本发明涉及一种真空抽气装置，包括串联连接的至少一个主泵（１）和一个辅泵（２），所述主泵（１）和辅泵（２）分别由第一电动机（１ｂ）和第二电动机（２ｂ）驱动，所述第一电动机（１ｂ）和第二电动机（２ｂ）由各自的电源（１ｃ，２ｃ）供电，所述电源...

本发明提供一种用于从加工室抽取气体的真空管道及其检测方法。所述真空管道至少包括：包含泵体和马达的泵单元；排气系统；用于测量与所述马达相关的功能参数的第一测量装置；用于测量与所述排气系统相关的功能参数的第二测量装置；以及用于计算所述真空管...