真空管道及其监测方法技术

本发明专利技术提供一种用于从加工室抽取气体的真空管道及其检测方法。所述真空管道至少包括：包含泵体和马达的泵单元；排气系统；用于测量与所述马达相关的功能参数的第一测量装置；用于测量与所述排气系统相关的功能参数的第二测量装置；以及用于计算所述真空管道使用持续时间的预测装置。所述预测装置基于由所述第一装置提供的与所述马达有关的功能参数的测量以及由所述第二装置提供的与所述排气系统有关的功能参数的测量来计算在所述泵单元发生故障之前所述真空管道的使用持续时间。在一种变化情况中，所述真空管道还包括用于测量与所述泵体相关的功能参数的第三测量方法，并且所述预测装置在计算使用持续时间时考虑该参数的测量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
用于从加工室抽取气体的真空管道，所述真空管道至少包括：　　　　包含泵体和马达的泵单元；　　　　排气系统；　　　　第一测量装置，用于测量与所述马达相关的功能参数；　　　　第二测量装置，用于测量与所述排气系统相关的功能参数；以及　　　　所述真空管道的使用持续时间的预测装置，其特征在于，所述预测装置基于由所述第一装置提供的与所述马达有关的功能参数的测量以及由所述第二装置提供的与所述排气系统有关的功能参数的测量来计算在所述泵单元发生故障之前所述真空管道的使用持续时间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：N贝古，
申请(专利权)人：阿尔卡特朗讯公司，
类型：发明
国别省市：FR[法国]