北京微纳精密机械有限公司专利技术

北京微纳精密机械有限公司共有30项专利

  • 本实用新型公开了一种用于自由曲面晶体抛光的弹性磨削装置,包括弹性磨削轴基座,所述弹性磨削轴基座由两个相互垂直分布的第一板面和第二板面组成且弹性磨削轴基座沿前后方向的切面呈倒“丁“字型;第一板面的前表面上设置有抛光带驱动轮、抛光带、用于调...
  • 本实用新型公开了一种机床水平方向用切屑液排流装置,安装在机床水平方向运动副上,机床水平方向运动副包括床身、工作台、转台、丝杠、电机和丝杆传动部分,机床水平方向用切屑液排流装置包括固定在工作台上的防护基体和设置于防护基体一侧的第一导流槽,...
  • 本实用新型公开了一种机床专用高精度机床随行恒温防护装置,固定在随行机床上,包括恒温防护箱和水冷机,恒温防护箱包括由铝合金型材组成的长方体框架,长方体框架的六个面分别固定有铝合金板,铝合金板外端面由内至外依次设有固定在长方体框架的六个面的...
  • 本实用新型公开了一种同步带驱动高精度主轴结构,包括主体支撑箱体、水平固定在主体支撑箱体一侧的主轴轴套、贯穿主体支撑箱体和主轴轴套的高精度主轴,高精度主轴上方或下方的主体支撑箱体固定有驱动电机,驱动电机的输出轴与高精度主轴平行,驱动电机的...
  • 本实用新型公开了一种化学机械抛光机的抛光压力分区控制装置,包括工件轴、工件盘、工件保持器,被抛光元件的下端面与抛光盘上端面接触,工件盘上设有抛光压力分区控制机构,抛光压力分区控制机构包括若干个竖直固定在工件盘内的气压缸、固定在气压缸的顶...
  • 本实用新型公开了一种便于控制抛光盘温度的化学机械抛光机,包括床身座、转台连接件、抛光盘、电机装置、抛光液喷射系统以及用于固定工件的工件轴,抛光盘与转台连接件之间设有循环回路盘,抛光盘内设有多个用于采集抛光盘温度的温度传感器,循环回路盘设...
  • 本实用新型公开了一种双主轴轴线平行度调整结构,包括两个主轴座、安装在两个主轴座内的主轴,双主轴轴线平行度调整结构还包括溜板、主轴座调整块,两个主轴座相对平行地安装在溜板上端面,主轴座调整块安装在两个主轴座之间的溜板上,主轴座调整块的两侧...
  • 本发明公开了一种高精度一维角度调整工作台,包括工作台基板和设置在工作台基板上方的工作台面,工作台基板和工作台面之间设置有用于调整工作台面的旋转角度的调整轴机构和用于支撑工作台面旋转的旋转轴机构以及用于锁紧工作台角度的锁紧轴机构,旋转轴机...
  • 环形线锯用自动张紧结构装置
    本发明的环形线锯用自动张紧结构装置属于线锯机床部件领域,是由气压缸、基板、线轮主轴和溜板构成,其基板上部的一端纵向固定着两条平行的导轨Ⅰ和导轨Ⅱ,溜板的下部两侧均固定着滑块Ⅰ和滑块Ⅱ,同侧的滑块Ⅰ和滑块Ⅱ分别与导轨Ⅰ和导轨Ⅱ动配合连接,...
  • 本发明的新型环形金刚石线锯机床属于一种新型切割机床,是由机床底座、机床立柱和转台构成,机床底座的另一端上部纵向固定着两条平行的高精度导轨Ⅰ高精度导轨Ⅱ,T型工作台下部与高精度导轨Ⅰ和高精度导轨Ⅱ动配合连接,转台安装在T型工作台上,T型工...
  • 本发明的一种线锯用张紧结构装置属于一种用于线锯机床的单元部件领域,是由基座和张紧轮溜板构成,其所述的基座上部纵向固定着两条平行的导轨Ⅰ和导轨Ⅱ、张紧轮溜板的下部两侧均固定着滑块Ⅰ和滑块Ⅱ,同侧的滑块Ⅰ和滑块Ⅱ分别与导轨Ⅰ和导轨Ⅱ动配合连...
  • 本发明公开了一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构。它包括抛光盘,冷却水循环系统,抛光盘、研磨盘和转台连接在一起,抛光盘上端面加工有螺旋形冷却水管槽,安装有冷却水循环系统,研磨盘下端面与抛光盘上端面粘接在一起,冷却水循环系统可通过冷却水实现抛光...
  • 本实用新型涉及超精密抛光机床制造技术领域,具体涉及一种抛光机床用弹性组合元件加压装置。其包括弹簧套、弹簧座、拉伸弹簧、压缩弹簧、滑套、弹簧板、十字轴,所述的弹簧套与抛光机床的工件轴连接,弹簧套内设置弹簧座,所述的滑套一端设置于弹簧套和弹...
  • 本实用新型公开了一种弥散式多区域压力控制抛光夹具,包括基座,所述基座的底部设有压力区域调节膜与若干凹槽,凹槽与压力区域调节膜之间形成封闭腔,压力区域调节膜设有晶体,基座上设有固定板,晶体的两侧设有晶体固定板,晶体固定板与固定板通过连接板...
  • 本实用新型公开了一种大口径薄片元件抛光夹具,包括基座,所述基座设有若干沉孔,每个沉孔均插接有压头,压头与基座之间设有压头固定片,基座的底部设有元件,压头与元件连接,压头套装有调节压块,调节压块设置在压头固定片上,基座上设有固定架,固定架...
  • 本发明涉及超精密制造装备技术领域,具体涉及一种大口径气体静压转台结构。其包括定位芯轴和连接芯轴,台面、连接芯轴和下静压板固定连接为一体,定位芯轴穿过连接芯轴的中心孔一端与台面的定位孔配合,另一端与下静压板的定位孔配合,壳体支座的上下凹槽...
  • 本实用新型开发的开放式线性导轨光栅线位移传感器,精密光栅线位移传感器在线性导轨上表面贴钢带标尺光栅,读数头靠螺钉固定在读数头安装板上,读数头安装板上开长孔,靠螺钉固定在滑块侧面,高低可调。钢带标尺光栅较玻璃光栅不易碎,寿命更长,变形小。...
  • 一种基于光栅的新型高精度高度尺,涉及测量仪器。包括压板、导柱、高精度线位移读数头、显示面板、测量爪、锁紧框、尺座以及防护罩,导柱上端与压板连接,下端与尺座连接,形成高度尺主体,高精度光栅位于两导柱之间,上端与压板连接,下端与尺座连接,测...
  • 本发明及一种用于竖直方向进给的升降机构。本发明就是针对上述问题,提供一种结构简单、调节精度高、调节速度快的用于竖直方向进给的升降机构。本发明包括上工作台、主滑动机构、辅助滑动机构、X型支架折叠梯、下工作台,其结构要点在于主滑动机构包括手...
  • 本实用新型公开了超精密飞刀车削铣床,超精密飞刀车削铣床,包括人造大理石基体系统,主轴系统、直线导轨系统、气体静压系统,其特征在于,所述直线导轨系统包括X轴、Y轴和Z轴三个方向的导轨,所述Y轴向通过电机直接驱动。本实用新型???实现了X、...