用于喷墨成像装置的打印头芯片及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于喷墨成像装置的打印头芯片。该打印头芯片可包括一形成于基底上以产生热的加热器，一形成于加热器上并包括一墨腔室以接收墨的腔室层，一形成于腔室层上并包括一喷嘴以与墨腔室相连的喷嘴层，一传导一部分来自于加热器的热至喷嘴的传热层。依据此打印头芯片，由喷嘴喷射的墨被在传热层中传导的热量加热。这样，墨的粘性被降低，则墨可轻易被切割成呈现充分球形的墨滴。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般涉及一种用于喷墨成像装置的打印头芯片。更具体地说，本 专利技术涉及一种用于热驱型喷墨成像装置的打印头芯片及其制造方法。
技术介绍
大体上， 一台喷墨成像装置通过喷射墨到打印媒介例如一张纸上形成图 像。传统的喷墨成像装置的打印头芯片包括一个热驱型成像装置的打印头芯片，这已在韩国未审专利公报号2006-133127中公开，其包括一基底， 一产 生热的加热器， 一含有墨腔室的腔室层以接收墨， 一含有喷嘴的喷嘴层以喷 射墨滴，这样，加热器产生的热使墨腔室中的墨产生气泡且通过气泡的膨胀 力来喷射墨滴。由于用于传统喷墨成像装置的打印头芯片的墨是粘性液体，由喷嘴喷射 的墨滴出现拉长的形状，呈现带有尾巴的样子。此外，拉长墨滴形成的点呈 现卵形。因此，由卵形点很难得到高分辨率的打印结果。
技术实现思路
本专利技术提供了 一种可形成充分球形的墨滴的喷墨成像装置。本专利技术的其它方面和应用， 一部分将在如下描述中阐明， 一部分将从描 述中或本专利技术的实际运用中变得明显。前述和/或本专利技术其他方面及应用可以通过一个利用喷墨成像装置的 打印头芯片实现，其包括一个形成在基底上以产生热的加热器， 一腔室层形 成于加热器并含有墨腔室以接收墨， 一形成于腔室层的喷嘴层并含有一个与 一墨腔室相连通的喷嘴， 一从加热器传播一部分热量到喷嘴的传热层。传热层包括第一传热部分，其穿过腔室层形成，并具有临近于加热器的 第 一端，和从第 一传热部分的第二端延伸到喷嘴的第二传热部分。打印头芯片还包括一将基底与加热器隔离开的隔热层，和一个通过覆盖 在加热器上以起保护作用的加热器保护层。打印头芯片还包括一防空隙层，以防止因热及墨腔室底面墨滴的腐蚀。 第 一传热部分的第 一端和防空隙层接触。进一步，传热孔可通过腔室层中墨腔室两边形成第一传热部分。 前述和/或本专利技术其他方面及应用可通过提供用于喷墨成像装置的打印 头芯片的制造方法实现，该方法包括在基底上形成一加热器，形成一含有用 以接收墨的墨腔室的腔室层， 一传热孔传递来自于加热器的热量，通过腔室 层，在传热孔中形成第一传热部分，这样热量传过腔室层，在墨腔室中形成 牺牲层，在第一传热部分和牺牲层上形成接收来自于第一传热部分的热量的 第二传热部分，在腔室层和第二传热部分形成一含有喷嘴的喷嘴层，并移除 牺牲层。进一步，在基底上形成隔热层之后，加热器形成于隔热层上。 进一步，在用来保护加热器的加热器保护层形成于加热器上以及在加热 器保护层上形成防止氧化的防空隙层之后，，腔室层形成于防空隙层上。前述和/或本专利技术其他方面及应用可以通过提供一用于喷墨成像装置的打印头芯片来实现，其包括一形成于基底用来产生热的加热器； 一形成于 基底上以包括用来喷射的墨的墨流动区域； 一形成在上述墨流动区域上的喷 嘴层，其含有一喷嘴，与墨流动区域连通；和一从加热器传递部分热到喷嘴 的传热层。墨流动区域包括于其中的墨，并^f吏墨穿过打印头芯片流到喷嘴。 前述和/或本专利技术其他方面及使用可以通过提供用于喷墨成像装置的 打印头芯片的制造方法来实现，该方法包括形成一加热器于基底上；形成 一墨流动区域，其包括以穿过的方式传导加热器产生的热的传热孔；形成第 一传热部分在传热孔中，这样热通过墨流动区域被传导；形成一牺牲层于墨 流动区域；形成第二传热部分以从第一传热部分接收热，，并且延伸穿过牺 牲层的一部分；形成一含一喷嘴的喷嘴层，其位于牺牲层和第二传热部分上； 并且去除牺牲层。附图说明从下面具体描述中，结合附图，上述及本专利技术特征和作用，将变得明显 和更容易理解，在附图中附图1是示出根据本专利技术的 一个实施例的一用于喷墨成像装置的打印头芯片的横截面图；且附图2至5是示出依据本专利技术的一实施例的一用于喷墨成像装置的打印 头芯片的制造方法的横截面图。具体实施例方式现在将对本专利技术实施例做出详细介绍，其示例在附图中示出，其中相同 的参考数字始终表示相同的元件。下面参考附图描述实施例，以解释本专利技术。如图l所示，依据本专利技术一实施例的一用于喷墨成像装置的打印头芯片 包括一硅基底l， 一通过使用供应的能量以产生热的加热器3， 一隔热层2， 一加热器保护层4， 一防空隙层5， 一腔室层6及一喷嘴层8。隔热层2形成 于加热层3与基底1之间，以隔离加热器3和基底1。加热器保护层4形成 于加热器3上以保护加热器3。防空隙层5包括金属材料例如钽并能被形成 在加热器保护层4上，以防止由于热或墨导致的表面氧化。腔室层6可形成 在防空隙层5上以形成一接收墨的墨腔室6a。喷嘴层8形成在腔室层6上， 其具有一与墨腔室6a连通的墨喷嘴8a。同时，配备有墨腔室6a的腔室层6 形成在防空隙层5上，这样防空隙层5形成墨腔室6a的底表面。进一步，依据本实施例的用于喷墨成像装置的打印头芯片包括一传热层 7，其通过/人加热器3向喷嘴8a传导热以加热通过喷嘴8a喷射的墨。传热层7有一毗邻加热器3的端部以接收来自加热器3的热，另一端延 伸到喷嘴8a。这样， 一部分来自于加热器3的热传递到喷嘴8a,这样穿过 喷嘴8a的墨能被加热。根据本实施例，传热层7包括第一传热部分73及第 二传热部分7b。第一传热部分7a穿过腔室层6，并有一端部接触防空隙层5 以接收来自于加热器3的热。第二传热部分7b从第一传热部分7a的另一端 延伸到喷嘴8a。此时，在腔室层6的墨腔室6a的两面上都具有穿过腔室层 6形成的传热孔6b,这样，第一传热部分7a能够通过粘贴感光银形成在传 热孑L 6b内。产生自加热器3的一部分热，通过传热层7被传导到喷嘴8a,这样，通 过喷嘴8a喷洒/喷射的墨被加热。由于液体粘度与液体温度成比例地降4氐， 墨的粘度也降低了，这样，通过喷嘴8a喷洒的墨滴由于低粘度而被以一个 短的长度切断。换句话说，由于墨的低粘度，墨滴可被以任意尺寸喷射。这 样，可以得到完全的球形墨滴。因此，为了得到高分辨率打印结果所需的近似于圓的点可以得到。以下，具有上述结构的用于喷墨成像装置的打印头芯片的制造方法，将 根据本专利技术的另 一个实施例被描述。如图2所述，在硅基底i上形成一包括Si(^的隔热层2之后， 一加热 器3形成于隔热层2上，且一包括SiNx的加热器保护层4形成于加热器3 上。然后， 一含钽防空隙层5形成于加热器保护层4上以防止氧化，并形成 一具有墨腔室6a及传热孔6b的腔室层6。如图3所示，传热层7的第一传 热部分7a通过将感光银注入并粘贴在传热孔6b中形成。如图4所示，向墨 腔室6a注入将被去除的牺牲层9之后，传热层7的第二传热部分7b形成于 第一传热部分7a和牺牲层9上。如图5所示，含一喷嘴8a的喷嘴层8形成 于腔室层6和第二传热部分7b上，牺牲层9最终从墨腔室6a中被去除，从 而完成了如图1所示的用于喷墨成像装置的打印头芯片的制造。虽然本专利技术的几个实施例已被示出和描述，但允许本领域技术人员在不 超出本专利技术精神的范围内对其所做的修改，本专利技术保护范围限定于所附权利 要求及其等价物中。权利要求1. 一种用于喷墨成像装置的打印头芯片，包括一加热器，形成于基底上以产生热量；一腔室层，形成于加热器上，并包括一墨腔室以容纳墨；一喷嘴层，形成于腔室层上，并包括一对应于所述墨腔室的喷嘴墨；和一传热层，传导一部分来自于加热器的热至喷嘴。2. 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于喷墨成像装置的打印头芯片，包括：　一加热器，形成于基底上以产生热量；　一腔室层，形成于加热器上，并包括一墨腔室以容纳墨；　一喷嘴层，形成于腔室层上，并包括一对应于所述墨腔室的喷嘴墨；和　一传热层，传导一部分来 自于加热器的热至喷嘴。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：闵在植，白梧铉，朴昌信，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]