本发明创造公布了一种智能化热分布原理防盗监测方法及其微型报警装置，其原理为：对所保护的对象，采用微型装置探头在线实时监测其位置和状态，准确无误地判定出是否被移动或翻动。该装置由三个组成部分：（１）微结构热分布原理防盗监测传感器，高精度高...

多功能输入控制装置，其特征是：在移动电子设备的壳体内设置ＭＥＭＳ加速度传感器Ｕ１、微控制器Ｕ２及Ｉ２Ｃ、ＳＰＩ总线接口Ｊ１，其中ＭＥＭＳ加速度传感器Ｕ１的输出与微控制器Ｕ２的模拟、数字输入接口连接，微控制器Ｕ２的输出与Ｉ２Ｃ、ＳＰＩ总线...

本发明提出了一种运用于手机、游戏设备等便携式设备的姿态及运动感应系统。该系统包括二轴或三轴加速度计和诸如磁罗盘的三轴磁传感器，可以集成到便携式电子设备中。从加速度计和磁传感器得到的姿态数据经过数据处理单元计算出姿态角和转动角后，再转换为...

本发明公开了一种圆片级三轴热对流加速度传感器，包括底部圆片，所述底部圆片上设置有开放的刻蚀腔，刻蚀腔内设置有加热器和温度传感器，在底部圆片集成信号处理电路和控制电路，其特征在于：还包括一个盖子圆片，盖子圆片具有一个开放的刻蚀腔，内部设置...

本发明一种基于微流量检测的微泄漏自动保护装置及其方法。该装置设置于输送管路上，包括安装在主管道上的检测控制阀，与检测控制阀相连的控制电路，其特征在于所述的主管道上连接有与其相贯通的管径远小于主管道的检测通道，检测通道的两端分别位于检测控...

本发明属于传感器技术领域，涉及一种热对流单芯片三轴加速度传感器。其基本原理为通过热敏器件感应密封空腔体内的气体热对流，再通过计算输出加速度信号。包括加热丝温度传感器平面上方的封装腔和下方的刻蚀腔，对称置于中心四周的四组传感器。在汽车、游...

本实用新型公开了一种基于涡街、均速管、旁路管的气体流量组合测量装置，在带温度传感器与压力传感器的涡街式气体流量计上并接旁路管，旁路管上设有ＭＥＭＳ流量传感器，旁路管的进口与涡街式气体流量计涡旋发生体上设置的均速管相连，均速管上设有总压取...

本发明公开了一种复合式气体流量测量方法及其装置，在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管，旁路管上设有ＭＥＭＳ流量传感器，温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及ＭＥＭＳ流量传感器均连接数据处理系统，数据处...

本发明公开了气体流量计实流循环检定装置及其检定方法，实流循环检定装置的管道回路上设有大容量的均压容器密封罐，风机设置在密封罐内，风机的进风管穿出密封罐连接管道回路的上游侧，风机的出风口设置在密封罐内，密封罐的出口连接管道回路的下游侧，密...

本发明公开了一种测量运动物体倾斜角的系统及其测量方法。该系统包括至少一个多轴加速度感应装置和至少一个用于处理多轴加速度感应装置产生的加速度数据和／或计算求解倾斜角α的控制器，所述多轴加速度感应装置固定于物体上，多轴加速度感应装置的每一个...

本实用新型公开了一种带动力泵的均压容器，均压容器串接在气体管道中，为具有足够容量的密封罐结构，动力泵设置在密封罐内，动力泵的进气管穿出密封罐连接管道的上游侧，出气口设置在密封罐内，密封罐的出口连接管道的下游侧。它有效地解决了目前现有的控...

本发明涉及一种测量方法及其设备，尤其是涉及一种管道气流的外引式线状采样的测量方法及其装置。本发明主要是解决现有技术所存在的管道内的杂质易影响和损坏测量气流量的传感元件，更换测量装置会带来使用和维护成本高昂等的技术问题；提供了一种设计合理...

具有低深宽比通孔的圆片级气密性封装工艺，涉及到一种微机电系统的封装技术。按照本发明所提供的工艺流程设计方案，本发明包括以下步骤：１．淀积；２．密封用空腔和“Ｖ”形开口形成；３．光刻通孔；４．形成绝缘层；５．电镀；６．形成阻焊膜；７．焊接...

本发明涉及微机械电子及传感器等领域的封装技术，具体涉及一种传感器元件接触表面的封装及其封装方法。按照本发明提供的技术方案，在基板的上面有至少一个具有感应功能的感应芯片；在感应芯片与基板间利用引线相互键合；在感应芯片上有一个敏感区域，在该...