【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种抛光液温度控制装置，包括液冷管路，液冷管路上设置有电磁阀，所述抛光液温度控制装置还包括温度控制仪和用以探测抛光液温度的红外线测温传感器，所述温度控制仪包括温度数据输入端、报警输出端和控制输出端；所述红外线测温传感器与温度控制仪的温度数据输入端相连，温度控制仪的控制输出端连接至电磁阀，本装置增加了温度控制仪、红外线测温传感器以及报警装置，可以实现温度控制在35℃以下或者温度在38℃以上，报警装置报警提示操作人员停机检查，成功预防由于温度上升而造成的晶片滑片破碎等此类生产报废的发生，因此可提高抛光研磨的质量，提高在线良率，降低返工率。【专利说明】一种抛光液温度控制装置
本技术属于LED
，主要涉及LED外延衬底制造行业CMP单面抛光机台的抛光液温度控制装置，尤其涉及一种单面抛光机台的抛光液温度控制装置。
技术介绍
目前LED制造过程中抛光片的研磨工艺决定抛光片的质量，而抛光片质量的好坏，直接影响后续制作图形化衬底的质量。单面抛光时，研磨盘内部缠绕着一组冷却盘面的管子，外接冷却循环水，在机台工作时，下面的研磨盘和上面的研磨头都...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡锋涛，陈起伟，侯柏宇，邓觉为，罗建华，李斌，马金金，杜兴时，
申请(专利权)人：西安神光安瑞光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。