本发明专利技术提供尺寸精度及耐药品性优越，能够长期进行高品质的印字的可靠性高的液滴喷头、及具备所述液滴喷头的可靠性高的液滴喷出装置。喷墨式记录头（１）具有：形成有喷出液贮存室（２１）的基板（２０）、设置于基板（２０）的下表面，且具备喷嘴孔（１１）的喷嘴板（１０）、和以覆盖喷出液贮存室（２１）的方式设置于基板（２０）的上表面的密封片（３０），基板（２０）和喷嘴板（１０）经由各接合膜（１５１、１５２）接合，该各接合膜（１５１、１５２）分别包含：含有硅氧烷键，且具有无规的原子结构的Ｓｉ骨架和在该Ｓｉ骨架结合的脱离基，通过赋予能量，在各接合膜（１５１、１５２）的表面附近存在的脱离基从Ｓｉ骨架脱离，利用显示的粘接性，接合基板（２０）和喷嘴板（１０）。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及液滴喷头及液滴喷出装置。
技术介绍
例如，在喷墨打印机之类的液滴喷出装置中具备用于喷出液滴的液滴 喷头。作为这样的液滴喷头，例如，知道的有具备与将墨液作为液滴喷 出的喷嘴连通，收容墨液的墨液室(腔室)、和使该墨液室的壁面变形的 驱动用压电元件的结构。在这样的液滴喷头的情况下，通过使驱动用压电元件伸縮，使墨液室 的一部分(振动板)变位。由此，使墨液室的容积变化，从喷嘴喷出墨液 液滴。还有，这样的液滴喷头通过利用感光粘接剂或弹性粘接剂粘接形成有 喷嘴的喷嘴板、和划分墨液室的基板之间而组装(例如，参照专利文献1)。然而，在向喷嘴板、和基板之间供给粘接剂时，极其难以控制粘接剂 的供给量。因此，不能使供给的粘接剂的量均一，导致喷嘴板和基板的距 离变得不均一。由此导致在液滴喷头内设置的多个墨液室的各自的容积变 得不均一，或导致在液滴喷头每一个中墨液室的容积不均一。另外，液滴 喷头和印刷纸张等印字介质之间的距离变得不均一。进而，粘接剂有可能 从接合部位渗出。由于这样的问题，导致液滴喷头的尺寸精度降低，喷墨 打印机的印字的品质降低。另外，粘接剂长期暴露于在墨液室贮存的墨液中。若粘接剂这样被暴 露于墨液中，则由于墨液中的有机成分，导致粘接剂变质、劣化。因此， 有时墨液室的液密性降低，或粘接剂中的成分向墨液中析出。另一方面，还知道利用固体接合法接合构成液滴喷头的各部的方法。固体接合是不夹着粘接剂等粘接剂层，直接接合部件之间的方法，例 如，知道有硅直接接合法、阳极接合法等。然而，固体接合存在如下问题。能够接合的部件的材质受限制。*在接合工序中伴随高温(例如，700 80(TC左右)下的热处理。在接合工序中的气氛受限于减压气氛。不能部分地接合局部区域。专利文献1日本特开平5 — 155017号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供尺寸精度及耐药品性优越，能够长期进行高品 质的印字的可靠性高的液滴喷头、及具备所述液滴喷头的可靠性高的液滴 喷出装置。这样的目的通过下述本专利技术来实现。本专利技术的一种液滴喷头，其特征在于，具有 基板，其形成有贮存喷出液的喷出液贮存室；喷嘴板，其以覆盖所述喷出液贮存室的方式设置在所述基板的一个面 上，且具备将所述喷出液作为液滴喷出的喷嘴孔；密封板，其以覆盖所述喷出液贮存室的方式设置于所述基板的另一个 面上，所述基板和所述喷嘴板经由在所述基板的表面上设置的第一接合膜 及在所述喷嘴板的表面上设置的第二接合膜接合，所述第一接合膜及所述第二接合膜分别包括含有硅氧垸(Si — O) 键且具有无规的原子结构的Si骨架和与该Si骨架结合的脱离基，分别通过向所述第一接合膜及所述第二接合膜的至少一部分区域赋 予能量，使在所述第一接合膜的表面附近及所述第二接合膜的表面附近存 在的所述脱离基从所述Si骨架脱离，利用在所述第一接合膜的表面及所述 第二接合膜的表面的所述区域显示的粘接性，接合所述基板和所述喷嘴 板。由此，得到尺寸精度及耐药品性优越，能够长期进行高品质的印字的 可靠性高的液滴喷头。优选在本专利技术的液滴喷头中，在所述第一接合膜及所述第二接合膜的至少一方中，从构成的所有原子中除去H原子后的原子中Si原子的含有 率和O原子的含有率的总计为10 90原子％。由此，接合膜由于Si原子和O原子形成牢固的网络，从而接合膜自 身更牢固。因此，接合膜相对于基板及喷嘴板，显示尤其高的接合强度。优选在本专利技术的液滴喷头中，在所述第一接合膜及所述第二接合膜的 至少一方中，Si原子和O原子的存在比为3: 7 7: 3。由此，接合膜的稳定变高，能够更牢固地接合基板和喷嘴板。优选在本专利技术的液滴喷头中，所述Si骨架的结晶化度为45。/。以下。 由此，Si骨架充分地含有无规的原子结构。因此，Si骨架的特性显著化，接合膜的尺寸精度及粘接性更优越。优选在本专利技术的液滴喷头中，所述第一接合膜及所述第二接合膜的至少一方含有Si—H键。Si—H键被认为阻碍硅氧烷键的生成规则地进行。因此，硅氧烷键形 成为避免Si—H键，Si骨架的规则性降低。这样，通过在接合膜中含有 Si—H键，能够效率良好地形成结晶化度低的Si骨架。优选在本专利技术的液滴喷头中，在含有所述Si—H键的接合膜的红外线 吸收光谱中，将归属于硅氧烷键的峰强度设为1时，归属于Si—H键的峰 强度为0.001 0.2。由此，接合膜中的原子结构相对最无规。因此，接合膜在接合强度、 耐药品性及尺寸精度上尤其优越。优选在本专利技术的液滴喷头中，所述脱离基包括选自由H原子、B原子、 C原子、N原子、O原子、P原子、S原子及卤素系原子、或这些各原子 被配置为与所述Si骨架结合的原子团构成的组的至少一种。这些脱离基在基于能量的赋予的结合/脱离的选择性上比较优越。因 此，这样的脱离基能够使接合膜的粘接性更高。优选在本专利技术的液滴喷头中，所述脱离基为烷基。烷基的化学稳定性高，因此，作为脱离基含有烷基的接合膜的耐气候 性及耐药品性优越。优选在本专利技术的液滴喷头中，在作为所述脱离基含有甲基的接合膜的 红外线吸收光谱中，将归属于硅氧烷键的峰强度设为1时，归属于甲基的峰强度为0.05 0.45。由此，甲基的含有率被最佳化，防止甲基以必要以上阻碍硅氧烷键的 生成，同时，在接合膜中产生必要且充分的数量的活性手，因此，在接合 膜产生充分的粘接性。另外，在接合膜显示甲基引起的充分的耐气候性及 耐药品性。优选在本专利技术的液滴喷头中，所述第一接合膜及所述第二接合膜的至 少一方是通过等离子体聚合法形成的。由此，接合膜形成为致密且均匀。还有，能够尤其牢固地接合基板和 喷嘴板。进而，通过等离子体聚合法制作的接合膜长期维持被赋予能量而 活性化的状态。因此，能够实现液滴喷头的制造过程的简单化、效率化。优选在本专利技术的液滴喷头中，所述第一接合膜及所述第二接合膜的至 少一方是以聚有机硅氧垸为主材料构成的。由此，接合膜自身具有优越的机械特性。另外，得到相对于大量的材 料显示尤其优越的粘接性的接合膜。从而，通过该接合膜，能够更牢固地 接合基板和喷嘴板。另外，形成为能够容易且可靠地进行非粘接性和粘接 性的控制的接合膜。进而，接合膜显示优越的疏液性，因此，得到耐久性 优越的可靠性高的头。优选在本专利技术的液滴喷头中，所述聚有机硅氧烷以八甲基三硅氧烷的 聚合物为主成分。由此，得到粘接性尤其优越的接合膜。优选在本专利技术的液滴喷头中，在所述等离子体聚合法中，产生等离子 体时的高频的输出密度为0.01 100W/cm2。由此，能够防止高频的输出密度过高而导致对原料气体赋予必要以上 的等离子体能量的情况，同时，能够可靠地形成具有无规的原子结构的Si 骨架。优选在本专利技术的液滴喷头中，所述第一接合膜及所述第二接合膜的至 少一方的平均厚度为1 1000nm。由此，能够防止基板和喷嘴板之间的尺寸精度显著降低的情况，同时， 能够更牢固地接合这些。优选在本专利技术的液滴喷头中，所述第一接合膜及所述第二接合膜的至少一方为不具有流动性的固体状膜。由此，得到尺寸精度与以往相比非常高的头。另外，不需要粘接剂的 固化所需的时间，因此能够在短时间内进行牢固的接合。优选在本专利技术的液滴喷头中，所述基板是以硅材料或不锈钢为主材料 构成的。这些材料的耐药品性优越，因此，即使长期暴露于喷出液中，也能够 可靠本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种液滴喷头，其特征在于，具有： 基板，其形成有贮存喷出液的喷出液贮存室； 喷嘴板，其以覆盖所述喷出液贮存室的方式设置在所述基板的一个面上，且具备将所述喷出液作为液滴喷出的喷嘴孔； 密封板，其以覆盖所述喷出液贮存室的方式设 置于所述基板的另一个面上， 所述基板和所述喷嘴板经由在所述基板的表面上设置的第一接合膜及在所述喷嘴板的表面上设置的第二接合膜接合， 所述第一接合膜及所述第二接合膜分别包括：含有硅氧烷（Ｓｉ－Ｏ）键且具有无规的原子结构的Ｓｉ骨架和 与该Ｓｉ骨架结合的脱离基， 分别通过向所述第一接合膜及所述第二接合膜的至少一部分区域赋予能量，使在所述第一接合膜的表面附近及所述第二接合膜的表面附近存在的所述脱离基从所述Ｓｉ骨架脱离，利用在所述第一接合膜的表面及所述第二接合膜的表面的 所述区域显示的粘接性，接合所述基板和所述喷嘴板。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松尾泰秀，大塚贤治，樋口和央，若松康介，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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