本实用新型提供一种光波导元件，能够抑制以配置在基板上的对象物的热收缩为起因的传送特性的劣化。本实用新型的光波导元件具有形成有光波导(20)的基板(10)和配置在该基板上的对象物(31、32)，其中，该光波导包括对在该光波导中传播的光波的...

在提高光发送装置壳体内的空间利用率的同时，抑制在将光调制器安装于光发送装置壳体内的情况下的光学特性及高频特性的初始变化及经年变化。该光调制器(100)与在电路基板(404)上构成的电路电连接，具备收容光调制元件(102)的壳体(104)...

在提高光传输装置壳体内的空间利用率的同时，抑制在将光调制器安装于光传输装置壳体内的情况下的光学特性及高频特性的初始变化及经年变化。光调制器(100)与在电路基板(404)上构成的电路电连接，具备收容光调制元件(102)的壳体(104)及...

本发明的氧化钛粉体是BET比表面积为5m

本发明的氧化钛粉体是BET比表面积为5m

本实用新型提供一种光调制器及使用了该光调制器的光发送装置。在具备中继基板的光调制器中，能够有效地降低在中继基板或者其周围产生的电信号的反射、放射、泄漏等的影响，实现良好的光调制特性。光调制器具备：光调制元件，具备多个信号电极；外壳，收容...

本发明提供一种静电卡盘装置，其具备：静电卡盘部，具有载置板状试样的载置面作为一主面，且具备静电吸附用电极；基底部，相对于静电卡盘部，配置于与载置面相反的一侧，且冷却静电卡盘部；加热器，层状地配置于静电卡盘部与基底部之间、或静电卡盘部的内...

本发明的氧化钛粉体是BET比表面积为5m

本实用新型提供一种光调制器，具备形成于基板(1)的光波导(2)，对在该光波导中传播的光波进行调制，其特征在于，该光波导具备将多个分支部(20～22)连接于多段的结构，关于所述多个分支部中的第一分支部(20)，从分支点分支的分支波导(20...

静电卡盘装置(1)具备：静电卡盘部(2)，具备具有载置板状试样W的载置面(11a)的基材(11)及将板状试样(W)静电吸附于载置面(11a)的静电吸附用内部电极(13)；冷却用基部(3)，冷却静电卡盘部(2)；及粘接剂层(4)，介于静电...

本发明的静电卡盘具备：静电卡盘部，一个主表面为载置板状试样的载置面且具备静电吸附用电极；温度调节用底座部，相对于静电卡盘部配置于与载置面相反的一侧且对静电卡盘部进行冷却；及加热元件，以层状配置于静电卡盘部与温度调节用底座部之间或静电卡盘...

本发明的目的在于，减少晶片的面内的蚀刻变得不均的情况。本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；冷却基部，相对于静电卡盘部载置于与试样载置面相反的一侧且冷却静电卡盘部；及粘接层，将静电卡盘部...

本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；冷却基部，相对于静电卡盘部载置于与试样载置面相反的一侧且冷却静电卡盘部；及粘接层，将静电卡盘部和所述冷却基部粘接在一起，静电卡盘部在粘接层侧具有凹凸...

本发明提供一种防止正极活性物质在回转窑的内壁面上的附着、一次粒子之间的烧结、微粉的形成等的锂离子二次电池用正极材料的制造方法、锂离子二次电池用正极材料、锂离子二次电池用正极、锂离子二次电池。本发明的锂离子二次电池用正极材料的制造方法为包...

本发明提供一种锂离子二次电池用正极材料、锂离子二次电池用电极及锂离子二次电池。所述锂离子二次电池用正极材料包含凝聚粒子，所述凝聚粒子是多个被碳质覆膜包覆的下述通式(1)所示的正极活性物质的一次粒子凝聚而成，所述锂离子二次电池用正极材料的...

本发明提供一种光调制器，具备形成于基板(1)的光波导(2)，对在该光波导中传播的光波进行调制，其特征在于，该光波导具备将多个分支部(20～22)连接于多段的结构，关于所述多个分支部中的第一分支部(20)，从分支点分支的分支波导(20a、...

本发明提供一种光波导元件，能够抑制以配置在基板上的对象物的热收缩为起因的传送特性的劣化。本发明的光波导元件具有形成有光波导(20)的基板(10)和配置在该基板上的对象物(31、32)，其中，该光波导包括对在该光波导中传播的光波的模式进行...

本发明的复合烧结体为含有作为主相的氧化铝和作为副相的碳化硅的陶瓷的复合烧结体，且在氧化铝的晶粒内具有莫来石。

在向电极施加高频信号而进行光调制的波导路型光调制元件中，提高电极的设计自由度而能实现进一步的宽带化。光调制元件(10)具备设置于基板(100)的光波导(104等)和控制在该光波导中传播的光波的电极(108等)，使高频信号向该电极传播而进...

本发明提供一种能够得到循环特性及输入输出特性优异，并且能够抑制单元膨胀的锂离子电池的电极材料及该电极材料的制造方法。所述电极材料具有电极活性物质和包覆该电极活性物质的表面的热解碳质电子导电性膜，所述电极材料的特征在于，所述电极材料的、使...