流体控制器制造技术

本发明专利技术提供一种在确保耐久性的基础上，能够进行高精度的流量调整的流体控制器。本发明专利技术的流体控制器具备用于设定伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量的上限值的阀杆上下移动量上限值设定单元(10)，还具备使伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量在上限值以下的范围内变化的阀杆上下移动量微调整单元(11)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制器
本专利技术涉及一种流体控制器，尤其涉及一种适于在连续性地重复开闭的用途中使用的流体控制器。
技术介绍
作为一种在连续性地重复开闭的用途中使用的流体控制器，已知一种被称为直接接触式隔膜阀(专利文献1)。这样的流体控制器采取气动式，常用于半导体制造装置，要求能够应对高温且具有高耐久性。另外，其一般会在多条管线中使用，这种情况下，还要求消除每条气体管线的流量(Cv值)之间的差。在专利文献1的流体控制器中，为了确保其耐久性(连续开闭动作次数)，还提出了将伴随着开闭的阀杆上下移动量(隔膜的变形量)设定为所需值。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利公开2007-64333号公报
技术实现思路
(一)要解决的技术问题根据各气体管线中的阀的位置和阀的个体差异，其各自的流量(Cv值)都稍微有所不同。尤其在半导体制造装置的情况下，靠近腔室使用的阀根据其Cv值，会直接影响所制造的半导体。然而，若配合气体管线等相应地逐个调整阀的Cv值，则可能会出现调整至比能够确保阀的耐久性的阀杆上下移动量更大的移动量的个体。由此，隔膜(和阀)的耐久性可能会降低。即，在确保耐久性的基础上，存在能够进行流量调整的情况。对于Cv值的调整量，在用一个调整结构进行调整的情况下，无法进行如下确认：调整时的阀杆的上下移动量变更了何种程度、调整的结果是否比能够确保耐久性的阀杆的上下移动量更大。本专利技术的目的在于，提供一种在确保耐久性的基础上，能够进行高精度的流量调整的流体控制器。(二)技术方案本专利技术的流体控制器的特征在于，具备：设置有流体通路的主体、设置于主体上方的阀盖、设置于阀盖上方的壳体、开闭流体通路的阀体、通过上升或下降使阀体向打开或关闭方向移动的阀杆、以及使阀杆上下移动的致动器，在所述流体控制器中，具备：用于设定伴随着开闭的阀杆的上下移动量的上限值的阀杆上下移动量上限值设定单元、以及能够对伴随着开闭的阀杆的上下移动量在上限值以下的范围内进行调整的阀杆上下移动量微调整单元。由于能够通过阀杆上下移动量上限值设定单元来设定阀杆上下移动量的上限值，因此阀杆上下移动量通过微调整，能够使得无法将移动量设定为能确保耐久性的上限以上。这里，通过调整阀杆上下移动量来决定Cv值。这里，关于Cv值，需要进行微调整，该微调整是通过由阀杆上下移动量微调整单元使其在预先设定的阀杆上下移动量的上限值以下的范围内变化来进行的。通过该微调整，能够将Cv值高精度地设定为目标值。Cv值随着使用而变化，在需要调整Cv值时，也通过阀杆上下移动量微调整单元来对阀杆上下移动量进行微调整。因此，在调整Cv值时，阀杆上下移动量不会设定得超过用于确保耐久性的阀杆上下移动量上限值。由此，能够在确保耐久性的基础上，进行高精度的流量调整。通过阀杆上下移动量上限值设定单元所设定的阀杆上下移动量的上限值，在流体控制器出厂时被设定，在使用状态下，维持在出厂时的设定值。通过阀杆上下移动量微调整单元所调整的阀杆上下移动量在流体控制器出厂时被临时设定，在使用状态下，由使用者来将其设定为合理值。流体控制器采用例如金属隔膜阀，但并不限定于此。另外，流体控制器可以是正常时处于关闭状态，也可以是正常时处于打开状态。优选地，阀杆上下移动量微调整单元具有移动体，通过使手柄旋转而使所述移动体上下移动，阀杆上下移动量的上限值通过变更阀杆与壳体的距离而获得，阀杆上下移动量的微调整通过和阀杆成为一体的致动器驱动轴与移动体的距离的变化而获得。通过这样设置，能够容易地进行基于阀杆上下移动量微调整单元的调整。优选地，与阀杆成为一体的致动器驱动轴的上端部插入设置于移动体的轴插入孔，在位于轴插入孔下方的致动器驱动轴部分设置有凸缘部，致动器驱动轴的凸缘部的上面与移动体的下面的距离设为阀杆上下移动量，阀杆上下移动量上限值设定单元具备：形成有外螺纹的壳体的下方突出部、设置于阀盖顶壁的内螺纹、以及锁定螺母。若这样设置，则能够以简单的结构来获得阀杆上下移动量上限值设定单元及阀杆上下移动量微调整单元这两者。优选地，阀杆上下移动量微调整单元具备：在内周设置有内螺纹并以能够旋转的方式支承于壳体的手柄、在外周设置有外螺纹并与手柄的内周螺合的移动体，以及防止移动体相对于壳体旋转且能够向上下方向移动的导向单元。另外，更优选地，具备移动体固定单元，该移动体固定单元阻止移动体在阀杆上下移动量设定之后移动。导向单元例如由设置于移动体上沿上下方向延伸的导向槽、和从径向外方面对导向槽的导向销组成，但并不限定于此。另外，移动体固定单元可通过例如使用一个或多个止动螺钉，并将止动螺钉螺合于设置在移动体上的螺纹孔中，使止动螺钉的下端与壳体的上面抵接来获得，但并不限定于此。阀杆上下移动量微调整单元也可以通过使手柄旋转而使移动体一边与手柄一体旋转一边上下移动，但通过将手柄的旋转转换为移动体的上下移动，能够消除螺纹部松动的可能性、在波纹管等发生扭转应力的可能性，防止因螺纹部松动引起的精度降低以及因扭转应力引起的耐久性降低。有时也为，手柄由成为手持部分的外筒体、嵌入外筒体内的内筒体、以及嵌入内筒体内的轴体组成，在壳体的内周形成有内螺纹，在内筒体形成与壳体的内螺纹螺合的外螺纹，在轴体的外周形成有螺距比壳体的内螺纹的螺距小的外螺纹，在移动体的内周形成有与轴体的外螺纹螺合的内螺纹。若这样设置，则能够进一步高精度地进行微调整。(三)有益效果根据本专利技术的流体控制器，通过用阀杆上下移动量上限值设定单元将阀杆上下移动量设置为上限值，可确保耐久性，Cv值的微调整是通过由阀杆上下移动量微调整单元使阀杆上下移动量在上限值以下的范围内变化来进行的，因此，在确保耐久性的基础上，能够进行高精度的流量调整。附图说明图1是表示本专利技术的流体控制器的第一实施方式的纵截面图。图2是图1中的主要部分即阀杆上下移动量微调整单元的放大纵截面图。图3是表示通过阀杆上下移动量微调整单元使阀杆上下移动量从图2的状态发生变化后的状态的放大纵截面图。图4是本专利技术的流体控制器的第二实施方式的主要部分即阀杆上下移动量微调整单元的放大纵截面图。附图标记说明(1)：流体控制器；(2)：主体；(2a)：流体流入通路；(2b)：流体流出通路；(2c)：凹处；(3)：阀盖；(4)：壳体；(6)：隔膜(阀体)；(8)：阀杆；(9)：致动器；(10)：上下移动量上限值设定单元；(11)：阀杆上下移动量微调整单元；(31)：驱动轴(致动器驱动轴)；(31d)：上端部；(41)：手柄；(41b)：内螺纹；(42)：移动体；(43)：导向单元；(46b)：外螺纹；(61)：阀杆上下移动量微调整单元；(62)：壳体；(62a)：内螺纹；(64)：手柄；(65)：移动体；(66)：导向单元；(71)：外筒体；(72)：内筒体；(72a)：内螺纹；(73)：轴体；(73a)：外螺纹；(77a)：内螺纹。具体实施方式参照以下附图对本专利技术的实施方式进行说明。在以下的说明中，上下是指图的上下。图1至图3示出了本专利技术的流体控制器的第一实施方式。流体控制器(1)是所谓的直接接触式金属隔膜阀，如图1所示，其具备：具有流体流入通路(2a)、流体流出通路(2b)及向上方开口的凹处(2c)的块状主体(2)；下端部与主体(2)的凹处(2c)上部螺合并向上方延伸的圆筒状阀盖(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体控制器，其特征在于，具备：设置有流体通路的主体、设置于主体上方的阀盖、设置于阀盖上方的壳体、开闭流体通路的阀体、通过上升或下降使阀体向打开或关闭方向移动的阀杆、以及使阀杆上下移动的致动器，在所述流体控制器中，具备：用于设定伴随着开闭的阀杆的上下移动量的上限值的阀杆上下移动量上限值设定单元、以及能够对伴随着开闭的阀杆的上下移动量在上限值以下的范围内进行调整的阀杆上下移动量微调整单元。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.25 JP 2014-2625341.一种流体控制器，其特征在于，具备：设置有流体通路的主体、设置于主体上方的阀盖、设置于阀盖上方的壳体、开闭流体通路的阀体、通过上升或下降使阀体向打开或关闭方向移动的阀杆、以及使阀杆上下移动的致动器，在所述流体控制器中，具备：用于设定伴随着开闭的阀杆的上下移动量的上限值的阀杆上下移动量上限值设定单元、以及能够对伴随着开闭的阀杆的上下移动量在上限值以下的范围内进行调整的阀杆上下移动量微调整单元。2.根据权利要求1所述的流体控制器，其特征在于，阀杆上下移动量微调整单元具有移动体，通过使手柄旋转而使所述移动体上下移动，阀杆上下移动量的上限值通过变更阀杆与壳体的距离而获得，阀杆上下移动量的微调整通过和阀杆成为一体的致动器驱动轴与移动体的距离的变化而获得。3.根据权利要求2所述的流体控制器，其特征在于，与阀杆成为...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷川毅，山路道雄，药师神忠幸，石桥圭介，柳田保昌，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本,JP