接触器（６０）具备：与ＩＣ器件的输入输出端子电连接的导电部（６３）、在主要面上设有导电部（６３）的梁部（６２）和以悬臂支承方式支承梁部（６２）的台座部（６１）；台座部（６１）具有支承梁部（６２）的支承区域（６１１）和设有定位用的第１标记...

探针（４０）具备：与被测试半导体晶片上制作的ＩＣ器件的输入输出端子电连接的接点部（４５）；顶端设置有接点部（４５）的布线部（４４）；在上面沿长度方向设置有布线部（４４）的多个梁部（４２）；以及以悬梁支承方式统一支承多个梁部（４２）的台座...

第二锁存器（２４）利用具有与第一时钟（ＣＫ１）相同的频率的第三时钟（ＣＫ３）锁存第一锁存器（２２）的输出数据（Ｄｍ１）。第三锁存器（２６）利用具有第一时钟（ＣＫ１）以及第三时钟（ＣＫ３）的Ｎ倍（Ｎ为自然数）的频率的第二时钟（ＣＫ２）锁存...

本发明公开了一种测试头移动装置（１０），包括使测试头（１００）升降的升降臂（１５）、使测试头（１００）在水平方向上移动的框架（１１）和根据测试头（１００）的高度禁止框架（１１）的水平移动的连锁机构（２０），连锁机构（２０）具有检测出测试...

测试装置将相邻的２个通道（ＣＨ１、ＣＨ２）作为１对来构成。定时比较器（ＴＣＰ１、ＴＣＰ２）以与选通信号（ＳＴＲＢ１、ＳＴＲＢ２）相应的定时判断从ＤＵＴ输入的第１输出数据（ＤＣ１）、（ＤＣ２）的电平。时钟包络抽取部（ＣＥｉｎ１、ＣＥｉｎ２...

本发明提供一种图案尺寸测定装置和图案面积测定方法，能够以良好的再现性和良好的精度测定图案的面积。图案面积测定方法包含如下步骤：取得图案的图像数据的步骤；分割成部分图案的步骤；计算各部分图案的面积的步骤；以及合计各部分图案的面积，计算图案...

一种误差因子确定设备20包括：误差因子记录单元，记录信号发生系统 100中的误差因子Eija，该信号发生系统100包括用于生成信号的信号发生单 元12的信号发生单元12和用于输出信号的输出端子19a；反射系数推导单元 24，基于当信号正...

本发明的反射元件判断装置（５０），根据将反射元件（４１、４２）分别与第一信号源（１０）以及第二信号源（２０）连接起来的状态下的信号的测定结果、以及经由传送元件（４４）将第一信号源（１０）与第二信号源（２０）连接起来的状态下的信号的测定结...

本发明涉及一种控制设备温度的装置，具体而言，涉及一种高级热控接口。所述装置包括主体（５００），其具有以所述主体（５００）的轴为基准基本上对称地隔开的多个腔（６３０），其中多个腔（６３０）的每一个腔均包括上膜片（６３５）和下膜片（６４０）...

本发明涉及一种通过在与设备（４０６）热接触的散热器（４１５）中循环流体来控制设备（４０６）温度的装置。所述装置包括用于输入具有第一温度的冷流体部分的可调节冷输入端（４１０），以及用于输入具有高于第一温度的第二温度的热流体部分的可调节热输...

本发明提供可以在测试用载体上准确地形成布线图案的电子元件封装装置。电子元件封装装置１包括对测试用载体６０的基部部件７０的柔性基板７４摄像生成第１图像信息的第１摄像机１２３、从第１图像信息检测出柔性基板７４的对准标记７９的位置、根据该对准...

调节用于调节被测试电子元件温度的冷媒及热媒流量的阀门装置（４０），包括可以流通冷媒及热媒的流路（５２ａ～５２ｃ）和集合这些流路（５２ａ～５２ｃ）的集部（６５），集合部（６５）的内部具有形成有第１槽（７２）的阀门轴（７０），阀门轴（７０）...

通过加固件（５４）将探针卡固定到保持器（７０）上的固定装置（６０Ａ）具备：固定于保持器（７０）且在垂直方向上将探针卡约束在保持器（７０）上的螺纹构件（６１）、安装在螺纹构件（６１）的头部（６１ａ）和探针卡之间且在水平方向上容许探针卡相对...

接触器（５０）具备构成后端侧设置在基部（５１）且顶端侧从基部（５１）突出的梁部（５３）的一部分的硅层（５６ｂ）、在硅层（５６ｂ）上形成并作为绝缘层的ＳｉＯ↓［２］层（５６ａ）、以及在ＳｉＯ↓［２］层（５６ａ）上形成的导电层（５４）。

接触器的安装方法包括：辨认安装基底上的基准点的步骤（Ｓ１０）；辨认安装基底上的第１标记的位置并算出第１标记对于基准点的实际相对位置ｍ↓［１］的步骤（Ｓ１２）；算出对于基准点的第１标记的设计上的理论相对位置ｍ↓［０］的步骤（Ｓ１３）；算出...

探针卡（５０Ａ）具备：与半导体晶片（Ｗ）上制作的ＩＣ器件的输入输出端子电接触的探针（６０）；装有探针（６０）的安装基底（５１）；支承安装基底（５１）的支柱（５３）；具有经由接合线（５２）与探针（６０）电连接的布线图案的布线基板（５５）；...

可变延时电路４２向选通信号Ｓ５提供可调节的延时。输入锁存电路１４根据通过可变延时电路４２延时的选通信号Ｓ６，锁存包含于内部串行数据Ｓ２中的各比特数据。延时设定部４０调节通过可变延时电路４２向选通信号Ｓ５所提供的延时量τ１。当将已知的校准...

变化点检测电路（１６）从作为输入数据的串行数据（Ｓ１）中抽取时钟信号（Ｓ３）。可变延迟电路（４０）向具有规定频率的基准信号（Ｓ４）提供与延迟控制信号（Ｓ８ａ）相应的延迟，使基准信号（Ｓ４）的相位以初始延迟为基准移相。输入锁存电路（１４）...

本发明提供一种能够分别管理对电子部件的裸片和基板的按压载荷、能够根据需要细致地管理此时对电子部件的裸片的按压载荷、并且能够提高按压部件相对于电子部件的裸片的紧贴度的电子部件按压装置等。本发明是一种用于将被试验电子部件的端子压在测试头的接...

本发明提供一种具有测长功能的扫描型电子显微镜以及试样尺寸测定方法，能够减少由测定对象的图案形状引起的测长值的变动并提高测长精度。具有测长功能的扫描型电子显微镜具有：电子枪，其发射电子束；测定对象区域设定部，其设定形成在试样上的图案的测定...