【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸感应线圈移动支撑装置
本技术涉及一种大尺寸感应线圈移动支撑装置。
技术介绍
碳化硅单晶生长时，一般是通过电阻加热或感应线圈加热，以在坩埚内部得到晶体生长所需的温度场。随着晶体生长的进行，需要对温度场进行调节，一般会向上或向下移动感应线圈，来调节坩埚内部的温度梯度。现有的装置，一般是直接提拉感应线圈，使其上升或下降的。对于大尺寸的感应线圈，在提拉升降过程中，感应线圈运动不稳定，容易倾斜，导致对坩埚加热不均匀，影响坩埚内部的晶体生长质量。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，升降感应线圈时能够保证感应线圈的稳定性，不会发生倾斜，保证了对坩埚加热的均匀性。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，感应线圈包括线圈本体、沿所述线圈本体的长度延伸方向连接所述线圈本体的连接柱，所述装置包括连接在所述连接柱上端的上连接件、连接在所述连接柱下端的下连接件，所述线圈本体位于所述上连接件和所述下连接件之间；所述装置还包括两端分别连接在...
【技术保护点】
1.一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，感应线圈包括线圈本体、沿所述线圈本体的长度延伸方向连接所述线圈本体的连接柱，其特征在于：所述装置包括连接在所述连接柱上端的上连接件、连接在所述连接柱下端的下连接件，所述线圈本体位于所述上连接件和所述下连接件之间；所述装置还包括两端分别连接在所述上连接件和所述下连接件上的C形支撑臂、平行于所述线圈本体长度延伸方向的导轨，所述C形支撑臂可来回滑动的设于所述导轨上。/n
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，感应线圈包括线圈本体、沿所述线圈本体的长度延伸方向连接所述线圈本体的连接柱，其特征在于：所述装置包括连接在所述连接柱上端的上连接件、连接在所述连接柱下端的下连接件，所述线圈本体位于所述上连接件和所述下连接件之间；所述装置还包括两端分别连接在所述上连接件和所述下连接件上的C形支撑臂、平行于所述线圈本体长度延伸方向的导轨，所述C形支撑臂可来回滑动的设于所述导轨上。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，其特征在于：所述装置还包括设于所述连接柱上端的用于连接所述上连接件的上连接座、设于所述连接柱下端的用于连接所述下连接件的下连接座。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，其特征在于：所述上连接件和所述下连接件均为与所述线圈同轴延伸的环形连接件。
4.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：李留臣，周洁，周正星，程绪高，王建康，
申请(专利权)人：江苏星特亮科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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