加湿装置及加湿气体的方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种加湿装置及加湿气体的方法。加湿气体的方法包括：分别通过高压进气单元、高压进液单元向缸体中输入高压气体、高压液体；经高压进气单元、高压进液单元输入的高压气体、高压液体分别经高压气体喷洒单元、高压液体喷洒单元形成高压气体流和高压液体流；经高压液体喷洒单元形成的高压液体流再经高压液体雾化单元处理后形成雾化液体，高压气体收集单元收集经高压气体喷洒单元处理形成的高压气体流并将其导入到缸体中积聚的液体；缸体中积聚的液体对导入的高压气体流进行初级加湿处理，初级加湿后的高压气体流向上运动被高压液体雾化单元处形成的雾化液体再次加湿处理；再次加湿处理后的高压气体流流经加湿气体输出单元排出。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种。加湿气体的方法包括：分别通过高压进气单元、高压进液单元向缸体中输入高压气体、高压液体；经高压进气单元、高压进液单元输入的高压气体、高压液体分别经高压气体喷洒单元、高压液体喷洒单元形成高压气体流和高压液体流；经高压液体喷洒单元形成的高压液体流再经高压液体雾化单元处理后形成雾化液体，高压气体收集单元收集经高压气体喷洒单元处理形成的高压气体流并将其导入到缸体中积聚的液体；缸体中积聚的液体对导入的高压气体流进行初级加湿处理，初级加湿后的高压气体流向上运动被高压液体雾化单元处形成的雾化液体再次加湿处理；再次加湿处理后的高压气体流流经加湿气体输出单元排出。【专利说明】
本专利技术涉及加湿
，具体地说，涉及一种。
技术介绍
在半导体的制造过程中，往往在工艺中需要用到液体的化学物品，例如化学机械研磨工艺需要用到液体的研磨液，在泵送研磨液时，需要用气体注入研磨液缸内，以起到封存的作用，防止研磨液接触空气。然而，使用干燥的气体如氮气，往往会吸收研磨液中水分，导致研磨液出现结晶现象，结晶的研磨液则会影响化学机械研磨的工艺效果。因此，研磨液桶槽中的气体在充入前，通常需要经过加湿处理，以避免干燥气体吸收研磨液中水分导致结晶现象。现有技术中，常用的加湿装置有在水槽中，通过电能产生超声波来雾化水气来加湿。由于电致超声波加湿导致经常出现静电吸附现象，影响工艺的研磨效果。再者，由于在上述过程中，需要外接电源等增加了系统的复杂性。综上，现有技术中提供的加湿装置加湿效率较低、易发生静电吸附以及使用电源坐寸ο
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种，用以部分或全部克服、部分或全部解决现有技术存在的上述技术问题。为了部分或全部克服、部分或全部解决上述技术问题，本专利技术提供了一种加湿装置，其包括:缸体、高压进气单元、高压进液单元、高压气体喷洒单元、高压液体喷洒单元、高压液体雾化单元、高压气体收集单元、加湿气体输出单元；所述高压进气单元、所述高压进液单元设置在所述缸体的腔体外部上半部分的位置，所述高压气体喷洒单元、高压液体喷洒单元设置在所述缸体的腔体内部上半部分的位置，所述雾化单元设置在所述高压气体喷洒单元的正下方，所述高压气体收集单元设置在所述高压进气单元的正下方，所述加湿气体输出单元设置在所述缸体的顶部位置；所述高压进气单元与所述高压气体喷洒单元相连，所述高压进液单元与所述高压液体喷洒单元相连。优选地，在本专利技术的一实施例中，所述加湿装置还包括溢流单元，所述溢流单元在所述缸体上的设置位置参考预定的液位设定。优选地，在本专利技术的一实施例中，所述溢流单元为S形溢流管。优选地，在本专利技术的一实施例中，所述高压进气单元和高压进液单元在所述缸体的腔体外部上半部分的设置位置处于水平线。 优选地，在本专利技术的一实施例中，所述高压气体喷洒单元、所述高压液体喷洒单元嵌套设置。优选地，在本专利技术的一实施例中，所述高压进气单元包括进气控制阀，所述高压进液单元包括进液控制阀。优选地，在本专利技术的一实施例中，所述高压液体雾化单元通过对所述高压液体喷洒单元喷洒的高压液体形成撞击效应以形成雾化的高压液体。优选地,在本专利技术的一实施例中，所述加湿装置还包括:液体排放单元,所述液体排放单元设置在所述缸体的底部，所述液体排放单元包括排液控制阀。优选地，在本专利技术的一实施例中，所述高压雾化单元包括圆锥刀口。为了部分或全部克服、部分或全部解决上述技术问题，本专利技术提供了一种加湿气体的生成方法，其包括:分别通过高压进气单元、高压进液单元向缸体中输入高压气体、高压液体；经高压进气单元、高压进液单元输入的高压气体、高压液体分别经高压气体喷洒单元、高压液体喷洒单元形成高压气体流和高压液体流；经高压液体喷洒单元形成的高压液体流经高压液体雾化单元处理后形成雾化液体，高压气体收集单元收集经高压气体喷洒单元处理形成的高压气体流并将其导入到缸体中积聚的液体；缸体中积聚的液体对导入的高压气体流进行初级加湿处理，初级加湿后的高压气体流向上运动被高压液体雾化单元处形成的雾化液体再次加湿处理；再次加湿处理的高压气体流流经加湿气体输出单元排出。与现有的方案相比，本专利技术中，分别通过高压进气单元、高压进液单元向缸体中输入高压气体、高压液体；经高压进气单元、高压进液单元输入的高压气体、高压液体分别经高压气体喷洒单元、高压液体喷洒单元形成高压气体流和高压液体流；经高压液体喷洒单元形成的高压液体流经高压液体雾化单元处理后形成雾化液体，高压气体收集单元收集经高压气体喷洒单元处理形成的高压气体流并将其导入到缸体中积聚的液体；缸体中积聚的液体对导入的高压气体流进行初级加湿处理，初级加湿后的高压气体流向上运动被高压液体雾化单元处形成的雾化液体再次加湿处理；再次加湿处理的高压气体流流经加湿气体输出单兀排出。由此可见，本专利技术实施例中，经过初次加湿处理和再次加湿处理，提高了加湿效率，同时由于无需电源避免了静电吸附以及电源的使用。【专利附图】【附图说明】图1为本专利技术实施例中加湿装置的结构示意图；图2所示为本专利技术实施例中高压气体喷洒单元和高压液体喷洒单元嵌套设置示意图；图3为本专利技术实施例中高压气体收集单元和高压液体雾化单元的结构示意图；图4为本专利技术实施例中加湿气体的生成方法流程示意图。【具体实施方式】以下将配合图式及实施例来详细说明本专利技术的实施方式，藉此对本专利技术如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。本专利技术的下述实施例中，分别通过高压进气单元、高压进液单元向缸体中输入高压气体如氮气，但不限于此、高压液体；经高压进气单元、高压进液单元输入的高压气体、高压液体分别经高压气体喷洒单元、高压液体喷洒单元形成高压气体流和高压液体流；经高压液体喷洒单元形成的高压液体流经高压液体雾化单元处理后形成雾化液体，高压气体收集单元收集经高压气体喷洒单元处理形成的高压气体流并将其导入到缸体中积聚的液体；缸体中积聚的液体对导入的高压气体流进行初级加湿处理，初级加湿后的高压气体流向上运动被高压液体雾化单元处形成的雾化液体再次加湿处理；再次加湿处理的高压气体流流经加湿气体输出单元排出。由此可见，本专利技术实施例中，经过初次加湿处理和再次加湿处理，提高了加湿效率，同时，利用高压气体，激发超声波，来雾化水珠，避免了静电吸附以及电源的使用。图1为本专利技术实施例中加湿装置的结构示意图；如图1所示，其可以包括:缸体101、高压进气单元102、高压进液单元103、高压气体喷洒单元104、高压液体喷洒单元105、高压液体雾化单元106、高压气体收集单元107、加湿气体输出单元108。所述高压进气单元102、所述高压进液单元103设置在所述缸体101的腔体外部上半部分的位置。所述高压气体喷洒单元104、高压液体喷洒单元105设置在所述缸体101的腔体内部上半部分的位置。所述雾化单元设置在所述高压气体喷洒单元104的正下方。所述高压气体收集单元107设置在所述高压进气单元102的正下方。所述加湿气体输出单元108设置在所述缸体101的顶部位置。所述高压进气单元102与所述高压气体喷洒单元104相连。所述高压进液单元103与所述高压液体喷洒单元105相连。本实施例中，如图1所示，所述高压进气单元102和高压进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加湿装置，其特征在于，包括：缸体、高压进气单元、高压进液单元、高压气体喷洒单元、高压液体喷洒单元、高压液体雾化单元、高压气体收集单元、加湿气体输出单元；所述高压进气单元、所述高压进液单元设置在所述缸体的腔体外部上半部分的位置，所述高压气体喷洒单元、高压液体喷洒单元设置在所述缸体的腔体内部上半部分的位置，所述高压雾化单元设置在所述高压气体喷洒单元的正下方，所述高压气体收集单元设置在所述高压进气单元的正下方，所述加湿气体输出单元设置在所述缸体的顶部位置；所述高压进气单元与所述高压气体喷洒单元相连，所述高压进液单元与所述高压液体喷洒单元相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：任大清，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：