提供一种能够降低成本、提高性能的流体控制器。通过手动或自动而移动以使盘部(9)移动的移动构件(12、13)为筒状，具有与盘部(9)的外周嵌合的嵌合部(13a)。在盘部(9)上设有凸缘部(9c)，在筒状的移动构件(12、130的下端部设有...

本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设...

本发明提供一种通过着眼于隔膜压具的按压面的曲率半径与隔膜的曲率半径的比，来实现隔膜的耐久性的提高的隔膜阀。将隔膜(5)的曲率半径记为SRa，将隔膜压具(6)的按压面的曲率半径记为SRb，则SRb/SRa＝0.4～0.6。

本发明提供一种阀，即使因错误而供给操作流体也不会成为开启状态，可抑制气体因意外供给至半导体制造装置等。阀(1)具备：主体(4)，形成有流体流入路(4b)及流体流出路(4c)；隔膜(7)，用于流体流入路(4b)及流体流出路(4c)的开闭；...

本发明公开了一种能收集因阀杆和密封机构的相互滑动产生的磨损粉末、并防止磨损粉末混入流体内的Y型阀，其具备：主体，大致Y形，设置有连接配管的管状部和相对于该管状部倾斜延伸的支管部；空心阀帽，大致圆柱形，其一端连接在该主体的支管部上；驱动部...

提供一种压力控制装置，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积大的情况，或者是流量控制阀与腔室之间的配管长的情况下，也可以把腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置1，把腔室3内的压力保持在设定压力，具备：频率特性校正电路20，把表示经由压...

提供一种能够通过简单的方法以不破坏的方式准确且迅速地测定规定的化学成分的直至极微量区域的浓度的浓度测定方法以及能够准确、迅速且实时地测定被测定对象中的化学成分的直至纳米级的极微量浓度范围的浓度、并具备在各种形态和方式中能够被具体化的万能...

本发明涉及的液位计(30)具备第一测温电阻元件(R11)；配置在第一测温电阻元件的附近的第一温度测定元件(R12)；根据第一测温电阻元件及第一温度测定元件的温度检测液面的位置的液面检测部(39)，检测第一测温电阻元件及第一温度测定元件的...

本发明提供一种在可以从液相切换到气相的检测时间上减少流量依存性的同时，缩短检测时间的液面计以及液体原料气化供给装置。该液面计具备：贮存液体原料的腔体(2)；收容用于检测腔体(2)内的液面(L1)的测温电阻的至少一根保护管(3)；以及控制...

本发明提供一种在不使用复杂的机构就能够增大压电元件的位移量的同时，不给配线等带来障碍的压电元件驱动式阀以及具备压电元件驱动式阀的流量控制装置。本发明是一种压电元件驱动式阀(1)，其具备：主体(7)，该主体设置有流体通路(7a)以及阀座(...

本发明提供一种在确保耐久性的基础上，能够进行高精度的流量调整的流体控制器。本发明的流体控制器具备用于设定伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量的上限值的阀杆上下移动量上限值设定单元(10)，还具备使伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量在上限值...

本发明的目的在于提供一种可扩大监测流量范围并提高监测精度和流量控制精度的流量计及流量控制装置。本发明的流量计及流量控制装置具备大流量用测量部和小流量用测量部，所述大流量用测量部将从入口侧开闭切换阀(PV1)的出口侧到控制阀(CV)的入口...

本发明提供一种压力式流量控制装置，在使用压力式流量控制装置的流体流量控制中，能够实现大幅度缩短流量切换时的下降响应时间，提高下降响应特性。本发明构成包括以下部件的压力式流量控制装置：设置有将流体入口和流体出口之间连通的流体通路和将流体通...

本发明提供了一种压力式流量控制装置，其能够在流体流量控制中，实现缩短切换流量时的降落响应时间，提高降落响应特性。压力式流量控制装置具有：主体(4)，其设置有连通流体入口(1)和流体出口(2)之间的流体通路(3)；压力控制用控制阀(5)，...

本发明提供一种流体控制器，其能够防止因螺纹部松动引起的精度降低以及因扭转应力引起的耐久性降低。阀杆上下移动量调整单元(11)具备：在内周设置有内螺纹(41b)并以可旋转的方式支承于壳体(4)的手柄(41)、在外周设置有外螺纹(46b)并...

在阀体(2)凹处(2c)底面(14)的平坦部(14b)上以包含流体流出通路(2b)的在凹处(2c)的底面(14)开口的部分的方式设置有沉头孔(15)。

隔膜按压件(6)的与隔膜(5)抵接的面的曲率半径(SR2)设为30mm以上。相对于阀体(2)的凹处(2c)底面(14)的平坦部(14b)，按压接合件(8)的下表面的锥角(θ)设为10°以下。

本发明提供一种防止因过紧而对隔膜施加过度负荷的隔膜阀及这种隔膜阀的装配方法。在设置于阀杆(3)的外螺纹部(11)的上端部螺合内螺纹部件(18)。内螺纹部件(18)在阀杆(3)到达适当的关闭位置时，与阀盖(5)的上端抵接来防止阀杆(3)进...

本发明提供一种流体控制器，其抑制了因用于设定单元的部件追加、追加的加工而引起的成本的增加，消除了阀杆上方移动量的设定值变化的问题。形成为隔膜按压件(7)的外周缘部的上表面与按压接合件(15)的内周缘部的下表面隔着第1隙间(A)而对置。通...

流体控制器用加热装置(10)具备：筒状的加热单元(11)，其将开闭阀(3)的需要加热的部分包围；以及隔热套(16)，其将加热单元(11)包围。加热单元(11)具有分别固定有板状的加热器(14、15)的一对导热部件(12、13)。各导热部...