【技术实现步骤摘要】
输送车及AMHS系统
本专利技术涉及半导体集成电路物料输送机台
,尤其涉及一种输送车及AMHS系统。
技术介绍
随着半导体技术的发展,300mm娃片已经逐步取代200mm娃片成为主流,每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此,仍然借助人力手工搬送,不仅会降低效率,还存在搬运人员人身伤害的可能。同时,半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛,自动化物料传输系统(Automated Material HandlingSystems,简称AMHS)作为连接各个制造模块之间输送娃片的纽带的重要性也日益凸显出来。现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车,往返于各个机台之间(tool to tool输送模式),或往返于机台与暂存区Stocker之间(走道间系统interbay与走道内系统intrabay)。如图1所示的采用走道间、走道内的输送系统,机台走道每一边的每一台机台10安装有娃片盒堆叠部20 (load port), OHT输送车70 (overhead hoist transport)能抓起堆叠部20上的娃片盒30,并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110,而娃片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用OHT输送车70,走道间系统100的输送则是先将硅片盒30以输送车70移至暂存区50中暂时储存,等到需要用到此硅片盒30时,再同样以输送车70搬送到指定机台10 ...
【技术保护点】
一种用于AMHS系统的输送车,其包括车身、悬吊于轨道上的车轮、升降机构、硅片盒取放机构和控制单元,其特征在于:该输送车的车身内还设有短距离信号发射器和短距离信号接收器,该短距离信号发射器用于向其周围的输送车发射信号,该短距离信号接收器用于接收其周围输送车发出的信号,该短距离信号接收器与控制单元信号连接,该控制单元与车轮的制动单元和/或加速单元信号连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于AMHS系统的输送车,其包括车身、悬吊于轨道上的车轮、升降机构、硅片盒取放机构和控制单元,其特征在于:该输送车的车身内还设有短距离信号发射器和短距离信号接收器,该短距离信号发射器用于向其周围的输送车发射信号,该短距离信号接收器用于接收其周围输送车发出的信号,该短距离信号接收器与控制单元信号连接,该控制单元与车轮的制动单元和/或加速单元信号连接。2.根据权利要求1所述的用于AMHS系统的输送车,其特征在于:该短距离信号发射器的发射半径为l-5m,该短距离信号接收器的接收半径为...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐国强,
申请(专利权)人:上海集成电路研发中心有限公司,
类型:发明
国别省市:
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