固化设备制造技术

本发明专利技术提供一种固化设备，该固化设备包括：箱盒；设置在所述箱盒中的灯具；具有灯具容纳部的灯罩，所述灯具容纳部设置在所述箱盒内，以容纳所述灯具；以及单独地设置以便与所述灯具容纳部的位置对应的窗板。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种固化设备，该固化设备包括：箱盒；设置在所述箱盒中的灯具；具有灯具容纳部的灯罩，所述灯具容纳部设置在所述箱盒内，以容纳所述灯具；以及单独地设置以便与所述灯具容纳部的位置对应的窗板。【专利说明】固化设备
本专利技术涉及固化设备。
技术介绍
在显示装置如有机发光显示装置(0LED)、电泳显示装置(EH))以及液晶显示装置(IXD)中，元件或线是通过沉积薄膜而形成的。上述显示装置在沉积工艺之后需要固化工艺来形成固体薄膜。在制造显示装置中使用的固化设备的示例包括腔室型设备，在腔室型设备中箱盒式结构以多层堆叠。每个箱盒中配置有灯具，使箱盒中的温度从环境温度升至高温。这种箱盒通常设计成在其中放置单个或多个目标基板。窗板应用于每个箱盒以均匀地辐射灯具产生的热，并防止在目标基板上生成污斑。窗板执行各种功能，包括将目标基板所在的加工区与灯具区隔离。为此，窗板由大尺寸的板状石英制成。通过将板状的窗板安装到在每个箱盒的侧部形成的狭槽处来设置窗板。然而，由于应用于每个箱盒的窗板呈大尺寸的板状，因此难以制造大面积的固化设备。例如，如果对窗板进行防偏差处理以实现大面积窗板，随之而来的是厚度补偿或结构添加的困难。此外，由于难以制造大尺寸的板状窗板，预计投资成本会由于材料和加工成本的增加而上升。因此，需要寻找用于制造使应用于常规固化设备的窗板具有更大面积的方案。
技术实现思路
本专利技术的示例性实施例提供一种固化设备，该固化设备包括:箱盒；设置在所述箱盒中的灯具；具有灯具容纳部的灯罩，所述灯具容纳部设置在所述箱盒内以容纳所述灯具；以及单独地设置以便与所述灯具容纳部的位置相对应的窗板。【专利附图】【附图说明】附图提供对本专利技术的进一步理解并且并入说明书而组成说明书的一部分。所述附图示出本专利技术的实施方式，并且与说明书文字一起用于解释本专利技术的原理。图1示出本专利技术示例性实施例的固化设备的视图；图2示出图1所示的箱盒的视图；图3示出沿图2的A1-A2线的第一截面图；图4示出沿图2的A1-A2线的第二截面图；图5示出当使用第一箱盒时热辐射模式的截面图；图6示出当使用第一箱盒时热辐射模式的模拟结果的截面图；图7示出第一箱盒内部构造的设计值的截面图；图8示出本专利技术第一示例性实施例的灯具容纳部和窗板；图9示出本专利技术第二示例性实施例的灯具容纳部和窗板；图10示出本专利技术第三示例性实施例的灯具容纳部和窗板；图11示出本专利技术第四示例性实施例的灯具容纳部和窗板；图12示出本专利技术第五示例性实施例的第一箱盒；图13示出灯具容纳部和窗板的结构；图14示出本专利技术第六示例性实施例的第一箱盒；图15示出灯具容纳部和窗板的结构；以及图16示出常规窗板和本专利技术示例性实施例的窗板的辐射角度测量结果图。【具体实施方式】现将详细描述本专利技术的实施例，其示例在附图中示出。以下，将参照附图来描述本专利技术的具体的示例性实施例。如图1和图2所示，本专利技术示例性实施例的固化设备是以腔室型实现的，所述腔室型具有以多层形式容纳在腔室Iio中的第一至第五箱盒CS1-CS5。然而，本专利技术示例性实施例的固化设备可以实施为腔室110中仅容纳一个箱盒或容纳比附图中示出的更多的箱盒。本专利技术示例性实施例的固化设备能够利用容纳在腔室110中的第一至第五箱盒CS1-CS5来执行固化工艺。尽管第一至第五箱盒CS1-CS5能够分别执行固化工艺，但是本专利技术并不局限于此。本专利技术示例性实施例的固化设备能够对用于显示装置的基板执行热处理工艺(聚酰亚胺、氧化物、光刻胶等)，该显示装置例如有机发光显示装置(0LED)、电泳显示装置(EPD)、液晶显示装置(IXD)以及立体图像显示装置。将考虑若干实例。本专利技术示例性实施例的固化设备可以用于低温多晶硅(LTPS)活化、脱氢/加氢、以及预压缩(pre-compaction)工艺。现将描述用于在本专利技术示例性实施例的固化设备中的第一至第五箱盒CS1-CS5的构造中的第一箱盒CSl。如图3和图4所示，包括在本专利技术示例性实施例的固化设备中的第一箱盒CSl包括箱盒体120、灯罩130、冷却部145、灯具140以及窗板150。灯具区LZ包括灯罩130、灯具140和窗板150所占的空间，加工区PZ包括其余空间。灯具区LZ用作这样一个空间，在此空间中灯具140产生的热辐射至加工区PZ，力口工区PZ用作对目标基板执行热处理工艺的空间。第一箱盒CSl可以实现为以灯具区LZ位于上部(或下部)的结构(图3)，或者实现为灯具区LZ位于上部和下部的结构(图4)。图3限定为多箱盒单段结构，而图4限定为多箱盒多段结构。灯罩130设置在第一箱盒CSl内的上端。灯罩130具有容纳灯具140的灯具容纳部135。灯具容纳部135具有自灯罩130的暴露的底面131凹陷的凹陷。尽管凹陷具有包括三角形、矩形、多边形、半圆形以及椭圆形的各种形状，在本专利技术的示例性实施例中，它们作为示例呈半圆形。灯具140设置在灯具容纳部135内。灯具140通过提供至第一箱盒CSl的电功率产生热。灯具140可以辐射短波长、中波长以及长波长。如果灯具140辐射1.5μπι或更长的长波长，则不产生臭氧03。这可以防止对设置在第一箱盒CSl上的部件的腐蚀并且使固化更慢。冷却部145冷却灯具140产生的热。冷却部145可以是空气冷却型或水冷却型。尽管冷却部145作为示例设置在两个灯具容纳部135之间，但是本专利技术并不局限于此。窗板150被单独地设置，以便与灯具容纳部的位置对应。窗板150起到将灯具区LZ与加工区PZ分开(隔离)的作用。此外，窗板150起到均匀地散开和辐射灯具140产生的热的作用。窗板150由具有高透光率和低吸收率的材料形成。例如，窗板150可以由石英、碱石灰或石墨形成。如图5所示，当打开灯具140后，灯具140产生热，所产生的热穿过窗板150辐射并被引导至目标基板180的一个表面。如图6所示，如果模拟每隔一个的灯具140的热辐射，能够看出灯具140产生的热在穿过窗板150时，以各种角度均匀地辐射。此结构的辐射角度为大约70度。如图7所示，灯具140产生的热的辐射效率及均匀性取决于LI至L5。LI表示灯具容纳部135的开口部的距离(或直径)，L2表示从灯具140的中心至灯罩130的顶面的距离，L3表示从灯具140的底部至窗板150的顶部的距离。L4表示从窗板150的底部至目标基板180的顶部的距离，以及L5表示从灯具140的中心至目标基板180的顶部的距离。在示例性实施例中，为了示出图6的模拟分析，LI为50mm，L2为10mm，L3为12mm，L4为89.3mm以及L5为101.3mm。参照以上设计值，通过最佳化灯罩130的尺寸、灯具140的尺寸、接触灯具140的空间的尺寸、辐射灯具140产生的热的辐射角度以及到目标基板180的距离，能够进一步提高辐射效率及均匀性。现将描述灯具容纳部及窗板的各种结构。如图8所示，根据本专利技术的第一示例性实施例，灯具容纳部135具有凹陷的半圆形形状。此外，灯具容纳部135具有沟槽136，沟槽136形成在与灯罩130的底面131相邻的部分处。灯罩130的沟槽136具有方括号“[]”的形状(凹陷的矩形)，并且沟槽136凹进灯具容纳部135的内表面且与灯罩130的底面131分开。当灯具容纳部1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固化设备，包括：箱盒；设置在所述箱盒中的灯具；具有灯具容纳部的灯罩，所述灯具容纳部设置在所述箱盒内以容纳所述灯具；以及单独地设置以便与所述灯具容纳部的位置对应的窗板。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：许在烈，权五晙，柳京伯，康训硕，宋钟镐，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR