本发明专利技术提供一种可使用透射照明来高效且适当地检查在保持于环状部件的带上粘贴的检查对象物的检查装置。检查装置（10）具备：观察光学系统（11）、反射照明机构（12）、透射照明机构（14）、和可在保持粘贴有检查对象物（44）的带（42）的环状部件（43）的内侧从透射照明机构（14）侧保持带（42）的筒状的保持台（34）。透射照明机构（14）具有从保持台（34）的外侧向观察面（Fp）射出从光源（51）导光的透射光的射出部（53），在保持台（34）具有：透射部件（35），其呈在观察光学系统侧设有规定沿着观察面（Fp）的平面的平坦面（35a）的板状，而且允许从射出部（53）射出的透射光的透射；位置调整机构（37、38），其以可相对于保持台（34）进行有关观察光轴（Oa）方向的位置调整的方式保持透射部件（35）。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及将半导体元件作为检查对象物进行检查的检查装置。
技术介绍
已知有对LED芯片等半导体元件，通过边照射各种照明光边用观察光学系统观察该半导体元件，从而将该半导体元件作为检查对象物进行检查的检查装置(例如，参照专利文献1)。在该检查装置中，作为各种照明光之一，使用来自从检查对象物进行观察从观察光学系统的相反侧对该检查对象物进行照明的透射照明机构的透射照明。在此，常见为半导体元件在保持粘贴于带(薄膜)的状态下从晶片切出，并以该带保持于环状部件的状态进行处理。因此，在检查装置中，考虑为了在保持维持该状态的状态下进行检查，而从观察光学系统的相反侧设置在环状部件的内侧保持带的筒状的保持台。另外，在由保持台保持带的状态下，根据带的材质、检查对象物的重量等，有时带会产生挠曲，有时难以通过观察光学系统进行适当的观察。因此，在现有的检查装置中认为，在透射照明机构中设置呈长条的棒状且以平坦的前端面为射出面的射出部，利用该射出部的射出面推起由保持台保持的带，由此，使检查对象物位于观察光学系统的适当的观察位置(观察面)以进行检查。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2010 - 107254号公报。但是，在作为透射照明机构的射出部中，由于需要做成具有用于使透射光射出的光学元件和保护并保持该光学元件的外框部的构成，所以，由于其外框部和保持台的内壁的干涉，可通过透射光适当照射由保持台保持的带的照射区域、即使用透射照明的有效检查区域要比保持台的内侧的区域小。换言之，不能将保持台的内侧作为有效检查区域最大限度地利用，会因保持带的保持台而导致检查的作业效率降低。专利技术内容本专利技术是鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供一种检查装置，其能够使用透射照明来高效且适当地检查在保持于环状部件的带上粘贴的检查对象物。方案一所述的专利技术是，一种检查装置，其具备观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对所述观察面进行照明；透射照明机构，其从所述观察光学系统的相反侧对所述观察面进行照明；以及保持台，其能在保持粘贴有检查对象物的带的环状部件的内侧从所述透射照明机构侧保持所述带，所述检查装置其特征在于，所述透射照明机构具有从所述保持台的外侧向所述观察面射出从光源导光的透射光的射出部，所述保持台具有透射部件，其呈在所述观察光学系统侧设有规定沿着所述观察面的平面的平坦面的板状，而且允许从所述射出部射出的透射光的透射；以及位置调整机构，其以能相对于所述保持台进行有关观察光轴方向的位置调整的方式保持所述透射部件。方案二所述的专利技术是，根据方案一所述的检查装置，其特征在于，有关观察光轴方向的位置调整是指在观察光轴方向的位置和相对于观察光轴方向的倾斜。方案三所述的专利技术是，根据方案一或方案二所述的检查装置，其特征在于，所述位置调整机构能以在观察光轴方向进行观察将所述平坦面设成比所述保持台中的所述带的保持位置更靠所述观察光学系统侧的方式定位所述透射部件。方案四所述的专利技术是，根据方案一 方案三的任一个所述的检查装置，其特征在于，还具备在所述透射部件的外侧位置将所述带向观察光轴方向的所述射出部侧按压的按压机构。方案五所述的专利技术是，根据方案四所述的检查装置，其特征在于，所述按压机构在所述保持台的外侧位置按压所述环状部件。方案六所述的专利技术是，根据方案四所述的检查装置，其特征在于，所述按压机构在所述保持台以包围所述透射部件的方式在该透射部件和保持所述带的部位之间进行吸引。方案七所述的专利技术是，根据方案一 方案六的任一个所述的检查装置，其特征在于，所述射出部具有将导光的透射光的扩散降低的聚光光学部件，以便使透射光以规定的点区域向所述透射部件入射。方案八所述的专利技术是，根据方案七所述的检查装置，其特征在于，所述聚光光学部件是还具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均勻化的功能的棒状积分器光学部件。根据本专利技术的检查装置，透射照明机构的射出部是从保持台的外侧照射观察面的构成，因此，能够可靠地防止射出部和保持台发生干涉。因此，由于可以对保持台的内侧的全区域照射透射光，所以可以遍及整个区域地将保持台的内侧设为有效检查区域，可以最大限度地确保有效检查区域。另外，在检查装置中，利用设于保持台的透射部件的平坦面使保持于保持台的带成为平坦的状态，可以使粘贴于其上的检查对象物位于观察面上，因此，即使透射照明机构的射出部为从保持台的外侧照射观察面的构成，也能够利用观察光学系统进行适当的观察。进而，在检查装置中，由于透射部件利用位置调整机构可相对于保持台进行有关观察光轴的位置调整，所以可以根据带的挠曲变形的量及状态，使粘贴于带的检查对象物更适当地位于观察面上。在上述的构成的基础上，当有关观察光轴方向的位置调整是指在观察光轴方向的位置和相对于观察光轴方向的倾斜时，可以根据带的挠曲变形的量及状态使粘贴于带的检查对象物更适当地位于观察面上。在上述的构成的基础上，当所述位置调整机构能以在观察光轴方向进行观察将所述平坦面设为比所述保持台中的所述带的保持位置更靠所述观察光学系统侧的方式定位所述透射部件时，可以使粘贴于带的检查对象物更适当地位于观察面上。在上述的构成的基础上，当还具备在所述透射部件的外侧位置将所述带向观察光轴方向的所述射出部侧按压的按压机构时，可以利用按压机构的按压仿照透射部件的平坦面将带平坦化并同时进行固定。因此，可以适当地检查粘贴于带的检查对象物。在上述的构成的基础上，当所述按压机构在所述保持台的外侧位置按压所述环状部件时，可以利用按压机构的按压仿照透射部件的平坦面可靠地将带平坦化并同时进行固定。在上述的构成的基础上，当所述按压机构在所述保持台以包围所述透射部件的方式在该透射部件和保持所述带的部位之间进行吸引时，可以引入带的挠曲变形的剩余量， 因此，可以使粘 贴于带的检查对象物适当位于观察面上。在上述的构成的基础上，当所述射出部具有将导光的透射光的扩散降低的聚光光学部件，以便使透射光以规定的点区域向所述透射部件入射时，可以对观察面上的相对于观察光学系统的适当的区域进行照射，因此，能够更高效地进行观察光学系统的适当的观察。在上述的构成的基础上，当所述聚光光学部件为还具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均勻化的功能的棒状积分器光学部件时，可以进行观察光学系统的更适当的观察。附图说明图1是示意性表示本申请专利技术的实施例1的检查装置10的构成的说明图。图2是表示检查装置10的功能构成的框图。图3是示意性表示检查装置10的保持台34的立体图。图4是用于说明检查对象工件40的种类的说明图，(a)表示在保持各半导体元件 44粘贴于带42的状态下被各边界面切断了的状态，(b)表示将带42拉伸并将各半导体元件44各个截断的状态。图5是示意性表示检查装置10的保持机构13及透射照明机构14的立体图。图6是以局部的剖面表示沿图5所示的I 一 I线的部位的说明图。图7是示意性表示作为用于说明技术课题的比较例的检查装置10’的保持机构13 及透射照明机构14’的构成的说明图。图8是用于说明检查装置10’中使检查对象物位于观察面Fp上的情况的说明图。图9是用于说明在检查装置10’中有效检查区域Sa’缩窄的说明图，表示在上方从观察光学系统侧观察保持台34’的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤隆，小松健一郎，
申请(专利权)人：株式会社拓普康，
类型：发明
国别省市：
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