一种粘晶方法，其特征在于，其步骤包含有：将一基板加热至一预定温度；吸取至少一晶粒；将该至少一晶粒固晶于该基板；冷却已固晶的基板；以及将该已固晶的基板移至一上下料位置，加热另一基板至该预定温度，并重复上述的步骤。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种粘晶方法，其步骤包含有：将一基板加热至一预定温度；吸取至少一晶粒，该至少一晶粒具有一基础温度，该基础温度小于该预定温度；将该至少一晶粒固晶于该基板；冷却该已固晶的基板；以及将该已固晶的基板移至一上下料位置，加热另一基板至该预定温度，并重复上述的步骤。【专利说明】粘晶方法及其装置
本专利技术涉及一种粘晶方法及其装置，尤其是一种预热晶粒与粘合晶粒的粘晶方法与装置。
技术介绍
光电元件，广为应用于目前的日常生活中，举例而言，光电元件中以发光二极管(Light-Emitting Diode, LED)最具有代表性，因发光二极管已被视为下一代照明光源，以取代传统的日光灯与齒素灯。现有的光电元件的制作工艺，是将一晶粒置放于基板，以使二者相粘合，然而在置放过程中，是使用一取放装置，将晶粒由晶粒供应单元取出，放置于晶粒暂放平台，再由另一取放装置，从晶粒暂放平台取出晶粒，贴合于基板上，晶粒粘合基板前，晶粒需要历经多次取放，并且前述的制作工艺是依靠单一固晶机构与单一制作平台，所以现有的光电元件需要较长的制作时间，并且具有较为繁复的生产流程。
技术实现思路
在本专利技术的一实施例中，本专利技术的目的在于提供一种粘晶方法，其步骤包含有:将一基板加热至一预定温度；吸取至少一晶粒；将该至少一晶粒固晶于该基板；冷却已固晶的基板；以及将该已固晶的基板移至一上下料位置，加热另一基板至该预定温度，并重复上述的步骤。在本专利技术的另一实施例中，本专利技术的目的在于提供一种粘晶装置，其包含有:一基台；一晶粒供应单元，其设于该基台的一端；一基板加热及冷却单元，其设于该基台的另一端；以及一固晶单元，其设于该基台的顶端，并且能够于该晶粒供应单元与该基板加热及冷却单元之间移动。本专利技术仅需将晶粒从晶圆盘取出直接固晶于基板上；另一方面，本专利技术有多组晶粒取放固晶机构，可一次从晶圆盘取出多颗晶粒，缩短取放时间；最后，本专利技术拥有双固晶平台，在其中一平台进行固晶制作时，另一平台可进行冷却与上下料基板，可有效降低制程时间。【专利附图】【附图说明】图1是本专利技术的一种粘晶装置的立体示意图。图2是一晶粒供应单元的立体示意图。图3是一控温模块的立体示意图。图4是一取放固晶模块的立体示意图。图5是一晶粒供应单元与一取放固晶模块的局部动作示意图。图6是晶粒供应单元、取放固晶模块与一基板加热及冷却单元的动作示意图。图7是取放固晶模块与基板加热及冷却单元的局部动作示意图。图8是本专利技术的一种粘晶方法的流程示意图。【主要元件符号说明】I 基台2 晶粒供应单元20 晶圆工作台200晶圆盘载台201旋转模块202工作台X轴向移动单元203工作台Y轴 向移动单元21 晶粒顶出模块3 基板加热及冷却单元30Y轴向移动模块31控温模块311冷却液流入管312冷却液流出管313恒温液入管314温度传感器315隔热板316支撑座317恒温板318附加电路板319恒温液出管4固晶单元40固晶单元Y轴向移动模块41取放固晶模块410第一视觉模块411可调整加压模块412真空吸放转接器414晶粒吸嘴415角度对位模块42取放固晶模块Z轴向对位模块43取放固晶模块X轴向移动模块5第二视觉模块SI ~S8 步骤【具体实施方式】为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。参考图1所示，本专利技术提供一种粘晶装置，其具有一基台1、一晶粒供应单元2、一基板加热及冷却单兀3、一固晶单兀4、一第一视觉模块410与一第二视觉模块5。晶粒供应单元2设于基台I的一端,参考图2与图1所示，晶粒供应单元2具有一晶圆工作台20与一晶粒顶出模块21。晶圆工作台20具有一晶圆盘载台200、一旋转模块201、一工作台X轴向移动单元202与一工作台Y轴向移动单元203，晶圆盘载台200设于旋转模块201的顶端，旋转模块201使晶圆盘载台200得以转动一角度，该角度能够为O至360度，举例而言，该角度能够为O至360度中的任一度数，但不限制，工作台X轴向移动单元202与工作台Y轴向移动单元203设于晶圆盘载台200的底端，工作台X轴向移动单元202使晶圆盘载台200能够沿着一X轴向移动，工作台Y轴向移动单元203使晶圆盘载台200能够沿着一 Y轴向移动，如图所示，该X轴向垂直于该Y轴向。晶粒顶出模块21设于晶圆盘载台200的底端。基板加热及冷却单元3设于基台I的另一端，请配合参考图3与图1所示，基板加热及冷却单元3具有至少一控温模块31与至少一 Y轴向移动模块30。控温模块31设于Y轴向移动模块30，Y轴向移动模块30使控温模块31能够沿着Y轴向移动，本实施例中，控温模块31与Y轴向移动模块30的数量分别为两个，控温模块31具有一附加电路板318、一恒温板317、至少一支撑座316与一温度传感器314。附加电路板318具有至少一冷却液流入管311、至少一冷却液流出管310、至少一加热管312与一隔热板315，冷却液流入管311能够将冷却液导入附加电路板318的内部，以冷却附加电路板318，冷却液流出管312能够将冷却液由附加电路板318的内部导出至附加电路板318的外部，加热管312能够为一电气加热管，加热管312能够加热附加电路板318，以使附加电路板318的温度提升至一预定温度，隔热板315设于附加电路板318的底部，以预防被加热的附加电路板318的热能影响位于附加电路板318底端的构件。支撑座316设于附加电路板318与恒温板317之间，以使附加电路板318与恒温板317之间形成有可供温度传感器314设置的空间。恒温板317具有至少一恒温液入管313与一恒温液出管319，恒温液入管313可将一恒温液导入恒温板317的内部，以使控温模块31维持于一特定温度，恒温液出管319可将恒温液由恒温板317的内部导出至恒温板317的外部。固晶单元4设于基台I的顶端，并且能够在晶粒供应单元2与基板加热及冷却单元3之间移动，请配合参考图4与图1所示，固晶单元4具有一固晶单元Y轴向移动模块40、一取放固晶模块41、一取放固晶模块Z轴向对位模块42与一取放固晶模块X轴向移动模块43。固晶单元Y轴向移动模块40设于基台I的两侧，固晶单元Y轴向移动模块40使取放固晶模块41能够沿着于Y轴向移动。取放固晶模块41具有多个晶粒吸嘴414、多个角度对位模块415、多个真空吸放转接器412与多个可调整加压模块411。各晶粒吸嘴414耦接各角度对位模块415，各角度对位模块415可使各晶粒吸嘴414转动一角度，举例而言，该角度能够为O至360度的任一度数，但不限制。各晶粒吸嘴414进一步耦接各真空吸放转接器412，及耦接各可调整加压模块411，各真空吸放转接器412可使各晶粒吸嘴414具有真空吸力及下压推力。各可调整加压模块411耦接各真空吸放转接器412，各可调整加压模块411能够调整各真空吸放转接器412提供给各晶粒吸嘴414的下压推力，各可调整加压模块411能够进一步调整一固晶时间。取放固晶模块Z轴向对位模块42耦接取放固晶模块41，取放固晶模块Z轴向对位模块42可改变取放固晶模块41于一 Z轴向的位置，该Z轴向垂直于前述的X轴向与Y轴向。取放固晶模块X轴向移动模块43耦接取本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种粘晶方法，其特征在于，其步骤包含有：将一基板加热至一预定温度；吸取至少一晶粒；将该至少一晶粒固晶于该基板；冷却已固晶的基板；以及将该已固晶的基板移至一上下料位置，加热另一基板至该预定温度，并重复上述的步骤。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吕文镕，吴文献，苏濬贤，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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