本发明专利技术是有关于一种检查装置，即便在防反射膜的膜厚不均的情形时也可高精度地进行缺陷检测。该外观检查装置(检查装置)包括：照明部，构成为能以具有互不相同的波长区域的多种照明色照射照明光；摄像部，使用照明光拍摄太阳能电池单元；以及控制部，针对多种照明色的每一种而获得太阳能电池单元的摄像图像，并且根据太阳能电池单元对各种照明色的照明光的反射强度或防反射膜的膜厚，而从各种照明色的摄像图像中选择用于检查的图像，并基于所选择的摄像图像对太阳能电池单元进行检查。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术是有关于一种检查装置，即便在防反射膜的膜厚不均的情形时也可高精度地进行缺陷检测。该外观检查装置(检查装置)包括：照明部，构成为能以具有互不相同的波长区域的多种照明色照射照明光；摄像部，使用照明光拍摄太阳能电池单元；以及控制部，针对多种照明色的每一种而获得太阳能电池单元的摄像图像，并且根据太阳能电池单元对各种照明色的照明光的反射强度或防反射膜的膜厚，而从各种照明色的摄像图像中选择用于检查的图像，并基于所选择的摄像图像对太阳能电池单元进行检查。【专利说明】检查装置
本专利技术涉及一种检查装置，特别是涉及一种太阳能电池单元(cell)的检查装置。
技术介绍
以往，太阳能电池单元的检查装置为人所周知(例如，参照专利文献1)。上述专利文献1中揭示有一种太阳能电池单元的外观检查装置，包括:照明装置、照射红外区域的波长的照明光、以及对近红外区域敏感的电荷耦合器件(charge coupleddevice, (XD)相机(camera)(摄像部)。从照明装置照射的红外光透射过太阳能电池单元，但在太阳能电池单元的内部存在缺陷(裂缝(crack))的情形时，在缺陷部周边，红外光因产生折射或绕射而扩散。由此，太阳能电池单元内部的缺陷部分作为利用电荷耦合器件相机的摄像图像上的信号强度的差(明暗)而被检测出。此外，为抑制入射至基板(单元)的光的反射来谋求高效化，而在太阳能电池单元的表面上形成有防反射膜。该防反射膜的缺陷(针孔(pin hole)或附着异物)也会影响到太阳能电池单元的特性，因此以往不仅检测上述内部缺陷，也通过外观检查来检测防反射膜的缺陷(表面检查)。在进行防反射膜的外观检查的情形时，照射可见光区域的波长的照明光，并拍摄在太阳能电池单元表面反射的反射光。太阳能电池单元对垂直入射光的反射强度，在薄膜干涉的理论上，相对于由防反射膜的折射率η与膜厚d所决定的特定波长λ =4nd而为0。对于结晶系太阳能电池而言，在折射率η =约2.0?约2.1、膜厚d =约80nm左右的成膜条件下形成有防反射膜，在4nd = 640nm?672nm的红色区域的波长下的反射强度达到最小。在对形成有该防反射膜的结晶系太阳能电池单元进行外观检查(表面检查)的情形时，如果使用反射强度达到最小的红色区域的照明光进行单元表面的拍摄，则照明光几乎不反射，仅在缺陷(针孔或附着异物)部分反射照明光，因此可将缺陷部作为摄像图像中的亮点进行检测。日本专利特开平2007-78404号公报有鉴于上述现有的检查装置存在的缺陷，本专利技术人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型的检查装置，能够改进一般现有的检查装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本专利技术。
技术实现思路
然而，因太阳能电池单元的制造步骤中的各种因素导致防反射膜的膜厚产生不均。防反射膜的膜厚(d)在与设计上的膜厚相比有变化的情形时，反射强度达到最小的特定波长(λ =4nd)也发生变化，因此用于检查的照明光的波长与反射强度达到最小的特定波长产生偏差，从而照明光在太阳能电池单元上的反射强度增大。因此，如果对防反射膜的膜厚不均的太阳能电池单元进行外观检查，则不仅拍摄到缺陷部的反射光，还一并拍摄到来自缺陷部以外的部位的反射光，其结果，缺陷部的亮点在摄像图像中难以辨认，由此存在难以根据摄像图像来检测防反射膜的缺陷部的问题。本专利技术是为解决上述问题而完成的，本专利技术的目的之一是提供一种检查装置，所要解决的技术问题是其即便在防反射膜的膜厚不均的情形时也可高精度地进行缺陷检测，从而更加适于实用。为达成上述目的，本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本专利技术提出的一种检查装置是形成有防反射膜的太阳能电池单元的检查装置，包括:照明部，构成为能以具有互不相同的波长区域的多种照明色照射照明光；摄像部，使用照明光拍摄太阳能电池单元；以及控制部，针对多种照明色的每一种而获得太阳能电池单元的摄像图像，并且根据太阳能电池单元对各种照明色的照明光的反射强度或防反射膜的膜厚，而从各种照明色的摄像图像中选择用于检查的图像，并基于所选择的摄像图像而对太阳能电池单元进行检查。本专利技术的一种检查装置如上所述般设置有:照明部，构成为能以具有互不相同的波长区域的多种照明色照射照明光；以及控制部，针对多种照明色的每一种而获得太阳能电池单元的摄像图像，并且根据太阳能电池单元对各种照明色的照明光的反射强度或防反射膜的膜厚，而从各种照明色的摄像图像中选择用于检查的图像，并基于所选择的摄像图像而对太阳能电池单元进行检查，由此即便在防反射膜的膜厚不均的情形时，也可从使用波长区域不同的多种颜色的照明光拍摄的摄像图像中选择图像，该图像是利用与太阳能电池单元的反射强度或防反射膜的膜厚对应的波长区域(照明色)的照明光摄像的图像。由此，可选择使用能高精度地检测缺陷部的照明色(波长)的照明光来拍摄的摄像图像进行外观检查，因此即便在防反射膜的膜厚不均的情形时，也可高精度地进行缺陷检测。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。上述一种检查装置中，优选控制部构成为:从各种照明色的多个摄像图像中，基于反映反射强度的各种照明色的摄像图像的信号强度来选择摄像图像，或基于防反射膜的膜厚来选择摄像图像。如果以此方式构成，则因膜厚的不均而引起太阳能电池单元对每个波长的反射强度发生变化，结果，通过各颜色的照明光拍摄的摄像图像的信号强度(明暗)产生差异，因此可基于摄像图像的信号强度而容易地选择能高精度地检测缺陷部的照明色的摄像图像。此外，如上所述太阳能电池单元的反射强度达到最小的波长，由具有规定的折射率的防反射膜的膜厚决定，因此可基于防反射膜的膜厚而容易地选择能高精度地检测缺陷部的照明色的摄像图像。该情形时，优选多种照明色至少包含红色及蓝色。在如上所述以约80nm左右的成膜条件(η =约2.0)形成有防反射膜的情形时，作为应考虑的膜厚范围的下限值(容许范围)可设为60nm左右。该情形时，在膜厚为比较厚的80nm时红色光的反射强度达到最小，另一方面，在膜厚薄而为60nm左右且不均的情形时，λ = 480nm?504nm的蓝色光的反射强度变小。因此，根据本专利技术，通过照明色中至少包含红色及蓝色，可根据实际上可能产生的膜厚不均的范围，而至少从膜厚厚的情形时的红色光的摄像图像与膜厚薄的情形时的蓝色光的摄像图像中，选择适于缺陷部的检测的摄像图像。在上述多种照明色至少包含红色及蓝色的构成中，优选控制部构成为:从各种照明色的多个摄像图像中选择信号强度比较低的摄像图像，或选择与防反射膜的膜厚对应的照明色的摄像图像。如果以此方式构成，则信号强度比较低的摄像图像为接近反射强度变小的特定波长的照明色(波长)的摄像图像，因此通过选择该图像而可容易地选择适于缺陷部的检测的摄像图像。此外，如果使防反射膜的膜厚与摄像图像的照明色建立关联，则可通过选择与膜厚对应的照明色的图像，而容易地选择适于缺陷部的检测的摄像图像。上述一种检查装置中，优选控制部构成为:使用与所选择的摄像图像的照明色对应的判定阈值，对形成于太阳能电池单元上的防反射膜进行缺本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种检查装置，其是形成有防反射膜的太阳能电池单元的检查装置，其特征在于包括：照明部，构成为能以具有互不相同的波长区域的多种照明色来照射照明光；摄像部，使用所述照明光拍摄所述太阳能电池单元；以及控制部，针对所述多种照明色的每一种而获得所述太阳能电池单元的摄像图像，并且根据所述太阳能电池单元对各种所述照明色的所述照明光的反射强度或所述防反射膜的膜厚，而从各种所述照明色的所述摄像图像中选择用于检查的图像，并基于所选择的所述摄像图像而对所述太阳能电池单元进行检查。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高见芳夫，坂内尚史，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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