技术问题的方法为了达到上述目的，本专利技术涉及的直线电机单元是交替地并列配置使框架上的电枢配置得不同的直线电机。上述框架的前端部上设置的轴导向件支承部对轴导向件以能旋转及进退移动的方式进行支承，并且该轴导向件对上述轴进行支承。通过旋转电机来旋转驱动各直线电机的上述轴导向件。专利技术效果根据本专利技术涉及的直线电机单元，交替地并列配置使框架上的电枢配置得不同的直线电机，并通过旋转电机来旋转驱动各直线电机的轴导向件。另外，轴被能旋转及进退移动的轴导向件支承。因此，本专利技术涉及的直线电机单元能以简单的结构使可动部件进行直线及旋转动作，能实现小型、节省空间及轻量化，并能兼顾低成本及高性能。附图说明图1是第一实施方式涉及的直线电机单元的立体图。图2是第一实施方式的直线电机A1的立体图。图3是第一实施方式的直线电机B的立体图。图4是第一实施方式的直线电机A1、B的励磁部及电枢的纵向剖视图。图5是第一实施方式的直线电机A1、B的右视图。图6是第一实施方式的磁性罩的罩片的立体图。图7是第一实施方式的框架的立体图。图8是第一实施方式的直线电机A1的电枢配置的立体图。图9是第一实施方式的直线电机B的电枢配置的立体图。图10是第二实施方式涉及的直线电机单元的立体图。图11是第二实施方式的直线电机A2的立体图。附图标记说明1：励磁部2：电枢10：轴12：永磁铁20：线圈40：磁性罩80：轴导向件82：轴导向件支承部A1、A2、B：直线电机100、200：直线电机单元具体实施方式下面，参照附图对第一及第二实施方式涉及的直线电机单元进行说明。第一及第二实施方式涉及的直线电机单元是：交替地并列配置使框架上的电枢的配置不同的直线电机，并通过旋转电机来旋转驱动各直线电机的轴导向件，另外，轴被能旋转及进退移动的轴导向件支承。因此，采用第一及第二实施方式，能以简单的结构使可动部件进行直线及旋转动作，能实现小型、节省空间及轻量化，并能兼顾低成本及高性能的直线电机单元。[第一实施方式][直线电机单元的结构]首先参照图1至图7，对第一实施方式涉及的直线电机单元的结构进行说明。图1是第一实施方式涉及的直线电机单元的立体图。图2是第一实施方式的直线电机A1的立体图。图3是第一实施方式的直线电机B的立体图。图4是第一实施方式的直线电机A1、B的励磁部及电枢的纵向剖视图。图5是第一实施方式的直线电机A1、B的右视图。如图1所示，第一实施方式的直线电机单元100具有多个直线电机A1、B与用于使该直线电机A1、B的轴10进行旋转动作的旋转电机7。如图1至图3所示，各直线电机A1、B具有励磁部1、电枢2、线路板4与5以及框架6。直线电机A1与B具有大致共通的结构，但电枢2的配置以及轴导向件80的配置并不相同。此外，关于直线电机A1与B的电枢2的配置、以及轴导向件80的配置的详细内容，将在后面进行叙述。直线电机A1与B的励磁部1具有共通的结构。如图4所示，励磁部1具有轴10与永磁铁12。在本实施方式中，励磁部1作为可动部件发挥功能。此外，在下面的说明中，将轴10的前进侧称为前端侧，将轴10的后退侧称为基端侧。轴10是具有中空部11的圆筒体状的金属部件。作为轴10的构成材料，例如可以使用奥氏体类不锈钢等非磁性体，但并不限于所例示的材料。在轴10的中空部11中，沿着轴向串联设置有多个圆柱形的永磁铁12。本实施方式的永磁铁12，例如沿着轴向以磁极相斥(N-N、S-S)的方式被磁化。为了容易地进行该永磁铁12的磁极相斥配置，在永磁铁12、12之间设置有圆柱形的软磁性体13，但也可以是不设置软磁性体13的结构。轴10的前端侧由后面叙述的作为轴导向件80的滚珠花键衬套进行支承。通过滚珠花键衬套对轴10进行支承，轴10能旋转及进退移动。如图2及图3所示，沿该轴10的轴向(下面，仅称为“轴向”)上，在轴10的外周部形成有用于承接滚珠花键衬套的滚珠的圆弧形承接槽81。圆弧形承接槽81沿轴10的径向形成一对。直线电机A1与B的电枢2本身的结构是共通的，但电枢2在框架6上的配...

【技术保护点】
一种直线电机单元，其特征在于，具有:第一直线电机，其与设在框架的前端部的轴导向件支承部隔开间隔配置电枢，并且在所述轴导向件支承部的基端侧配置轴导向件；以及第二直线电机，其将所述电枢配置成与设在所述框架的前端部的所述轴导向件支承部的基端侧抵接，并且在所述轴导向件支承部的前端侧配置轴导向件，交替地配置所述第一直线电机与所述第二直线电机，以使得各直线电机的轴导向件在所述框架的宽度方向上整齐排列，所述轴导向件支承部对所述轴导向件以自由旋转的方式进行支承，所述轴导向件对轴以能进退移动的方式进行支承，通过旋转电机来旋转驱动所述轴导向件。

【技术特征摘要】
2013.09.24 JP 2013-1974931.一种直线电机单元，其特征在于，具有:
第一直线电机，其与设在框架的前端部的轴导向件支承部隔开间隔配置电
枢，并且在所述轴导向件支承部的基端侧配置轴导向件；以及
第二直线电机，其将所述电枢配置成与设在所述框架的前端部的所述轴导
向件支承部的基端侧抵接，并且在所述轴导向件支承部的前端侧配置轴导向件，
交替地配置所述第一直线电机与所述第二直线电机，以使得各直线电机的
轴导向件在所述框架的宽度方向上整齐排列，
所述轴导向件支承部对所述轴导向件以自由旋转的方式进行支承，
所述轴导向件对轴以能进退移动的方式进行支承，
通过旋转电机来旋转驱动所述轴导向件。
2.一种直线电机单元，其特征在于，具有:
第三直线电机，其与设在框架的前端部的轴导向件支承部隔开间隔配置电
枢，并且在所述轴导向件支承部的前端侧配置轴导向件；以及
第二直线电机，其将所述电枢配置成与设在所述框架的前端部的所述轴导
向件支承部的基端侧抵接，并且在所述轴导向件支承部的前端侧配置轴导向件，
交替地配置所述第三直线电机与所述第二直线电机，以使得各直线电机的
...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐玉琪，山浦一仁，
申请(专利权)人：山洋电气株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP