下载一种抛光液温度控制装置的技术资料

文档序号:9970000

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本实用新型提供一种抛光液温度控制装置,包括液冷管路,液冷管路上设置有电磁阀,所述抛光液温度控制装置还包括温度控制仪和用以探测抛光液温度的红外线测温传感器,所述温度控制仪包括温度数据输入端、报警输出端和控制输出端;所述红外线测温传感器与温度控...
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