本实用新型公开了一种籽晶粘接装置，包括具有第一腔体的第一主体、设于第一主体中的托盘、可升降地穿设于第一主体中的压紧机构、用于驱动压紧机构做升降运动的驱动机构，压紧机构位于托盘的正上方；压紧机构包括具有第二腔体的上连接座、连接在上连接座上...

本实用新型公开了一种用于生长碳化硅单晶的热场，包括保温筒、设于保温筒中的坩埚、设于保温筒中的且沿上下方向间隔排列的上加热器和下加热器、设于保温筒中的且用于隔开上加热器和下加热器的隔热板；下加热器包括环设于坩埚外侧的下周侧部、盖设于坩埚底...

本实用新型公开了一种用于籽晶粘接的施压装置，包括可沿施压方向弹性伸缩的伸缩组件、与伸缩组件球面铰接的压抵组件；伸缩组件包括承压件、可沿自身长度延伸方向滑动地设于承压件上的滑动件、抵设于承压件和滑动件之间的弹性件，滑动件平行于施压方向，弹...

本发明公开了一种单晶生长装置，包括具有中空腔体的第一主体、设于第一主体中的坩埚、托板和保温盖板、环设于坩埚外侧的第一保温筒、环设于第一保温筒外侧的感应加热器；保温盖板沿周向环抵于第一主体的内侧周部，保温盖板用于沿上下方向隔断中空腔体；第...

本实用新型公开了一种电阻法单晶生长炉，包括炉体、可升降地穿设于炉体中的坩埚轴、连接在坩埚轴上的坩埚、设于炉体中的且环设于坩埚外侧周部的第一加热电阻、设于炉体中的且位于坩埚上方的第二加热电阻；第二加热电阻的加热温度沿坩埚的径向方向渐变设置...

本实用新型公开了一种密封盖，包括盖体、凹设于盖体内端面的且为环形的第一槽、环设于第一槽中的密封圈、凹设于盖体内端面的且与第一槽连通的第二槽，第二槽位于第一槽的内侧；第一槽包括第一外侧槽壁、第一内侧槽壁和第一槽底，第一内侧槽壁包括第一内壁...

本实用新型公开了一种用于碳化硅籽晶粘接的加热装置，包括从下往上依次连接的底座、发热组件和导热组件；发热组件包括设于底座上的发热座、设于发热座中的凹槽、设于凹槽中的发热件、设于凹槽和发热件之间的绝缘件，凹槽向上开口，单位面积中发热件的发热...

本实用新型公开了一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶装置，包括机架、转动的设于机架上的且内部设有第一腔体的转轴、连接在转轴顶端的且内部设有与第一腔体连通的第二腔体的吸盘、设于吸盘上方的石墨籽晶座、设于机架上的且用于驱动转轴转动的第一驱动机构、与...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶炉顶部测温结构，包括设于炉盖上方的红外高温计、连通在炉盖上方的且内部开设有测温腔的第一主体、设于第一主体顶部的玻璃板、开设于第一主体侧部的进气口；红外高温计位于玻璃板正上方，进气口位于玻璃板和炉盖之间；进气...

本发明公开了一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶装置，包括机架、转动的设于机架上的且内部设有第一腔体的转轴、连接在转轴顶端的且内部设有与第一腔体连通的第二腔体的吸盘、设于吸盘上方的石墨籽晶座、设于机架上的且用于驱动转轴转动的第一驱动机构、与第一...

本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长装置，包括具有第一腔体的第一主体、至少两个分别具有与第一腔体连通的第二腔体的第二主体、用于为第二腔体加热的加热机构、用于为第一腔体抽真空的抽真空机构、设于第一腔体中的用于承载多个坩埚的载体、设于第一腔体...

本实用新型公开了一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，感应线圈包括线圈本体、沿线圈本体的长度延伸方向连接线圈本体的连接柱，装置包括连接在连接柱上端的上连接件、连接在连接柱下端的下连接件，线圈本体位于上连接件和下连接件之间；装置还包括两端分别连...

本实用新型公开了一种多坩埚半连续式碳化硅晶体生长装置，包括具有第一腔体的第一主体、具有与第一腔体连通的第二腔体的第二主体、用于为第二腔体加热的加热机构、用于为第一腔体和/或第二腔体抽真空的抽真空机构、设于第一腔体中的用于承载多个坩埚的载...

本实用新型公开了一种三工位碳化硅籽晶粘接炉，包括具有中空腔体的主体、设于中空腔体中的托盘、三个设于托盘上表面的用于承载工件的下加热盘、可上下活动的设于中空腔体中的且位于托盘上方的压盘、三个与下加热盘一一对应的设于压盘下表面的上加热盘、连...

本实用新型公开了一种石英管高真空密封结构，包括设于石英管端部的密封件、设于密封件和石英管之间的第一密封圈和第二密封圈、用于将密封件锁紧在石英管端部的锁紧机构、设于密封件中的位于第一密封圈和第二密封圈之间的环形间隙、开设于密封件上的与环形...

本实用新型公开了一种大尺寸碳化硅晶体生长装置，包括第一腔体和第二腔体、可沿上下方向活动的穿设于第一腔体和第二腔体中的坩埚、下端连接在坩埚顶部且上端穿出第二腔体的坩埚轴、设于第一腔体中的加热机构和保温机构、开设于第一腔体上和/或第二腔体上...

本实用新型公开了一种多工位碳化硅晶体生长装置，包括至少两个生长机构；每个生长机构均包括装料仓、与装料仓连通的生长腔、可沿装料仓和生长腔的排列方向来回运动的设于装料仓和生长腔中的坩埚、用于驱动坩埚来回运动的驱动机构、用于为生长腔加热的加热...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶连续生长装置，包括依次连通的原料仓、生长仓和回收仓、用于将原料仓中的碳化硅多晶原料送入生长仓中的送料机构，送料机构还用于将生长仓中的残渣送入回收仓中，送料机构沿其送料方向依次经过原料仓、生长仓、回收仓；生长...

本实用新型公开了一种磁吸式法兰，包括法兰座、多个沿圆周方向依次间隔排列的开设于法兰座上的第一安装孔、法兰盖、多个沿圆周方向依次间隔排列的开设于法兰盖上的第二安装孔；多个第一安装孔和多个第二安装孔一一对应；磁吸式法兰还包括一一对应的设于第...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长装置，包括工作腔体、可升降的穿设于工作腔体中的连接杆、用于驱动连接杆升降的第一驱动机构、设于工作腔体中的坩埚和用于为坩埚加热的加热机构；坩埚包括固设于连接杆底部的坩埚盖、可拆卸的连接在坩埚盖下方的坩埚本...