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本发明公开了一种加湿装置及加湿气体的方法。加湿气体的方法包括：分别通过高压进气单元、高压进液单元向缸体中输入高压气体、高压液体；经高压进气单元、高压进液单元输入的高压气体、高压液体分别经高压气体喷洒单元、高压液体喷洒单元形成高压气体流和高压...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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