本发明提供一种具有晶圆级自密封真空腔结构的压力传感器及其制备方法，方法包括：提供衬底；在衬底沿其厚度方向的第一表面形成预定深度的腔体；在衬底的第一表面以及腔体中形成牺牲层，并对牺牲层进行平坦化处理；在平坦化处理后的牺牲层上形成支撑层，图...

本实用新型提供一种高集成弹体分层温度传感器以及测量系统。其中，分层温度传感器包括保护套、至少两个感温测量单元；其中，保护套的一端沿其轴向开设有至少两个具有不同深度的安装孔，每个安装孔用于容置至少一个感温测量单元，以实现梯度测量被测物体的...

本实用新型提供一种具有多阶应力集中区的压力传感器。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层以及导线层；其中，衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔，第一表面上设置有压力敏感单元；绝缘钝化层设置在压力敏感单元背离衬底的一侧，绝缘钝化层上...

本实用新型提供一种具有多平行环形惠斯通电桥的压力传感器。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层以及导线层，压力敏感单元包括应力敏感膜、多个压敏电阻以及多根引线，衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔；应力敏感膜设置在衬底的第一表面上...

本发明提供一种基于机械超材料结构的加速度传感器，该加速度传感器包括：基板、以及设置在基板上的加速度感应单元、至少一个应变感应单元、锚点组以及引线组，每个应变感应单元均包括机械超材料结构和电阻应变片，其中，各机械超材料结构一端均通过引线组...

本发明提供一种基于机械超材料结构的压力传感器，包括：基板、以及设置在基板上的压力感应单元、至少一个热驱动单元、应变感应单元、锚点组以及引线组，应变感应单元包括机械超材料结构和应变敏感薄膜，其中，压力感应单元通过引线组、锚点组与至少一个热...

本公开提供一种电容式微机械气压传感器及其制备方法。电容式微机械气压传感器包括：衬底，设置有气腔和气体传输通道，所述气体传输通道将所述气腔与外界连通；分布式电容阵列，设置在所述衬底内，所述分布式电容阵列之间设置有所述气体传输通道；导电介质...

本发明提供一种带有自动测量功能的频率/电压变换器的检测系统与方法，该系统包括上位机与采集卡，上位机包括测试单元和分析单元，其中，测试单元，用于根据待测频率/电压变换器的待测量程和预设测试密度生成相应的多个测试频率信号。采集卡，用于采集多...

本公开提供一种电阻式微机械气压传感器及其制备方法。包括：衬底，设置有气腔和气体传输通道，气体传输通道将气腔与外界连通；导电介质，可移动地设置在气体传输通道中；第一敏感电阻和第二敏感电阻，相对间隔地设置在所述衬底内，第一敏感电阻和第二敏感...

本发明提出一种真空隔热腔高温压力传感器，包括：引压嘴，该引压嘴的第一端与外界相连通；感压芯体，该感压芯体固定连接在所述引压嘴与所述第一端相对的第二端；第一内壳，该第一内壳固定连接所述引压嘴的第二端，形成容纳所述感压芯体的第一真空腔；第二...

本发明提出一种LC复合式MEMS触觉压力传感器及其制备方法，该触觉压力传感器包括：堆叠的第一衬底和第二衬底；触觉敏感梁，设置在所述第一衬底的上表面；第一凹槽，设置在所述第一衬底的下表面，与所述触觉敏感梁相对；LC敏感体，设置在所述触觉敏...

本发明提出一种MEMS电容式压力传感器及制备方法，该MEMS电容式压力传感器包括：堆叠的第一衬底和第二衬底；压力敏感膜，设置在第一衬底的上表面；第一凹槽，设置在第一衬底的下表面，与该压力敏感膜相对；电介质块，设置在该压力敏感膜的下表面，...

本发明提供一种基于高静压结构的温度‑压力差压传感器，属于机械技术领域。温度‑压力差压传感器包括：底座、两个感压组件以及至少一个感温元件。其中，底座沿其长度方向的两侧分别设置有进压口，两个感压组件对称设置在底座的两侧，每个感压组件对应一个...

本发明提供一种具有四周介质隔离杯结构的压力传感器及其制备方法，制备方法包括：提供衬底，在衬底上形成包井缓冲层，在包井缓冲层中形成压敏电阻层，对压敏电阻层进行刻蚀，得到压敏电阻以及环绕压敏电阻设置的介质隔离环，在压敏电阻的四周形成介质隔离...

本实用新型提供一种医疗设备用压力变送器，包括壳体、压力敏感元件、调理电路板、进压头以及密封连接件；其中，进压头与壳体相连，进压头背离壳体的一端设置有密封连接件，以与待测介质管路密封连接；压力敏感元件内嵌在进压头朝向壳体的一端，以检测患者...

本公开提供一种船用耐高静压的压差测量装置、船舶和测量方法，装置包括：壳体、压差传感器和信号输出件；壳体沿其长度方向的第一端用于与船体外壳连，壳体沿其长度方向的第二端延伸入船体外壳内；壳体设置有第一进压孔、第二进压孔以及分别连通第一进压孔...

本公开提供一种具有多阶应力集中区的压力传感器及其制备方法。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层以及导线层；衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔，应力敏感膜设置在第一表面上，多个压敏电阻设置在应力敏感膜背离衬底的一侧，多个压敏电阻...

本公开提供一种具有多平行环形惠斯通电桥的压力传感器及其制备方法。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层、导线层以及刻蚀停止层，压力敏感单元包括应力敏感膜、多个压敏电阻以及多根引线，衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔，第一表面上设...

本实用新型提供一种本安隔爆振动传感器，属于传感器技术领域。该本安隔爆振动传感器包括传感器主体、本安隔爆变换器以及连接件，传感器主体通过连接件与本安隔爆变换器连接；其中，传感器主体包括壳体、设置在壳体内的线路板以及设置在线路板上的高频振动...

本发明提供一种高集成弹体分层温度传感器以及测量系统。其中，分层温度传感器包括保护套、至少两个感温测量单元；其中，保护套的一端沿其轴向开设有至少两个具有不同深度的安装孔，每个安装孔用于容置至少一个感温测量单元，以实现梯度测量被测物体的温度...